金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法与流程

本申请是分案申请，其原申请的中国国家申请号为201480003438.3，申请日为2014年1月10日，发明名称为“金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法”。

本发明涉及通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模的金属板。本发明还涉及金属板的制造方法。此外，本发明还涉及使用金属板制造用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模的方法。

背景技术：

近年来，对于智能手机和平板电脑等可携带器件中使用的显示装置，要求高精细、例如像素密度为300ppi以上。另外，可携带器件中，在对应全高清上的需要正在提高，这种情况下，显示装置的像素密度要求为例如450ppi以上。

由于响应性好、耗电低，有机el显示装置受到瞩目。作为有机el显示装置的像素形成方法，已知的方法是，使用包含以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所期望的图案形成像素。具体地说，首先，使蒸镀掩模密合于有机el显示装置用的基板，接着，将密合的蒸镀掩模和基板一同投入蒸镀装置，进行有机材料等的蒸镀。蒸镀掩模一般如下制造得到：通过利用了照相平版印刷技术的蚀刻而在金属板上形成贯通孔，从而制造上述蒸镀掩膜(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-39319号公报

技术实现要素：

使用蒸镀掩模在基板上进行蒸镀材料的成膜的情况下，不仅基板，蒸镀掩模也附着有蒸镀材料。例如，蒸镀材料中也存在沿着相对于蒸镀掩模的法线方向大幅倾斜的方向而飞向基板的蒸镀材料，这样的蒸镀材料在到达基板前会到达蒸镀掩模的贯通孔的壁面从而附着。这种情况下，可以认为，蒸镀材料难以附着在基板中的位于蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的区域，其结果，附着的蒸镀材料的厚度比其他部分小、或者产生未附着蒸镀材料的部分。即，可以认为，蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的蒸镀不稳定。因此，在为了形成有机el显示装置的像素而使用蒸镀掩模的情况下，像素的尺寸精度和位置精度降低，其结果，导致有机el显示装置的发光效率降低。

为了解决这样的问题，考虑将用于制造蒸镀掩模的金属板的厚度减薄。这是因为，通过减小金属板的厚度，可使蒸镀掩模的贯通孔的壁面高度变小，由此，可降低蒸镀材料中的附着于贯通孔壁面上的蒸镀材料的比例。但是，为了得到厚度小的金属板，在轧制母材来制造金属板时需要加大轧制率。在此，轧制率是指利用(母材的厚度-金属板)/(母材的厚度)算出的值。轧制后实施了退火等热处理的情况下，通常轧制率越大，残留于金属板的应力即残余应力也越大。若残余应力大，则通过蚀刻在金属板上形成贯通孔时，在金属板中的实施蚀刻的一侧，残余应力消除，其结果，所得到的蒸镀掩模发生翘曲。在翘曲大的情况下，不能使蒸镀掩模充分密合于有机el显示装置用的基板，其结果，所得到的有机el显示装置的像素的尺寸精度和位置精度降低。

本发明的目的是提供一种可有效解决这样的问题的金属板、金属板的制造方法和蒸镀掩模的制造方法。

第1本发明涉及一种金属板的制造方法，该金属板通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模，其中，上述蒸镀掩模的上述贯通孔通过对上述金属板进行蚀刻而形成，上述金属板的制造方法具备下述工序：轧制工序，对母材进行轧制以得到具有厚度t0的上述金属板；和退火工序，将上述金属板退火以除去上述金属板的内部应力，上述金属板具有第1面和第2面，该第1面和第2面相对于上述金属板的厚度方向正交、且互为相向，在对从上述退火工序后的上述金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下，蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm^-1以下，上述曲率k为下述值：首先，从上述退火工序后的上述金属板中取得长170mm、宽30mm的上述样品，接着，将上述样品中的除长度方向的两端起10mm以内的区域以外的长150mm、宽30mm的区域作为被蚀刻区域，从上述第1面侧在上述样品的被蚀刻区域的整个区域对所述样品进行蚀刻，直至所述被蚀刻区域的厚度达到1/3×t0以上且2/3×t0以下的范围内，其后，将蚀刻后的上述样品按照其侧面为水平的方式载置于预定的载置台上，接着，测定上述样品的上述被蚀刻区域的长度方向的端部间距离x(mm)和上述样品的上述被蚀刻区域的翘曲的深度y(mm)，其后，将上述端部间距离x和上述深度y代入下式，由此求出所述曲率k，

k＝1/ρ、ρ＝(y/2)+(x²/8y)。

在基于本发明的金属板的制造方法中，上述退火工序可以在长度方向拉伸上述金属板的同时，进行实施。

在基于本发明的金属板的制造方法中，上述退火工序可以在上述金属板卷取在芯材上的状态下实施。

在基于本发明的金属板的制造方法中，优选上述母材的热膨胀系数为与基板的热膨胀系数同等的值，该基板上隔着由上述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。

在基于本发明的金属板的制造方法中，上述金属板可以含有因瓦合金材料。

第2的本发明涉及一种金属板，该金属板是通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模的金属板，其中，上述金属板具有厚度t0，并且，上述金属板具有第1面和第2面，该第1面和第2面相对于上述金属板的厚度方向正交、且互为相向，在对从上述金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下，蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm^-1以下，上述曲率k为下述值：首先，从上述金属板中取得长170mm、宽30mm的上述样品，接着，将上述样品中的除长度方向的两端起10mm以内的区域以外的长150mm、宽30mm的区域作为被蚀刻区域，从上述第1面侧在上述样品的被蚀刻区域的整个区域对上述样品进行蚀刻，直至所述被蚀刻区域的厚度达到1/3×t0以上且2/3×t0以下的范围内，其后，将蚀刻后的上述样品按照其侧面为水平的方式载置于预定的载置台上，接着，测定上述样品的上述被蚀刻区域的长度方向的端部间距离x(mm)和上述样品的上述被蚀刻区域的翘曲的深度y(mm)，其后，将上述端部间距离x和上述深度y代入下式，由此求出上述曲率k，

k＝1/ρ、ρ＝(y/2)+(x²/8y)。

基于本发明的金属板的热膨胀系数优选为与基板的热膨胀系数同等的值，该基板上隔着由上述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。

基于本发明的金属板可以含有因瓦合金材料。

第3的本发明涉及一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于上述有效区域的周围的周围区域，其中，该制造方法包括下述工序：准备金属板的工序，该金属板具有厚度t0，具有第1面和第2面，该第1面和第2面相对于上述金属板的厚度方向正交、且互为相向；和凹部形成工序，在该工序中，从上述第1面侧蚀刻上述金属板，在用于形成上述有效区域的上述金属板的区域内从第1面侧形成用于划出上述贯通孔的凹部，在对从上述金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下，蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm^-1以下，上述曲率k为下述值：首先，从上述金属板中取得长170mm、宽30mm的上述样品，接着，将上述样品中的除长度方向的两端起10mm以内的区域以外的长150mm、宽30mm的区域作为被蚀刻区域，从上述第1面侧在上述样品的被蚀刻区域的整个区域对上述样品进行蚀刻，直至所述被蚀刻区域的厚度达到1/3×t0以上且2/3×t0以下的范围内，其后，将蚀刻后的上述样品按照其侧面为水平的方式载置于预定的载置台上，接着，测定上述样品的上述被蚀刻区域的长度方向的端部间距离x(mm)和上述样品的上述被蚀刻区域的翘曲的深度y(mm)，其后，将上述端部间距离x和上述深度y代入下式，由此求出上述曲率k，

k＝1/ρ、ρ＝(y/2)+(x²/8y)。

在基于本发明的蒸镀掩模的制造方法的凹部形成工序中，可以从上述第1面侧在上述第1面的整个区域对上述金属板进行蚀刻。

在基于本发明的蒸镀掩模的制造方法的上述凹部形成工序，可以从上述第1面侧在上述第1面的整个区域对上述金属板进行蚀刻，直至蚀刻厚度达到1/3×t0以上且2/3×t0以下的范围内。

在基于本发明的蒸镀掩模的制造方法中，优选述金属板的热膨胀系数为与基板的热膨胀系数同等的值，该基板上隔着由上述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。

在基于本发明的蒸镀掩模的制造方法中，上述金属板可以含有因瓦合金材料。

根据本发明，可得到翘曲小的蒸镀掩模。因此可对基板充分密合蒸镀掩模，其结果，可提高附着于基板上的蒸镀材料的尺寸精度和位置精度。

附图说明

图1为用于说明本发明的一实施方式的图，为示出包含蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的示意性立体图。

图2为用于说明利用图1所示的蒸镀掩模装置进行蒸镀的方法的图。

图3为示出图1所示的蒸镀掩模的部分俯视图。

图4为沿着图3的iv-iv线的截面图。

图5为沿着图3的v-v线的截面图。

图6为沿着图3的vi-vi线的截面图。

图7(a)为示出通过轧制母材而得到具有所期望的厚度的金属板的工序的图，图7(b)为示出对通过轧制而得到的金属板进行退火的工序的图。

图8(a)为示出从利用图7(a)、(b)所示的工序得到的金属板中切出的样品的图，图8(b)为示出通过对图8(a)所示的样品的第1面进行蚀刻而得到的已蚀刻样品的图。

图9(a)、(b)为示出图8(b)所示的已蚀刻样品被载置于载置台上的样子的立体图和俯视图。

图10为用于对图1所示的蒸镀掩模的制造方法的一例进行整体说明的示意图。

图11为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。

图12为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。

图13为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。

图14为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。

图15为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。

图16为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。

图17为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。

图18为用于说明蒸镀掩模和蒸镀掩模装置的一变形例的图。

图19(a)～(c)为用于说明在实施例从金属板中取得样品的方法的图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的一实施方式进行说明。需要说明的是，本说明书中所附的附图中，为了便于图示和易于理解，针对实物的比例尺和长宽的尺寸比等，适当地对比例尺和长宽的尺寸比等进行了变更和夸张。

图1～图17为用于说明基于本发明的一实施方式的图。在以下的实施方式及其变形例中，以蒸镀掩模的制造方法为例进行说明，该蒸镀掩模用于在制造有机el显示装置时将有机材料以所期望的图案在基板上图案化。但是，并不限于这样的应用，针对用于各种用途的蒸镀掩模的制造方法，均可适用本发明。

需要说明的是，本说明书中，“板”、“片”、“膜”的术语并不是仅基于称呼上的不同就能相互区分开的。例如，“板”为也包含可称为片或膜这样的部件的概念，因此，例如“金属板”与称为“金属片”或“金属膜”的部件仅在称呼的不同上是不能区分开的。

另外，“板面(片面、膜面)”是指在整体或大体观察作为对象的板状(片状、膜状)的部件的情况下，作为对象的板状部件(片状部件、膜状部件)的与平面方向相一致的面。另外，针对板状(片状、膜状)的部件使用的法线方向是指相对于该部件的板面(片面、膜面)的法线方向。

此外，关于本说明书中使用的对形状或几何学的条件和物理特性以及它们的程度进行特定的例如“平行”、“正交”、“相同”、“同等”等术语、以及长度、角度以及物理特性的值等，并不限定于严格的含义，而是包含可期待同样功能的程度的范围来进行解释。

(蒸镀掩模装置)

首先，关于包含作为制造方法对象的蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例，主要参照图1～图6进行说明。此处，图1为示出包含蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的立体图，图2为用于说明图1所示的蒸镀掩模装置的使用方法的图。图3为从第1面侧示出蒸镀掩模的俯视图，图4～图6为图3的各位置的截面图。

图1和图2所示的蒸镀掩模装置10具备由矩形金属板21构成的蒸镀掩模20、和安装于蒸镀掩模20的周边部的框架15。蒸镀掩模20设有大量的贯通孔25，该大量的贯通孔25是对具有互为相向的第1面21a和第2面21b的金属板21至少从第1面21a进行蚀刻而形成的。如图2所示，该蒸镀掩模装置10按照蒸镀掩模20面对作为蒸镀对象物的基板例如玻璃基板92的下面的方式被支撑于蒸镀装置90内，用于对基板进行蒸镀材料的蒸镀。

蒸镀装置90内，利用来自未图示的磁石的磁力，蒸镀掩模20与玻璃基板92密合。蒸镀装置90内，在蒸镀掩模装置10的下方，配置有容纳蒸镀材料(作为一例为有机发光材料)98的坩埚94和加热坩埚94的加热器96。坩埚94内的蒸镀材料98在来自加热器96的加热下发生气化或升华而附着于玻璃基板92的表面。如上所述，蒸镀掩模20中形成有大量的贯通孔25，蒸镀材料98通过该贯通孔25而附着于玻璃基板92。其结果，按照与蒸镀掩模20的贯通孔25的位置相对应的所期望的图案，蒸镀材料98成膜于玻璃基板92的表面。

(蒸镀掩模)

下面详细说明蒸镀掩模20。如图1所示，本实施方式中，蒸镀掩模20由金属板21构成，俯视图中具有大致四边形形状，进一步准确地说在俯视图中具有大致矩形的轮廓。蒸镀掩模20的金属板21包含规则排列的形成有贯通孔25的有效区域22、和包围有效区域22的周围区域23。周围区域23为用于支撑有效区域22的区域，其并非是旨在蒸镀到基板上的蒸镀材料通过的区域。例如，在有机el显示装置用的有机发光材料的蒸镀中使用的蒸镀掩模20中，有效区域22是与基板(玻璃基板92)上的用于通过有机发光材料的蒸镀而形成像素的区域面对的蒸镀掩模20内的区域，即是与基板上的用于形成所制作的有机el显示装置用基板的显示面的区域面对的蒸镀掩模20内的区域。但是，基于各种目的，也可以在周围区域23形成贯通孔或凹部。图1所示的例子中，各有效区域22在俯视图中具有大致四边形形状，进一步准确地说在俯视图中具有大致矩形的轮廓。

在图示的例子中，2个以上的有效区域22沿着与蒸镀掩模20的一边平行的一个方向隔着预定的间隔而配置，同时沿着与上述一个方向正交的另一方向隔着预定的间隔而配置。图示的例子中，一个有效区域22对应于一个有机el显示装置。即，根据图1所示的蒸镀掩模装置10(蒸镀掩模20)，能够进行逐段重复蒸镀(多面付蒸着)。

如图3所示，在图示的例子中，在各有效区域22形成的2个以上贯通孔25在该有效区域22中沿着相互正交的二个方向分别以预定的间隔排列。关于该金属板21上形成的贯通孔25的一例，主要参照图3～图6进一步进行详细说明。

如图4～图6所示，2个以上贯通孔25在第1面20a和第2面20b之间延伸而贯通蒸镀掩模20，所述第1面20a为蒸镀掩模20的沿着法线方向的一侧，所述第2面20b为蒸镀掩模20的沿着法线方向的另一侧。图示的例子中，如后面所详细说明的那样，从作为蒸镀掩模的法线方向的一侧的金属板21的第1面21a侧通过蚀刻在金属板21上形成第1凹部30，从作为金属板21的法线方向的另一侧的第2面21b侧在金属板21上形成第2凹部35，利用该第1凹部30和第2凹部35来形成贯通孔25。

如图3～图6所示，从蒸镀掩模20的第1面20a侧向第2面20b侧，在蒸镀掩模20的沿着法线方向的各位置处，各第1凹部30在沿着蒸镀掩模20的板面的截面中的截面积逐渐变小。如图3所示、第1凹部30的壁面31在其整个区域在与蒸镀掩模20的法线方向交叉的方向延伸，朝向沿着蒸镀掩模20的法线方向的一侧露出。同样地，在蒸镀掩模20的沿着法线方向的各位置处，各第2凹部35在沿着蒸镀掩模20的板面的截面中的截面积可以从蒸镀掩模20的第2面20b侧向第1面20a侧逐渐变小。第2凹部35的壁面36在其整个区域在与蒸镀掩模20的法线方向交叉的方向延伸，朝向沿着蒸镀掩模20的法线方向的另一侧露出。

需要说明的是，如图4～图6所示，第1凹部30的壁面31与第2凹部35的壁面36通过周状的连接部41而连接。连接部41是通过相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的第1凹部30的壁面31与相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的第2凹部35的壁面36汇合成的突出部的棱线而划出的。并且，连接部41在蒸镀掩模20的俯视图中划出贯通孔25的面积最小的贯通部42。

如图4～图6所示，蒸镀掩模的沿着法线方向的另一侧的面、即蒸镀掩模20的第2面20b上，相邻的两个贯通孔25沿着蒸镀掩模的板面相互隔开。即，如后述的制造方法，从与蒸镀掩模20的第2面20b对应的金属板21的第2面21b侧对该金属板21进行蚀刻而制作第2凹部35时，在相邻的两个第2凹部35之间残存有金属板21的第2面21b。

另一方面，如图4～图6所示，在蒸镀掩模的沿着法线方向的一侧、即蒸镀掩模20的第1面20a侧，相邻的两个第1凹部30连接。即，如后述的制造方法，从与蒸镀掩模20的第1面20a对应的金属板21的第1面21a侧对该金属板21进行蚀刻而形成第1凹部30时，在相邻的两个第1凹部30之间不会残存有金属板21的第1面21a。即，金属板21的第1面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻。利用由这样的第1凹部30所形成的蒸镀掩模20的第1面20a，在按照如图2所示蒸镀掩模20的第1面20a面对蒸镀材料98的方式使用该蒸镀掩模20的情况下，可有效改善蒸镀材料98的利用效率。

如图2所示，在蒸镀掩模装置10容纳于蒸镀装置90中的情况下，如图4中双点划线所示，蒸镀掩模20的第1面20a位于保持有蒸镀材料98的坩埚94侧，蒸镀掩模20的第2面20b面对玻璃基板92。因此，蒸镀材料98通过截面积逐渐变小的第1凹部30而附着于玻璃基板92上。如图4中箭头所示，蒸镀材料98从坩埚94向玻璃基板92不仅沿着玻璃基板92的法线方向移动，而且也有时在相对于玻璃基板92的法线方向较大倾斜的方向移动。此时，蒸镀掩模20的厚度大时，倾斜移动的蒸镀材料98很多在通过贯通孔25到达玻璃基板92之前会到达第1凹部30的壁面31而附着。此外，在玻璃基板92上的与贯通孔25面对的区域内，会产生蒸镀材料98易于到达的区域和难以到达的部分。因此，为了提高蒸镀材料的利用效率(成膜效率：附着于玻璃基板92上的比例)而节约昂贵的蒸镀材料、且使利用了昂贵的蒸镀材料的成膜在所期望的区域内稳定而均匀地进行实施，重要的是按照尽可能使倾斜移动的蒸镀材料98到达玻璃基板92的方式来构成蒸镀掩模20。即，在蒸镀掩模20的与片材面正交的图4～图6的截面中，使直线l1相对于蒸镀掩模20的法线方向所形成的最小角度θ1(参照图4)充分变大是有利的，所述直线l1通过贯通孔25的作为具有最小截面积的部分的连接部41、和第1凹部30的壁面31的其他任意位置。

作为用于加大角度θ1的方法之一，可以考虑，使蒸镀掩模20的厚度减小，由此，使第1凹部30的壁面31、第2凹部35的壁面36的高度变小。即，可以说，作为用于构成蒸镀掩模20的金属板21，在可确保蒸镀掩模20的强度的范围内优选使用厚度尽可能薄的金属板21。

作为用于加大角度θ1的其他方法，还可以考虑使第1凹部30的轮廓最佳化。例如根据本实施方式，通过相邻的两个第1凹部30的壁面31汇合，相比未与其他凹部汇合的具有以虚线所示的壁面(轮廓)的凹部，可大幅加大该角度θ1。以下说明其理由。

如后面所详细说明的那样，第1凹部30是通过对金属板21的第1面21a进行蚀刻而形成的。通过蚀刻形成的凹部的壁面一般呈曲面状，该曲面状的凸起朝向侵蚀方向。因此，通过蚀刻形成的凹部的壁面31在蚀刻开始侧的区域中陡峭，在与蚀刻开始侧相反的一侧的区域、即凹部的最深的一侧，相对于金属板21的法线方向较大地倾斜。另一方面，图示的蒸镀掩模20中，相邻的两个第1凹部30的壁面31在蚀刻开始侧发生汇合，因此，两个第1凹部30的壁面31的前端边缘32汇合的部分43的外轮廓并非陡峭的形状，而是倒角的形状。因此，可以使形成贯通孔25的大部分的第1凹部30的壁面31有效地相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜。即，可以加大角度θ1。

利用基于本实施方式的蒸镀掩模20，在有效区域22的整个区域，可有效地增大第1凹部30的壁面31与蒸镀掩模的法线方向所形成的倾斜角度θ1。由此，可在有效改善蒸镀材料98的利用效率的同时，高精度且稳定地实施所期望的图案下的蒸镀。

此外，如后述的制造方法所述，从与蒸镀掩模20的第1面20a对应的金属板21的第1面21a侧对该金属板21进行蚀刻而制作第1凹部30的情况下，在用于形成蒸镀掩模20的有效区域22的金属板21的整个区域，该金属板21的第1面21a因蚀刻而被侵蚀。即，蒸镀掩模的沿着法线方向的有效区域22内的最大厚度ta相对于蒸镀掩模的沿着法线方向的周围区域23内的最大厚度tb小于100％。如此，从提高蒸镀材料的利用效率的方面考虑，优选使有效区域22内的厚度整体变薄。另一方面，从蒸镀掩模强度的方面出发，蒸镀掩模的沿着法线方向的有效区域22内的最大厚度ta优选为蒸镀掩模的沿着法线方向的周围区域23内的最大厚度tb的50％以上。有效区域22内的最大厚度ta为周围区域23内的最大厚度tb的50％以上的情况下，在将蒸镀掩模20张紧设于框架15上时，可有效抑制蒸镀掩模20在有效区域22内的变形，由此，可有效实施所期望的图案下的蒸镀。

但是，为了得到厚度小的金属板21，需要加大通过轧制母材来制造金属板21时的轧制率。但是，轧制率越大，残留于金属板的应力即残余应力也越大。若残余应力大，则在蚀刻金属板21而制作蒸镀掩模20时，在金属板21中的实施蚀刻的一侧，残余应力得到消除，其结果，所得到的蒸镀掩模20会产生翘曲。可以认为，翘曲大的情况下，无法使蒸镀掩模20充分密于基板92，其结果，蒸镀的位置精度降低。另外，在本实施方式中，如上所述，对金属板21的第1面21a的有效区域22的宽幅区域中、例如整个区域中进行蚀刻，由此制作蒸镀掩模20。因此，与仅第1面21a的局部进行蚀刻的情况相比，金属板21的第1面21a侧被消除的残余应力的程度变大，其结果，发生翘曲的可能性也变大。因此，如后所述，重要的是筛选出在成为蒸镀掩模20时难以产生翘曲的金属板21来使用。

如上所述，本实施方式中，贯通孔25在各有效区域22中以预定的图案配置。需要说明的是，欲进行彩色显示的情况下，可以沿着贯通孔25的排列方向(上述的一个方向)使蒸镀掩模20(蒸镀掩模装置10)和玻璃基板92一点一点地相对移动，依次蒸镀红色用的有机发光材料、绿色用的有机发光材料和蓝色用的有机发光材料。

需要说明的是，蒸镀掩模装置10的框架15安装于矩形的蒸镀掩模20的周边部。框架15按照不使蒸镀掩模20挠曲的方式将蒸镀掩模保持在张紧的状态。蒸镀掩模20与框架15相互通过例如点焊进行固定。

蒸镀处理在高温气氛下的蒸镀装置90的内部实施。因此，蒸镀处理期间，保持在蒸镀装置90内部的蒸镀掩模20、框架15和基板92也被加热。此时，蒸镀掩模、框架15和基板92显示出基于各自热膨胀系数的尺寸变化的行为。这种情况下，若蒸镀掩模20、框架15与基板92的热膨胀系数差异较大，则因它们的尺寸变化的差异而发生错位，其结果，附着于基板92上的蒸镀材料的尺寸精度和位置精度会降低。为了解决这样的问题，优选蒸镀掩模20和框架15的热膨胀系数与基板92的热膨胀系数为同等的值。例如，作为基板92使用玻璃基板92时，作为蒸镀掩模20和框架15的材料，可以使用在铁中添加有36％的镍的合金即因瓦合金材料。

下面对具有这样的构成的本实施方式的作用和效果进行说明。在此，首先对用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法进行说明。接着对使用所得到的金属板制造蒸镀掩模的方法进行说明。其后，对使用所得到的蒸镀掩模在基板上进行蒸镀材料的蒸镀的方法进行说明。

(金属板的制造方法)

首先，参照图7(a)、7(b)、图8(a)、8(b)和图9(a)、9(b)对金属板的制造方法进行说明。图7(a)为示出通过轧制母材而得到具有所期望的厚度的金属板的工序的图，图7(b)为示出对通过轧制所得到的金属板进行退火的工序的图。图8(a)为示出从利用图7(a)、7(b)所示的工序得到的金属板中切出的样品的图，图8(b)为示出通过对图8(a)所示的样品的第1面进行蚀刻而得到的已蚀刻样品的图。图9(a)、(b)分别为示出从金属板中切出的样品载置于载置台上的样子的立体图和俯视图。

[轧制工序]

首先如图7(a)所示，准备含有因瓦合金材料的母材55，向包含一对轧制辊56a、56b的轧制装置56传送该母材55。到达一对轧制辊56a、56b之间的母材55被一对轧制辊56a、56b轧制，其结果，母材55的厚度降低，同时沿着传送方向被拉伸。由此，可到厚度t0的长金属板64。如图7(a)所示，可以将长金属板64卷取于芯材61上而形成卷绕体62。

[退火工序]

其后，为了消除因轧制而蓄积于长金属板64内的残余应力，如图7(b)所示，使用退火装置57对长金属板64进行退火。如图7(b)所示，可以一边将长金属板64于传送方向(长度方向)拉伸一边实施退火工序。其结果，可得到残余应力以某种程度被除去的、厚度t0的长金属板64。如图7(b)所示，可以将长金属板64卷取于芯材61上而形成卷绕体62。需要说明的是，厚度t0通常等于蒸镀掩模20的周围区域23内的最大厚度tb。

需要说明的是，轧制工序和退火工序的形态并不特别限定于图7(a)、(b)所示的形态。例如，轧制工序可以利用2对以上的轧制辊56a、56b来实施。此外，也可以通过将轧制工序和退火工序反复进行2次以上来制作厚度t0的长金属板64。另外，图7(b)中，示出了退火工序在一边将长金属板64于长度方向拉伸一边进行实施的例子，但并不限定于此，也可以在长金属板64被卷取于芯材61的状态下实施退火工序。需要说明的是，在长金属板64被卷取于芯材61的状态下实施退火工序的情况下，有时在长金属板64上会产生与卷绕体62的卷取径相对应的翘曲的问题。因此，根据卷绕体62的卷取径、构成母材55的材料，一边将长金属板64于长度方向拉伸一边实施退火工序是有利的。

[检查工序]

其后，实施对所得到的长金属板64的翘曲的程度进行检查的检查工序。首先，如图8(a)所示，从长金属板64中切出长l、宽w和厚t0的样品75。图8(a)中，样品75的第1面和第2面分别以符号75a和75b表示。第1面75a和第2面75b为与样品75的厚度方向正交的面，并且为互为相向的面。另外，图8中，位于第1面75a与第2面75b之间、且在样品75的长度方向延伸的一对侧面分别以符号75c和75d表示。长l、宽w和厚t0如后所述可根据由长金属板64得到的蒸镀掩模20的尺寸等适当确定，例如达到长l为170mm、宽w为30mm、厚t0为0.020mm以上且0.100mm以下的范围内。

接着，如图8(b)所示，从第1面75a侧在第1面75a的被蚀刻区域75f的整个区域将样品75蚀刻，直至样品75的被蚀刻区域75f的厚度为t1。需要说明的是，被蚀刻区域75f为样品75中的被蚀刻的区域。例如，被蚀刻区域75f是将样品75的除长度方向的两端75g1、75g2起l1、l2以内的区域以外的区域。两端75g1、75g2附近的长度l1、l2的区域均为不被蚀刻的区域。如后所述，这样的不被蚀刻的区域在将样品75载置于载置台上时确保样品75的稳定性的方面等方面发挥作用。

由图8(b)可知，样品75的长度方向的被蚀刻区域75f的长度l3是从样品75的长度l中减去长度l1和长度l2后的长度。长度l1和长度l2适当确定，以便将样品75载置于载置台上时确保样品75的稳定性，例如均为10mm。这种情况下，长度方向的被蚀刻区域75f的长度l3为150mm。

蚀刻后的样品75的厚度t1根据为了制作蒸镀掩模20而实施的蚀刻的程度而适当确定，例如厚度t1为1/3×t0以上且2/3×t0以下的范围内。此处，由于样品75中以某种程度蓄积了残余应力，因此通过从第1面75a侧对样品75进行蚀刻，在样品75中产生翘曲。以下对测定翘曲的曲率的工序进行说明。

作为用于评价样品的翘曲的方法，已知的方法是，支撑样品的一端使样品在空中悬挂，同时算出样品翘曲的曲率。但是，这种情况下，翘曲的曲率的测定结果中，不仅反映出起因于残余应力消除的要素，还反映出起因于样品自重的要素。因此，可以认为，不能精确地评价起因于残余应力的样品的翘曲。在此，根据本实施方式，如图9(a)所示，按照样品75的侧面75c为水平的方式将样品75载置于预定的载置台76上，在该状态下算出样品75的翘曲的曲率。因此，根据本实施方式，能够更加精确地评价起因于残余应力的样品75的翘曲。需要说明的是，样品75的两端75g1、75g2的附近，残留有长度l1、l2的具有原本厚度t0的区域，因此，可使样品75稳定地立于载置台76上。另外，容易用手把持样品75的两端75g1、75g2。进一步，如后所述，取得样品75的作业包括将金属板的一部分切断的工序时，切断所致的应变的影响被具有原本厚度t0的区域所吸收，因此可防止或抑制切断所致的应变的影响波及被蚀刻区域75f。

以下对用于计算样品75的翘曲的曲率k的具体方法进行说明。图9(b)是示出从上方观察处于沿着长度方向发生翘曲的状态的样品75时的俯视图。图9(b)中，样品75的被蚀刻区域75f的长度方向的一对端部以符号75e表示。首先，对样品75的被蚀刻区域75f的长度方向的端部间距离x(mm)和样品75的被蚀刻区域75f的翘曲的深度y(mm)进行测定。需要说明的是，翘曲的深度y是指，样品75的被蚀刻区域75f的一对端部75e连成的直线与样品75的被蚀刻区域75f之间的距离的最大值。接着，基于下式算出样品75的被蚀刻区域75f的翘曲所对应的曲率半径ρ。

ρ＝(y/2)+(x²/8y)

接着基于下式算出样品75的翘曲的曲率k。

k＝1/ρ

如此，可求出样品75的翘曲的曲率k(mm^-1)。

其后，基于所得到的曲率k的值，实施长金属板64的筛选。在此，选出曲率k的值为基准值以下的样品75的长金属板64，在后述的蒸镀掩模20的制造工序中仅使用上述长金属板64由此来实施长金属板64的筛选。根据针对使用了蒸镀掩模20的蒸镀所要求的位置精度等来适当确定基准值，例如选出了曲率k的值为0.008mm^-1以下的样品75的长金属板64被认定为良品。通过实施这样的筛选，即使在因为蒸镀掩模20的制造工序的蚀刻而在蒸镀掩模20中产生翘曲的情况下，也可以使该翘曲的程度在容许范围内。由此，可提高所制造的蒸镀掩模20的特性。此外，可提高蒸镀掩模20的制造工序中的成品率。

需要说明的是，如图9(a)所示，在载置台与样品75之间，也可以设置方格纸77等用于使距离测定容易的手段。由此，可使上述的端部间距离x(mm)和翘曲的深度y(mm)的测定容易，从而可迅速算出曲率k。

另外，如图9(a)所示，可以按照载置样品75的载置面76a可在上下方向振动的方式在载置台76中形成中空部76b。这种情况下，首先，在载置台76上或在配置于载置台76上的方格纸77上载置样品75，接着，通过对载置面76a敲击等而使载置面76a在上下方向发生振动，从而能够使在样品75与载置台76或方格纸77之间产生得到的摩擦力得到消除或减轻。由此，可抑制在曲率的测定结果中出现摩擦力的影响。对载置台76和中空部76b等的尺寸没有特别限定，例如载置台76的宽度和长度均为300mm，载置台76的厚度为50mm。此外，载置台76的中空部76b可按照例如载置台76的载置面76a和底面的厚度分别为5mm的方式来构成。构成载置台76的材料没有特别限定，例如载置台76可由丙烯酸类树脂构成。

(蒸镀掩模的制造方法)

下面，主要参照图10～图17，对利用如上筛选出的长金属板64来制造蒸镀掩模20的方法进行说明。以下说明的蒸镀掩模20的制造方法中，如图10所示，供给长金属板64，在该长金属板64上形成贯通孔25，进一步裁断长金属板64，从而得到由片状的金属板21构成的蒸镀掩模20。

更具体地说，蒸镀掩模20的制造方法包括：供给延伸成带状的长金属板64的工序；将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板64，在长金属板64上从第1面64a侧形成第1凹部30的工序；和，将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板64，在长金属板64上从第2面64b侧形成第2凹部35的工序。并且，形成于长金属板64的第1凹部30和第2凹部35相互相通，从而在长金属板64上制作出贯通孔25。在图10所示的例子中，第2凹部35的形成工序在第1凹部30的形成工序之前实施，并且在第2凹部35的形成工序与第1凹部30的形成工序之间进一步设置有对所制作的第2凹部35进行密封的工序。以下详细说明各工序。

图10示出了用于制作蒸镀掩模20的制造装置60。如图10所示，首先，准备将长金属板64卷取于芯材61上而成的卷绕体62。并且，通过旋转该芯材61而将卷绕体62放卷，从而如图10所示那样供给延伸成带状的长金属板64。需要说明的是，长金属板64形成有贯通孔25后形成片状的金属板21、进而形成蒸镀掩模20。

被供给的长金属板64被传送辊72传送至蚀刻装置(蚀刻单元)70。利用蚀刻单元70，实施图11～图17所示的各处理。首先，如图11所示，在长金属板64的第1面64a上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65a，并且在长金属板64的第2面64b上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65b。具体地说，如下进行实施。首先，在长金属板64的第1面64a上(图11的纸面中的下侧的面上)和第2面64b上涂布负型的感光性抗蚀剂材料，在长金属板64上形成抗蚀剂膜。接着，准备玻璃干板，该玻璃干板以使光不会透过至抗蚀剂膜中的欲除去的区域，将玻璃干板配置在抗蚀剂膜上。其后，隔着玻璃干板将抗蚀剂膜曝光，进一步将抗蚀剂膜显影。如此，可在长金属板64的第1面64a上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65a、在长金属板64的第2面64b上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65b。

需要说明的是，作为感光性抗蚀剂材料，可以使用正型的感光性抗蚀剂材料。这种情况下，作为曝光掩模，使用使光透过至抗蚀剂膜中的欲除去的区域的曝光掩模。

接着，如图12所示，将长金属板64上形成的抗蚀剂图案65b作为掩模，使用蚀刻液(例如氯化铁(iii)溶液)，从长金属板64的第2面64b侧蚀刻。例如，蚀刻液从喷嘴隔着抗蚀剂图案65b喷向长金属板64的第2面64b，所述喷嘴配置在与传送的长金属板64的第2面64b面对的一侧。其结果，如图12所示，长金属板64中的未被抗蚀剂图案65b覆盖的区域中，蚀刻液所致的侵蚀推进。如此，从第2面64b侧在长金属板64上形成大量的第2凹部35。

其后，如图13所示，利用对蚀刻液具有耐性的树脂69，将所形成的第2凹部35被覆。即，利用对蚀刻液具有耐性的树脂69，将第2凹部35密封。在图13所示的例子中，树脂69的膜按照不仅覆盖所形成的第2凹部35、而且也覆盖第2面64b(抗蚀剂图案65b)的方式形成。

接着，如图14所示，对长金属板64进行第2次蚀刻。在第2次蚀刻中，长金属板64仅从第1面64a侧被蚀刻，从第1面64a侧，第1凹部30的形成推进。由于长金属板64的第2面64b侧被覆有对蚀刻液具有耐性的树脂69，因此，通过第1次蚀刻形成所期望的形状的第2凹部35的形状不会受损。

基于蚀刻的侵蚀在长金属板64中的与蚀刻液接触的部分进行。因此，侵蚀不仅仅在长金属板64的法线方向(厚度方向)推进，在沿着长金属板64的板面的方向也推进。其结果，如图15所示，蚀刻在长金属板64的法线方向推进而使第1凹部30与第2凹部35连接，不仅如此，在与抗蚀剂图案65a的相邻的二个孔66a面对的位置分别形成的两个第1凹部30在位于二个孔66a之间的桥部67a的内侧汇合。

如图16所示，从长金属板64的第1面64a侧的蚀刻进一步推进。如图16所示，相邻的两个第1凹部30汇合而成的汇合部分43脱离抗蚀剂图案65a，处于抗蚀剂图案65a之下的该汇合部分43中，蚀刻所致的侵蚀也在金属板64的法线方向(厚度方向)推进。由此，朝向沿着蒸镀掩模的法线方向的一侧尖锐的汇合部分43从沿着蒸镀掩模的法线方向的一侧被蚀刻，从而如图16所示那样被倒角。由此，可使第1凹部30的壁面31相对于蒸镀掩模的法线方向所形成的倾斜角θ1增大。

如此，基于蚀刻的长金属板64的第1面64a的侵蚀在长金属板64的用于形成有效区域22的整个区域内推进。由此，用于形成有效区域22的区域内的长金属板64的沿着法线方向的最大厚度ta相比蚀刻前的长金属板64的最大厚度tb变薄。

如上所述，从长金属板64的第1面64a侧的蚀刻仅推进预先设定的量，对长金属板64的第2次蚀刻结束。此时，第1凹部30沿着长金属板64的厚度方向延伸至到达第2凹部35的位置处，从而利用相互相通的第1凹部30和第2凹部35在长金属板64上形成贯通孔25。

其后，如图17所示，从长金属板64上除去树脂69。通过使用例如碱系剥离液而能够除去树脂膜69。需要说明的是，使用碱系剥离液的情况下，如图17所示，与树脂69同时也除去抗蚀剂图案65a、65b。

利用以夹持该长金属板64的状态进行旋转的传送辊72、72向切断装置(切断单元)73传送如此形成有大量贯通孔25的长金属板64。需要说明的是，藉由利用该传送辊72、72的旋转而作用于长金属板64的张力(拉伸力)，使上述的供给芯材61旋转，从而由卷绕体62供给长金属板64。

其后、利用切断装置(切断单元)73将形成有大量凹部61的长金属板64切断成预定的长度，从而得到形成有大量贯通孔25的片状金属板21。

如上操作，可得到由形成有大量贯通孔25的金属板21构成的蒸镀掩模20。在此，根据本实施方式，金属板21的第1面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻。因此，使蒸镀掩模20的有效区域22的厚度减小，并且可以使在第1面21a侧形成的两个第1凹部30的壁面31的先端边缘32汇合的部分43的外轮廓为倒角的形状。因此，可以增大上述角度θ1，由此，可提高蒸镀材料的利用效率和蒸镀的位置精度。

但是，对金属板21的第1面21a在有效区域22的整个区域进行蚀刻会增大第1面21a侧的蚀刻的程度与第2面21b侧的蚀刻的程度的差异。即，在第1面21a侧与第2面21b侧之间会发生被消除的残余应力的不均衡，甚至会产生金属板21即蒸镀掩模20的翘曲。在此，根据本实施方式，使用了如上所述基于样品75的翘曲的程度预先筛选出的长金属板64。因此，即使在第1面21a侧与第2面21b侧之间在蚀刻的程度上存在差异的情况下，也可以使蒸镀掩模20所产生的翘曲的程度在容许范围内。因此，根据本实施方式，通过减小蒸镀掩模20的厚度、且增大蒸镀掩模20的第1凹部30的壁面31的倾斜角度θ1，可以提高蒸镀材料的利用效率和蒸镀的位置精度、可以使轮廓最佳化、可以使蒸镀掩模20的翘曲的减小和蒸镀掩模20的制造工序的成品率的提高同时实现。因此，可稳定地提供具有优异特性的蒸镀掩模20。

(蒸镀方法)

接着，对使用所得到的蒸镀掩模20将蒸镀材料蒸镀于基板92上的方法进行说明。首先，如图2所示，使蒸镀掩模20与基板92密合。此时，将蒸镀掩模20张紧设于框架15上，从而使蒸镀掩模20的面平行于基板92的面。在此，根据本实施方式，使用了基于样品75的翘曲程度而预先筛选出的长金属板64。因此，与未实施这样的筛选的情况相比，蒸镀掩模20的翘曲的程度得到均匀地降低。因此，通过将适当的张力施加于蒸镀掩模20，可相对于基板92平行地保持蒸镀掩模20。即，为了矫正由内部应力(残余应力)的消除所致的翘曲，无需将会使蒸镀掩模20产生褶皱的程度的高张力施加于蒸镀掩模20。因此，可使蒸镀掩模20充分与基板92密合，由此，能够以高的位置精度将蒸镀材料蒸镀于基板92上。因此，通过蒸镀形成有机el显示装置的像素时，可提高有机el显示装置的像素的尺寸精度和位置精度。由此，可制作出高精细的有机el显示装置。

需要说明的是，在上述的本实施方式中所示出的例子中，蒸镀掩模20的2个以上的有效区域22沿着与蒸镀掩模20的一边平行的一个方向隔着预定的间隔进行了配置，并且沿着与上述一个方向正交的另一方向隔着预定的间隔进行了配置。但是，并不限定于此，如图18所示，蒸镀掩模20也可以包含沿着一个方向排成一列的2个以上的有效区域22、且蒸镀掩模装置10具有在与其长度方向(一个方向)正交的方向上排列且安装于框架15上的2个以上的蒸镀掩模20。对制造这样的蒸镀掩模20的方法没有特别限定。例如，可以使用具有与图18所示的蒸镀掩模20相对应的宽度的长金属板64即金属板21来制造蒸镀掩模20。或者，沿着长金属板64即金属板21的一个方向和另一方向形成2个以上的有效区域22后，将金属板21沿着其长度方向切断，从而也可以制作图18所示的蒸镀掩模20。

实施例

下面通过实施例更具体地说明本发明，但只要不超出其要点，本发明就不限定于以下实施例的记载。

(样品的制作)

首先，对含有因瓦合金材料的母材实施上述的轧制工序和退火工序，从而制造具有500mm的宽度和t0的厚度的长金属板卷取而成的卷绕体(第1卷绕体)。其后，将第1卷绕体切出300mm的长度，从而得到图19(a)所示的金属板63。图19(a)中，箭头d1对应于轧制工序时的传送方向、即轧制方向，箭头d2对应于轧制工序时的宽度方向。

接着，如图19(b)所示，从金属板63中取得多片样品75。样品75的尺寸为长170mm×宽30mm。需要说明的是，样品75的长度方向为与箭头d1平行的方向，并且样品75的宽度方向为与箭头d2平行的方向。从1个金属板63中取得样品75的片数为15片。作为从金属板63中取得多片样品75的方法，使用了蚀刻。具体地说，首先，在金属板63的第1面侧和第2面侧这两侧设置抗蚀剂图案，该抗蚀剂图案覆盖应成为样品75的区域和金属板63的外框部分63a。接着，将该抗蚀剂图案作为掩模，从第1面侧和第2面侧这两侧对金属板63进行蚀刻。由此，如图19(b)所示，在金属板63的外框部分63a与金属板63中的应成为样品75的区域之间形成了贯通孔63b。需要说明的是，蚀刻是按照用于连接金属板63的外框部分63a和样品75的连接部63c被保留的方式来实施的。连接部63c的尺寸为长3mm×宽1mm左右。

接着，如图19(c)所示，从样品75的第1面75a侧在第1面75a的被蚀刻区域75f的整个区域对样品75进行蚀刻，直至样品75的被蚀刻区域75f的厚度达到(1/2-8/100)×t0以上且(1/2+8/100)×t0以下的范围内。其后，通过切断连接部63c，从金属板63中取出经蚀刻的15片样品75。需要说明的是，为了防止因切断所致的应变的影响波及被蚀刻区域75f，作为切断连接部63c的手段，可以使用精密剪刀。

需要说明的是，在金属板63上形成上述的贯通孔63b、以及使样品75的被蚀刻区域75f的厚度为(1/2-8/100)×t0以上且(1/2+8/100)×t0以下的范围内均可以通过同一蚀刻处理而同时实施。

(样品的曲率的计算)

下面，与上述的检查工序的情况同样，依次求出经蚀刻的各样品75中的翘曲的曲率k(mm^-1)。具体地说，首先，按照样品75的侧面75c水平的方式，隔着方格纸77将样品75载置于形成有中空部76b的载置台76的载置面76a上。接着，对载置台76的载置面76a施加振动，直至目视下样品75的翘曲的状态不发生变化为止。其后，利用方格纸77的刻度读出被蚀刻区域75f的长度方向的端部间距离x(mm)和样品75的被蚀刻区域75f的翘曲的深度y(mm)。接着，基于下式算出与样品75的被蚀刻区域75f的翘曲对应的曲率半径ρ。

ρ＝(y/2)+(x²/8y)

接着，基于下式算出样品75的翘曲的曲率k。

k＝1/ρ

从第1卷绕体中取得的15片样品75中的翘曲的曲率k的测定结果中，最大值为7.6×10^-3mm^-1。

(1次效果的评价)

使用上述的蒸镀掩模的制造方法，由第1卷绕体的长金属板制造蒸镀掩模。接着测定所得到的蒸镀掩模的卷曲。需要说明的是，卷曲是指，将蒸镀掩模载置于水平面上的情况下所表现出的在上下方向的蒸镀掩模起伏的最大值。结果，由第1卷绕体的长金属板得到的蒸镀掩模的卷曲为0.25mm。

(2次效果的评价)

使用由第1卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模，在基板上进行蒸镀材料的蒸镀。需要说明的是，在使用的蒸镀掩模上形成的大量贯通孔的图案为与像素密度300ppi对应的条纹图案。另外，作为蒸镀材料，使用了放射出绿色光的绿色用有机发光材料。其后，关于蒸镀于基板上的由绿色用有机发光材料形成的2层以上的绿色发光层的各层，测定它们的中心坐标位置和线宽尺寸。此外，对于测定出的中心坐标位置和线宽尺寸，分别算出相对于设计值的偏离量。并且判定偏离量是否为容许值以下。此时，中心坐标位置的偏离量的容许值为±4μm，线宽尺寸的偏离量的容许值为±2μm。结果，中心坐标位置和线宽尺寸中的任一者的偏离量均在容许值以下。即，蒸镀材料的位置精度和尺寸精度中的任一者也均良好(ok)。

表1中示出从第1卷绕体中取得的样品的曲率的测定结果、以及关于由第1卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模的上述1次效果和2次效果的评价结果。另外，与第1卷绕体的情况同样地，由含有因瓦合金材料的母材制造出第2卷绕体～第20卷绕体。进一步，与第1卷绕体的情况同样地，对于第2卷绕体～第20卷绕体实施了从各卷绕体中取得的样品的曲率的测定、以及关于由各卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模的上述1次效果和2次效果的评价。结果一并示于表1。

【表1】

如表1所示，从第1卷绕体～第10卷绕体中取得的样品的曲率均为0.008mm^-1以下。并且，由第1卷绕体～第10卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模的卷曲均为0.25mm以下。进而，在使用了由第1卷绕体～第10卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模的蒸镀中，蒸镀材料的位置精度和尺寸精度均良好(ok)。

相对于此，从第11卷绕体～第20卷绕体中取得的样品的曲率均超过0.008mm^-1。另外，由第11卷绕体～第20卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模的卷曲均超过0.25mm。进而，在使用了由第11卷绕体～第20卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模的蒸镀中，蒸镀材料的一部分的位置精度和全部的尺寸精度为不良(ng)，综合而言全部为不良(ng)。即，蒸镀于基板上的蒸镀材料的位置和尺寸相对于设计的偏离为容许范围外。

由此可以认为，通过使用所取得的样品的曲率为0.008mm^-1以下的卷绕体，可得到具有良好的蒸镀特性的蒸镀掩模。

符号说明

20蒸镀掩模

20a蒸镀掩模的第1面

20b蒸镀掩模的第2面

21金属板

21a金属板的第1面

21b金属板的第2面

22有效区域

23周围区域

25贯通孔

30第1凹部

31壁面

35第2凹部

36壁面

55母材

56轧制装置

57退火装置

61芯材

62卷绕体

64长金属板

64a长金属板的第1面

64b长金属板的第2面

75样品

75a样品的第1面

75b样品的第2面

75c、75d侧面

75f被蚀刻区域

76载置台

76a载置面

76b中空部

77方格纸