一种用于装夹靶材的磁控溅射镀膜装夹装置的制作方法

本发明涉及靶材的磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种用于装夹靶材的磁控溅射镀膜装夹装置。

背景技术：

磁控溅射镀膜技术是现阶段广泛应用的镀膜技术，普遍应用于微电子、材料等领域，在各个领域应用广泛，市场应用需求很大。磁控溅射镀膜装夹装置是用于对在镀膜机中，靶材固定的重要装置，对于靶材镀膜的质量影响很大。

目前存在的问题是现有的磁控溅射镀膜装夹装置装夹效率、稳定和可靠性低，批量加工的数量少，装夹靶材不稳定，有出现滑动的情况。在实际应用中，把靶材镀膜面朝下，挂在镀膜机内，其装夹可靠性对靶材镀膜质量影响很大，装夹效率、装夹数量直接决定产品镀膜效率。同时在磁控溅射镀膜过程中，对于靶材装夹要求较高，要求同一批次所有镀膜的靶材在镀膜时处于同一平面，并且不允许出现滑动。传统的靶材磁控溅射镀膜工装装夹装置在实际应用存在固定不牢或者是单次装夹数量有限，限制了其镀膜的效率和质量。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种实现了批量装夹、装夹稳定可靠，提高了生产效率的用于装夹靶材的磁控溅射镀膜装夹装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于装夹靶材的磁控溅射镀膜装夹装置，包括连接杆和装夹圆盘，所述连接杆头部固定于装夹圆盘的中心，所述装夹圆盘端面从外侧至内侧设有至少两圈同心的靶材安装孔，每一圈的所有靶材安装孔匀均间隔布置，所述靶材装设于靶材安装孔内，所述装夹圆盘的外周面设有与最外侧的靶材安装孔连通的第一紧固孔，所述第一紧固孔内设有第一紧固件，所述装夹圆盘的底面设有倾斜的且与内侧的靶材安装孔连通的第二紧固孔，所述第二紧固孔内设于第二紧固件。

所述靶材安装孔为可与所述靶材配合的沉孔。

所述靶材外周面通过胶带粘贴在所述靶材安装孔内

所述第一紧固件为第一紧固螺钉，所述第二紧固件为第二紧固螺钉。

所述装夹圆盘的中心设有通孔，所述连接杆的头部固定于所述通孔内。

所述连接杆焊接于所述通孔内。

所述连接杆的尾部设有用于安装的螺纹。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的装夹装置，通过在装夹圆盘上均布开孔，最大面积利用装夹圆盘的使用面积，尽可能多的实现了在装夹圆盘上的装夹靶材，极大提高了磁控溅射镀膜效率；同时针对外侧的靶材采用径向抵紧的方式、针对中间和内侧的靶材采用斜向抵紧的方式，有效实现了对所有靶材的固定作用，稳定可靠；该装夹装置解决了现有磁控溅射镀膜装夹装置装夹效率低、稳定可靠性低、批量加工的数量少、装夹靶材不稳定的问题，实现了对靶材的可靠固定，又提高了单次装夹数量，实现了批量装夹，提高了靶材的镀膜质量和效率。

附图说明

图1是本发明装夹装置的立体结构示意图。

图2是本发明装夹装置的主视结构示意图。

图中各标号表示：

1、连接杆；2、装夹圆盘；21、第一紧固孔；22、第二紧固孔；23、通孔；3、靶材安装孔；4、靶材；5、第一紧固件；6、第二紧固件；7、胶带；8、螺纹。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1和图2所示，本实施例的用于装夹靶材的磁控溅射镀膜装夹装置，包括连接杆1和装夹圆盘2，连接杆1头部固定于装夹圆盘2的中心，装夹圆盘2端面从外侧至内侧设有至少两圈同心的靶材安装孔3，每一圈的所有靶材安装孔3匀均间隔布置，靶材4装设于靶材安装孔3内，装夹圆盘2的外周面设有与最外侧的靶材安装孔3连通的第一紧固孔21，第一紧固孔21内设有第一紧固件5，装夹圆盘2的底面设有倾斜的且与内侧的靶材安装孔3连通的第二紧固孔22，第二紧固孔22内设于第二紧固件6。

本实施例中，装夹圆盘2上设置三圈靶材安装孔3，分为内中外三圈，所有靶材安装孔3内安装完靶材4后，外侧一圈的靶材4，通过第一紧固孔21内第一紧固件5抵紧，第一紧固孔21垂直与装夹圆盘2的外周面，第一紧固件5径向朝内与靶材4的侧壁抵紧；内侧一圈和中间一圈的靶材4由于其位于装夹圆盘2的内侧，无法采用径向锁紧方式，因此在装夹圆盘2的底面靠近中间和内侧的每个靶材安装孔3附近开设斜孔，即第二紧固孔22，第二紧固件6伸入该孔内与靶材4的侧壁斜向抵紧，从而实现装夹圆盘2上所有靶材4锁紧，最后通过连接杆1尾部固定在离子镀膜机安装台(图中未示出)上。

本发明的装夹装置，通过在装夹圆盘2上均布开孔，最大面积利用装夹圆盘2的使用面积，尽可能多的实现了在装夹圆盘2上的装夹靶材4，极大提高了磁控溅射镀膜效率；同时针对外侧的靶材4采用径向抵紧的方式、针对中间和内侧的靶材4采用斜向抵紧的方式，有效实现了对所有靶材4的固定作用，稳定可靠。该装夹装置解决了现有磁控溅射镀膜装夹装置装夹效率低、稳定可靠性低、批量加工的数量少、装夹靶材不稳定的问题，实现了对靶材4的可靠固定，又提高了单次装夹数量，实现了批量装夹，提高了靶材4的镀膜质量和效率。

本实施例中，靶材安装孔3为可与靶材4配合的沉孔。沉孔与靶材4形状相匹配，沉孔的台阶对靶材4进行定位，稳定可靠。

本实施例中，第一紧固件5为第一紧固螺钉，第一紧固螺钉与第一紧固孔21螺纹配合，第二紧固件6为第二紧固螺钉，第二紧固螺钉与第二紧固孔22螺纹配合。除本实施例外，第一紧固件5和第二紧固件6也可以为销钉，通过卡紧方式锁紧。

本实施例中，装夹圆盘2的中心设有通孔23，连接杆1头部焊接于通孔23内，尾部设有螺纹8，用于与离子镀膜机安装台螺纹连接。具体的，装夹圆盘2中心通孔23直径为6mm，与连接杆1通过焊接连接，连接杆1尾部螺纹8的直径为5.5mm。装夹圆盘2的厚度为4mm，其沉孔(靶材安装孔3)大圆直径为5.5mm，深度2.5mm，小圆直径为3mm，沉孔在装夹圆盘2上分内、中、外三圈布置，外圈20个，中圈12个，内圈8个，即一次可以装夹40个靶材4。

本实施例中，靶材4在安装前，在靶材4外周面缠绕胶带7，通过胶带7将靶材4粘贴在靶材安装孔3内。包裹胶带7，一方面能够避免螺钉拧紧对靶材4侧面的损伤，另一方面，与螺钉形成双重紧固。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种用于装夹靶材的磁控溅射镀膜装夹装置，包括连接杆和装夹圆盘，所述连接杆头部固定于装夹圆盘的中心，所述装夹圆盘端面从外侧至内侧设有至少两圈同心的靶材安装孔，每一圈的所有靶材安装孔匀均间隔布置，所述靶材装设于靶材安装孔内，所述装夹圆盘的外周面设有与最外侧的靶材安装孔连通的第一紧固孔，所述第一紧固孔内设有第一紧固件，所述装夹圆盘的底面设有倾斜的且与内侧的靶材安装孔连通的第二紧固孔，所述第二紧固孔内设于第二紧固件。本发明实现了批量装夹靶材，装夹稳定可靠，提高了生产效率。

技术研发人员：李剑斌;谢峰;陈伟;谢明
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十八研究所
技术研发日：2017.12.12
技术公布日：2018.05.11