一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空镀膜设备，特别是涉及一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机。
【背景技术】
[0002]超导材料具有的优异特性使它从被发现之日起，就向人类展示了诱人的应用前景。但要实际应用超导材料又受到一系列因素的制约，这首先是它的临界参量，其次还有材料制作的工艺等问题(例如脆性的超导材料如何制成柔细的线材就有一系列工艺问题)，在超导材料的工艺加工过程中，需要用到真空镀膜设备。
[0003]真空高温磁控溅射是传统磁控溅射方式的改进，是未来高端磁控溅射的发展方向，对于镀膜过程中的缺陷和不足，能够起到很好的改进和弥补作用，使金属卷带的真空镀膜膜层更均匀、更致密、附着力更好，尤其适用于小型、薄型、柔性的零件。
[0004]高温卷绕磁控溅射镀膜机在国内现处于空白，国外也很难见到，且进口设备由于多方面原因，很难购到，因此我们迫切需要研制一种高性能的高温卷绕磁控溅射镀膜机，以填补国内空白。
[0005]目前采用的金属卷带高温卷绕磁控溅射镀膜机主要由真空容器、磁控溅射系统、加热系统、排气系统和控制柜组成。将需处理物件整体放入炉腔内，然后抽气、加热、镀膜、冷却、放气。由于现有磁控溅射镀膜机的金属卷带为整卷放入，没有展开，最外层挡住内层，金属卷带表面不能完全被加热和镀膜，故有加热均匀性差，镀膜均匀性差等缺点。另外通常磁控溅射镀膜为低温镀膜，膜层的牢固度和致密性不如高温磁控溅射镀膜。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种加热、镀膜均匀且能使金属卷带展开的金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机。
[0007]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
[0008]—种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，包括真空腔体、抽气机、控制柜和与所述真空腔体连通的充气机，所述真空腔体内设置有加热装置和磁控溅射系统，所述抽气机与所述真空腔体连通，所述抽气机和所述充气机分别位于所述真空腔体的上下两侧，所述抽气机的抽气口正对所述充气机的充气口，所述真空腔体内的左右两端分别设置有放卷机和收卷机，所述加热装置和所述磁控溅射系统分别位于所述真空腔体内的上下两端，所述充气机、所述放卷机和所述收卷机的控制信号输入端均与所述控制柜的控制信号输出端连接。
[0009]通过放卷机和收卷机可将金属卷带展开并收起，加热装置和磁控溅射系统都能更加均匀的作用于金属卷带上。
[0010]优选地，所述放卷机的转轴与所述收卷机的转轴竖直安装且相互平行，所述放卷机与所述收卷机的卷辊均位于所述加热装置和所述磁控溅射系统之间，这种结构便于布置金属卷带。
[0011 ] 优选地，所述真空腔体内还设置有气体分布器，所述气体分布器包括通气管和分布管，所述通气管的一端与所述充气机的出气口连接，所述分布管设置有一个进气口和多个出气孔，所述通气管的另一端与所述分布管的进气口连接，所述通气分布管的多个出气孔均竖直朝上，这种结构能够使得充气机更加均匀的向金属卷带吹气。
[0012]本实用新型的有益效果在于:
[0013]本实用新型在真空腔体内添加了放卷机和收卷机，使金属卷带能够展开，从而实现线性传动连续加热和镀膜，加热和镀膜更均匀，膜层更牢固、更致密。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型所述金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机的结构示意图；
[0015]图中:1-金属卷带，2-加热装置，3-放卷机，4-真空腔体，5-抽气机，6-收卷机，7-充气机，8-气体分布器，801-通气管，802-分布管，803-出气孔、9-磁控派射系统。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0017]如图1所示，本实用新型包括真空腔体4、抽气机5、控制柜和与真空腔体4连通的充气机7，真空腔体4内设置有加热装置2和磁控溅射系统9，抽气机5与真空腔体4连通，抽气机5和充气机7分别位于真空腔体4的上下两侧，抽气机5的抽气口正对充气机7的充气口，真空腔体4内的左右两端分别设置有放卷机3和收卷机6，加热装置2和磁控溅射系统9分别位于真空腔体4内的上下两端，充气机7、放卷机3和收卷机6的控制信号输入端均与控制柜的控制信号输出端连接。
[0018]在本实施例中，放卷机3的转轴与收卷机6的转轴竖直安装且相互平行，放卷机3与收卷机6的卷辊均位于加热装置2和磁控溅射系统9之间。真空腔体4内还设置有气体分布器8，气体分布器8包括通气管801和分布管802，通气管801的一端与充气机7的出气口连接，分布管802设置有一个进气口和多个出气孔803，通气管801的另一端与分布管802的进气口连接，通气分布管802的多个出气孔803均竖直朝上。
[0019]上述内容中所描述的方向位置均以图1作为参照，控制柜未在图中画出。
[0020]本实用新型所述金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机的工作原理如下:将待镀膜的金属卷带1缠绕在放卷机3上，并将其端头拉出缠绕在收卷机6上，此时气体分布器8的多个出气孔均位于金属卷带1的下方并朝向金属卷带1，加热装置2正好位于金属卷带1的上方并朝向金属卷带1。若干出气孔803均匀分布于分布管802与金属卷带1相对应的端面。在真空腔体4内，控制柜控制放卷机3和收卷机6动作，从而带动金属卷带1从放卷机3上放出，并缠绕在收卷机6上，金属卷带1的整个动作过程为匀速线性运动，在此过程中，磁控溅射系统9启动，并通过加热装置2对金属卷带1加热，通过金属卷带1 一侧的充气机7和气体分布器8对金属卷带1表面均匀充气，再由金属卷带1另一侧的抽气机5抽气，如此便可实现均匀镀膜。
[0021]以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，包括真空腔体、抽气机和控制柜，所述真空腔体内设置有加热装置和磁控溅射系统，所述抽气机与所述真空腔体连通，其特征在于:还包括与所述真空腔体连通的充气机，所述抽气机和所述充气机分别位于所述真空腔体的上下两侧，所述抽气机的抽气口正对所述充气机的充气口，所述真空腔体内的左右两端分别设置有放卷机和收卷机，所述加热装置和所述磁控溅射系统分别位于所述真空腔体内的上下两端，所述充气机、所述放卷机和所述收卷机的控制信号输入端均与所述控制柜的控制信号输出端连接。2.根据权利要求1所述的金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，其特征在于:所述放卷机的转轴与所述收卷机的转轴竖直安装且相互平行，所述放卷机与所述收卷机的卷辊均位于所述加热装置和所述磁控溅射系统之间。3.根据权利要求1所述的金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，其特征在于:所述真空腔体内还设置有气体分布器，所述气体分布器包括通气管和分布管，所述通气管的一端与所述充气机的出气口连接，所述分布管设置有一个进气口和多个出气孔，所述通气管的另一端与所述分布管的进气口连接，所述通气分布管的多个出气孔均竖直朝上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，包括真空腔体、抽气机、控制柜和与真空腔体连通的充气机，真空腔体内设置有加热装置和磁控溅射系统，抽气机与真空腔体连通，抽气机和充气机分别位于真空腔体的上下两侧，抽气机的抽气口正对充气机的充气口，真空腔体内的左右两端分别设置有放卷机和收卷机，加热装置和磁控溅射系统分别位于真空腔体内的上下两端，充气机、放卷机和收卷机的控制信号输入端均与控制柜的控制信号输出端连接。本实用新型在真空腔体内添加了放卷机和收卷机，使金属卷带能够展开，从而实现线性传动连续加热和镀膜，加热和镀膜更均匀，膜层更牢固、更致密。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN205088298
【申请号】CN201520908522
【发明人】何吉刚, 马宁, 蒋冰霜, 魏琼林, 蒙志林, 雷梁, 冉从军
【申请人】成都中科唯实仪器有限责任公司
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2015年11月13日