一种扇形组合式研抛盘的制作方法

本实用新型涉及超精密加工技术领域，更具体的说，尤其涉及一种扇形组合式研抛盘。

背景技术：

传统的利用研磨盘或研抛盘的加工方法将研磨和抛光工艺分开，使得由研磨过度到抛光时需要更换研抛盘，加工效率难以提高。同时，当前对研磨盘或研抛盘的制备都是一次性制成圆盘，且盘面磨削性质单一，加工很难达到所需的材料表面质量。

过去的几十年里，对材料的研究和发展主要集中在均匀材料上，即其整体结构和性能并不随空间位置而变化。随着学科的不断交叉发展，一种梯度功能材料的概念飞速兴起。所谓的梯度功能材料，(Functionally Gradient Materials，简称FGM)是在材料的制备过程中，选择两种或两种以上性质不同的材料，通过连续地控制材料的微观要素(包括组成、结构和空隙在内的形态与结合方式等)使其成分和组织都呈连续变化的新型材料。

安徽工业大学的研究团队在2014年发表的SiO₂/CeO₂复合磨料的制备及在蓝宝石晶片抛光中的应用中提出了一种采用均相沉淀法制备了SiO₂/CeO₂复合磨料，并用于蓝宝石晶片的化学机械抛光，研究结果表明，采用复合磨料抛光虽然材料去除速率略低于单一SiO₂磨料，但抛光后的蓝宝石晶片表面质量得到明显的改善，能满足蓝宝石作发光二极管衬底的工艺要求。中国兵器工业第五二研究所烟台分所研究团队在2014年发表的功能梯度材料的制备技术及其研发现状中提出了功能梯度材料的研究进展，重点总结了功能梯度材料的制备方法和性能评价，其中特别指出功能梯度材料的弹性模量、热导率、热膨胀系数及成分在厚度方向上呈连续变化，并具有可设计性，可针对性地改变各组分材料体积含量的空间分布规律，优化结构内部应力分布。西安理工大学的研究团队在2014年发表的增强铁基梯度复合材料的原位生成及其磨粒磨损特性中提出了采用原位反应法在HT300表面制备了碳化钽增强表面梯度复合材料，并对复合层的微观结构、物相组成、显微硬度以及磨粒磨损性能进行了表征，从表面致密层到基体，其组织、成分、硬度分布均呈梯度变化。同时，授权公告号 CN103432948B的中国实用新型专利一种用于软固结磨粒群生产的封闭式搅拌装置提出了一种为更好的均匀搅拌高聚物、磨料、固化剂、引发剂等混合物，保证了制备具有梯度功能研磨盘的实现。

因此，设计一种表面也采用梯度式分布且更换方便的研抛盘对工件进行加工是研磨抛光加工发展的必然趋势。但是现有的梯度式研抛盘往往都是固定的梯度，在梯度固定下来后任意位置磨损过多都会对接下来的加工产生影响，且这些梯度式研抛盘都无法变更的进行更换和组合，从而导致了梯度式研抛盘仅能够适应一种工件的加工，很难针对不同的工件适应性的更改研抛盘的梯度分布。

技术实现要素：

实用新型的目的在于解决现有的梯度式研磨盘仅存在从表层到里层呈梯度变化，更换不方便以及无法适应多种不同工件进行研磨抛光加工的问题，提供了一种扇形组合式研抛盘，能实现研抛盘表面的梯度式分布，同时实现研抛盘轴向的梯度式分布，方便加工不同的工件，同时更换磨损部位非常方便。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种扇形组合式研抛盘，包括研抛盘基座、将研抛盘本体分隔的一级扇形模块和二级扇形模块，所有的一级扇形模块和二级扇形模块形成具有多个不同弹性模量的扇形模块组成的等级库，等级库内一级扇形模块和二级扇形模块均具有弹性模量从加工需求最低的弹性模量到加工要求最高的弹性模量的多组，由数个一级扇形模块和数个二级扇形模块组合拼接在研抛盘基座上形成完整的研抛盘。

进一步的，上述任意一个一级扇形模块或二级扇形模块在径向上呈现出弹性模量的梯度式分布。

进一步的，上述任意一个一级扇形模块或二级扇形模块均由若干层粘磨层堆积而成，且每层粘磨层的弹性模量均不相同。

进一步的，所述二级扇形模块分割成若干三级扇形模块，所有的三级扇形模块并入所述等级库内形成更加细化的等级库，所述三级扇形模块的弹性模量在径向或轴向呈现出弹性模量的梯度式分布。

进一步的，所述等级库内所有一级扇形模块的大小尺寸完全相同，所有二级扇形模块的大小尺寸完全相同，所有三级扇形模块的大小尺寸完全相同。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型结构简单紧凑，生产成本低，能够根据加工工件的需求快速的制备出研抛盘，方便针对工件的加工要求制作出适应工件加工方式的研抛盘，方便实现工件的高效连续加工；研抛盘是由多个扇形模块组合而成的，因此具有可更换性；扇形模块的粘磨层的组合方式多样，不仅在整体轴向上呈梯度式分布，而且可以在径向或者轴向呈现出弹性模量的梯度式分布，使工件加工时获得更好的加工质量；随着研抛盘的尺寸增加，可以同时完成至少四个不同加工要求的工件的加工，提高了研抛盘的应用的广泛性；弹性模量呈连续梯度式分布，其分布能够保证工件的加工质量更好。

附图说明

图1是本实用新型研抛盘本体的表层结构示意图。

图2是本实用新型单个扇形粘磨层的结构示意图。

图3是本实用新型一种扇形组合式研抛盘的轴向分层示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1～3所示，一种扇形组合式研抛盘，包括研抛盘基座、将研抛盘本体分隔的一级扇形模块和二级扇形模块，所有的一级扇形模块和二级扇形模块形成具有多个不同弹性模量的扇形模块组成的等级库，等级库内一级扇形模块和二级扇形模块均具有弹性模量从加工需求最低的弹性模量到加工要求最高的弹性模量的多组，由数个一级扇形模块和数个二级扇形模块组合拼接在研抛盘基座上形成完整的研抛盘。

上述任意一个一级扇形模块或二级扇形模块在径向上划分成若干弹性模量不同的环形区域。

上述任意一个一级扇形模块或二级扇形模块均由若干层粘磨层堆积而成，且每层粘磨层的弹性模量均不相同。

所述二级扇形模块分割成若干三级扇形模块，所有的三级扇形模块并入所述等级库内形成更加细化的等级库，所述三级扇形模块的弹性模量在径向或轴向呈现出弹性模量的梯度式分布。并以此类推，可以将扇形模块细分成多级。

所述等级库内所有一级扇形模块的大小尺寸完全相同，所有二级扇形模块的大小尺寸完全相同，所有三级扇形模块的大小尺寸完全相同。

在对于多种不同的加工工件同时加工的情况，若任意一个加工工件加工时只要单一弹性模量时，可以根据加工工件的体积选择对应的一级扇形模块、二级扇形模块和三级扇形模块组合成研抛盘，用单一的扇形模块对加工工件进行加工，其工作方式为加工工件转动，研抛盘固定不定，在组合成的研抛盘每个扇形区域均可以实现一种加工工件的加工，从而使单个研抛盘具备同时加工多个加工工件的要求。

在对于多种不同的加工工件同时加工的情况，若任意一个加工工件加工时需要连续的梯度分布的多个弹性模量时，可以根据加工工件的体积选择对应的一级扇形模块、二级扇形模块和三级扇形模块组合成研抛盘，这些一级扇形模块、二级扇形模块和三级扇形模块上的粘磨层在径向上利用环形区域的组合形成适应于对应加工工件的梯度式分布，可以用单一的扇形模块对加工工件进行加工，其工作方式为加工工件转动，研抛盘固定不定，加工工件在单一的扇形模块上多个环形区域内进行依次加工。

在对于多种不同的加工工件同时加工的情况，若任意一个加工工件加工时需要连续的梯度分布的多个弹性模量时，可以根据加工工件的体积选择对应的一级扇形模块、二级扇形模块和三级扇形模块组合成研抛盘，这些一级扇形模块、二级扇形模块和三级扇形模块上的粘磨层在径向和轴向上同时呈现出弹性模量的梯度式分布，其工作方式为加工工件转动，研抛盘固定不定，加工工件在单一的扇形模块上进行依次多种不同的加工。

上述实施例只是本实用新型的较佳实施例，并不是对本实用新型技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。