一种打磨油石安装座的制作方法

文档序号:11297545阅读:335来源:国知局
一种打磨油石安装座的制造方法与工艺

本实用新型属于打磨装置领域,特别涉及一种打磨油石安装座。



背景技术:

半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后,还要进行一系列操作,如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。晶圆就是单晶硅圆片,采用切割机在工作盘上对晶圆进行切割作业,切割机的工作盘材质为陶瓷,切割机工作盘使用一段时间之后需要用油石进行打磨,以保持工作盘表面光滑。目前,操作人员直接用手拿着油石在切割机工作盘上打磨,由于油石表面很光滑且与手部之间的接触面积很小,导致油石打滑容易脱离操作人员的手部,撞击切割机工作盘,导致切割机工作盘产生凹坑,切割刀片接触到凹坑时会刮伤晶圆表面,导致产品报废。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种打磨油石安装座,能够方便操作人员用油石对切割机打磨座进行打磨,防止油石打滑脱离手部,提高打磨后切割机工作盘的光滑度。

本实用新型的目的是这样实现的:一种打磨油石安装座,包括座体,座体为长方体,座体的底部设置有用于容纳打磨油石的油石凹槽,座体侧面螺纹连接有定位螺栓,定位螺栓穿过座体设置,定位螺栓的端部顶靠在油石上,所述座体的上部设置有抓握把手,所述抓握把手采用金属材料制成。

本实用新型使用时,先将打磨油石放置进座体的油石凹槽,然后调节定位螺栓,使得定位螺栓紧紧顶靠在打磨油石上,操作人员用手抓住抓握把手,使得打磨油石底面贴合在切割机工作盘上,带动打磨油石在切割机工作盘表面进行打磨作业。与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:方便操作人员用打磨油石对切割机工作盘进行打磨,操作人员可以更稳固地抓握安装座,防止油石打滑脱离手部,避免油石撞击切割机工作盘,切割刀片不会刮伤晶圆,起到保护晶圆的作用;能够更加均匀地对切割机工作盘进行打磨,提高打磨后切割机工作盘的光滑度。

作为本实用新型的进一步改进,所述座体侧面设置有4根定位螺栓。4根定位螺栓可以确保打磨油石不会晃动。

作为本实用新型的进一步改进,所述4根定位螺栓两两对称设置在座体的两侧。该技术方案确保打磨油石更稳定地固定在油石凹槽内,不会产生移动。

作为本实用新型的优选,所述座体靠近油石凹槽的侧壁厚度为1-2mm。

作为本实用新型的进一步改进,所述定位螺栓为止动螺栓。止动螺栓的定位效果更好。

附图说明

图1为本实用新型的侧视图。

图2为本实用新型的俯视图。

图3为图2中的AA向剖视图。

图4为本实用新型的仰视图。

图5为油石凹槽内不放置打磨油石时本实用新型的仰视图。

其中,1座体,2打磨油石,3定位螺栓,4抓握把手,5油石凹槽。

具体实施方式

如图1-5所示,为一种打磨油石安装座,包括座体1,座体1为长方体,座体1的底部设置有用于容纳打磨油石2的油石凹槽5,座体1靠近油石凹槽5的侧壁厚度为1-2mm;座体1侧面螺纹连接有定位螺栓3,定位螺栓3穿过座体1设置,定位螺栓3的端部顶靠在油石2上,座体1侧面设置有4根定位螺栓3;4根定位螺栓3两两对称设置在座体1的两侧;定位螺栓3为止动螺栓;座体1的上部设置有抓握把手4,抓握把手4采用金属材料制成。

使用时,先将打磨油石2放置进座体1的油石凹槽5,然后调节定位螺栓3,使得定位螺栓3紧紧顶靠在打磨油石2上,操作人员用手抓住抓握把手4,使得打磨油石2底面贴合在切割机工作盘上,带动打磨油石2在切割机工作盘表面进行打磨作业。本装置的优点在于:方便操作人员用打磨油石对切割机工作盘进行打磨,操作人员可以更稳固地抓握安装座,防止油石打滑脱离手部,避免油石撞击切割机工作盘,切割刀片不会刮伤晶圆,起到保护晶圆的作用;能够更加均匀地对切割机工作盘进行打磨,提高打磨后切割机工作盘的光滑度。

本实用新型并不局限于上述实施例,在本实用新型公开的技术方案的基础上,本领域的技术人员根据所公开的技术内容,不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形,这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。

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