技术总结
本实用新型记载了一种基片架翻转灵活的镀膜机，包括机架，机架内设置有真空室，真空室上罩设有钟罩，真空室的上方转动设置有转台，转台的台边均匀设置有多个支板，支板的背面设置有星轮，星轮上连接有星轮轴，星轮轴穿过支板的一端连接有夹架；所述机架上设置有气缸以及与气缸活塞杆连接的拨杆，拨杆作用在星轮相邻的两个轮齿间。将待镀膜的基片卡设在夹架上，真空室内被加热的靶材蒸发后沉降在基片表面，此时拨杆处于收回状态，不会导致夹架翻转。待基片的第一面镀膜完成后，气缸将启动拨杆使之伸长作用在星轮的相邻两个轮齿间，星轮在转台的带动下将往前移动，由于拨杆的位置固定，星轮将实现翻转，本实用新型的翻转系统结构简单、翻转灵活。
技术研发人员：崔海波;李剑辉;张坚
受保护的技术使用者：成都南光机器有限公司
文档号码：201720290604
技术研发日：2017.03.23
技术公布日：2017.10.03