用于蒸镀工艺的贴胶模具和蒸镀设备的制作方法

文档序号:11174099阅读:558来源:国知局
用于蒸镀工艺的贴胶模具和蒸镀设备的制造方法与工艺

本实用新型总体来说涉及一种蒸镀技术领域,具体而言,涉及一种用于蒸镀工艺的贴胶模具。本实用新型还涉及一种蒸镀设备。



背景技术:

OLED蒸镀腔室贴胶带是改善玻璃基片(Glass)与掩模板(Mask)贴合状态的重要工艺,该工艺主要包括三个阶段:清洁腔室的胶带贴附区域,贴胶带,清洁胶带贴附区域。首先,使用IPA和无尘布清洁冷却基板(Cooling Plate)的胶带贴附区域,保证清洁度以使胶带贴附稳固紧密;其次,使用刻度尺定位胶带贴附位置,确定位置后贴标签Mark,之后进行胶带的压合贴附工作,然后再将之前贴的Mark撕掉,此过程保证贴附紧密,位置精确;最后,再次使用IPA和无尘布清洁贴附上的胶带和Mark区域,使其表面不存在任何粘性物质。

但目前胶带贴附工艺存在以下几点不足:1、作业时间长;2、作业强度大;3、位置精确不高。

目前的贴胶带工艺由于没有专业的贴胶带作业模具,需要先一一确认Mark点位,并在Cooling Plate上贴附Mark,胶带贴好后又需撕掉Mark并对相应位置进行清洁,工艺过程繁琐,从而增加了工艺时间,直接导致制造成本升高,并且胶带贴附的位置精度与人员的操作有直接关系;再者,腔室内空间有限,需要作业者以半蹲的姿势进行作业,作业强度大,且作业难度高。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本实用新型的背景的理解,因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。



技术实现要素:

本实用新型内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征,更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

本实用新型的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种用于蒸镀工艺的贴胶模具,以简化蒸镀贴胶工艺的程序,提高贴胶速度。

本实用新型的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种蒸镀设备,以简化蒸镀贴胶工艺的程序,提高贴胶速度。

为实现上述实用新型目的,本实用新型采用如下技术方案:

根据本实用新型的一个方面,提供了一种用于蒸镀工艺的贴胶模具,所述贴胶模具包括模具本体、模具定位部以及胶带定位部,所述模具本体为与冷却基板匹配的框架,所述框架的内侧区域为贴胶带区域;所述模具定位部设置于所述框架的外侧,以与待蒸镀基板的固定夹具匹配;所述胶带定位部设置于所述模具本体的框边上,以使得胶带贴附于不同所述框边上的所述胶带定位部,所述胶带位于所述贴胶带区域。

根据本实用新型的一实施方式,其中所述贴胶模具还包括胶带贴合部,所述胶带贴合部设置于所述框架的内侧,以使的所述胶带贴附于所述胶带贴合部上,所述胶带位于所述贴胶带区域。

根据本实用新型的一实施方式,其中所述胶带贴合部位于所述框架的内角上,以使得所述胶带贴附于相邻两个所述胶带贴合部,所述胶带沿所述框架的所述框边延伸。

根据本实用新型的一实施方式,其中所述胶带贴合部所在的平面与所述冷却基板的贴胶平面平行。

根据本实用新型的一实施方式,其中所述胶带贴合部为矩形,所述矩形的每个边的宽度均大于所述胶带的宽度,所述胶带贴合部上设置有相互垂直的第一胶带定位结构,以使得所述胶带的边缘位于所述第一胶带定位结构。

根据本实用新型的一实施方式,其中所述模具定位部为所述框架的每个所述框边的中点位置处的凹槽,以与所述待蒸镀基板的固定夹具匹配。

根据本实用新型的一实施方式,其中所述框架的每个所述框边上设置有至少一个第二胶带定位结构,以用于定位所述胶带。

根据本实用新型的一实施方式,其中每个所述框边上的所述第二胶带定位结构为多个,相邻所述第二胶带定位结构等间距设置。

根据本实用新型的另一方面,一种蒸镀设备,所述蒸镀设备包括本实用新型提供的用于蒸镀工艺的贴胶模具,所述蒸镀设备还包括蒸镀平台,所述蒸镀平台上设置有用于定位所述冷却基板的定位结构。

由上述技术方案可知,本实用新型的用于蒸镀工艺的贴胶模具和蒸镀设备的优点和积极效果在于:本实用新型的用于蒸镀工艺的贴胶模具能够便于在蒸镀腔室外部进行在该贴胶模具上布胶,从而可以不受工作空间的限制,提高了工作的舒适度。另一方面,该贴胶模具可以用于布胶,以一次性将胶带粘贴在冷却基板的预定位置上,从而简化了贴胶工艺的程序,提高了贴胶效率。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本实用新型的优选实施例的详细说明,本实用新型的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本实用新型的示范性图解,并非一定是按比例绘制。在附图中,同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中:

图1是根据一示例性实施方式示出的一种用于蒸镀工艺的贴胶模具的结构示意图。

图2是根据一示例性实施方式示出的一种用于蒸镀工艺的贴胶模具与冷却基板组合后的结构示意图。

图3是贴胶完成后的冷却基板的结构图。

其中,附图标记说明如下:

1、模具本体; 2、模具定位部;

3、胶带贴合部; 4、冷却基板;

5、第一胶带定位结构; 6、第二胶带定位结构;

7、胶带 8、凹槽;

9、固定夹具。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而,示例实施方式能够以多种形式实施,且不应被理解为限于在此阐述的实施方式;相反,提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整,并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构,因而将省略它们的详细描述。

图1是根据一示例性实施方式示出的一种用于蒸镀工艺的贴胶模具的结构示意图。图2是根据一示例性实施方式示出的一种用于蒸镀工艺的贴胶模具与冷却基板组合后的结构示意图。图3是贴胶完成后的冷却基板的结构图。

参照图1和图2,本实用新型的一个方面,提供了一种用于蒸镀工艺的贴胶模具,该贴胶模具可以包括模具本体1、模具定位部2以及胶带定位部。模具本体1可以为与冷却基板4匹配的框架,例如但不限于该框架的外轮廓可以与冷却基板4的外轮廓匹配,或者该框架的内周可以与冷却基板4的外轮廓匹配,以可将冷却基板4套设于该框架内,都在本实用新型的保护范围内。本实用新型的一个具体实施方式,框架的内周可以与冷却基板4的外轮廓匹配,以可将冷却基板4套设于该框架内。

胶带定位部可以用于贴附胶带7,以用于在向冷却基板4贴胶前对胶带7进行固定。胶带定位部可以设置于模具本体1的框边与冷却基板4的贴胶平面相对的侧面上,由该框架包围的内侧区域可以为贴胶带区域,以用于对冷却基板4的非边缘区域进行贴胶。将胶带7贴附在胶带定位部上,以使得胶带7贴附于不同框边上的胶带定位部,胶带7位于贴胶带区域。具体地,可以在相对框边的相应位置贴附同一胶带7的两端,以使胶带7位于贴胶带区域;将模具本体1套设于冷却基板4的外周后,便可将胶带7粘贴于冷却基板4的预定位置。

模具定位部2可以用于对模具本体1进行定位,以能够与冷却基板4准确定位,该模具定位部2可以设置于框架的外侧,以与待蒸镀基板的固定夹具9匹配。本实用新型一种具体实施方式,模具定位部2可以为框架的每个框边的中点位置处的凹槽8,以与待蒸镀基板的固定夹具9匹配,但不以此为限。本实用新型的用于蒸镀工艺的贴胶模具能够用于在真空蒸镀腔室外进行布胶,从而可以不受工作空间的限制,提高了工作的舒适度。另一方面,该贴胶模具可以在真空蒸镀腔室外进行布胶,以一次性将胶带7粘贴在冷却基板4的预定位置上,从而简化了贴胶工艺的程序,提高了贴胶效率。本实用新型的一种具体实施方式的用于蒸镀工艺的贴胶模具还包括模具定位部2,以能够与冷却基板4准确定位,从而省去了现有技术中定位Mark标记等繁琐过程,简化了贴胶程序。

继续参照图1和图2,本实用新型的一实施方式,其中贴胶模具还可以包括胶带贴合部3,以用于对冷却基板4的边缘贴胶。胶带贴合部3可以设置于框架的内侧,以使得胶带7可以贴附于胶带贴合部3上,胶带7可以位于贴胶带区域。本实用新型的一具体实施方式,胶带贴合部3可以位于框架的内角位置,以使得胶带7贴附于相邻两个胶带贴合部3的情况下,胶带7可以沿框架的框边延伸。冷却基板4与用于蒸镀工艺的贴胶模具配合后,胶带7便可以粘贴在冷却基板4的边缘区域。

本实用新型的一个具体实施方式,胶带贴合部3所在的平面可以与冷却基板4的贴胶平面平行,从而可以方便一次性贴胶成功。

继续参照图1和图2,本实用新型的一实施方式,其中胶带贴合部3可以为矩形,矩形的每个边的宽度可以设置为均大于胶带7的宽度,胶带贴合部3上可以设置有相互垂直的第一胶带定位结构5,以使得胶带7的边缘可以位于第一胶带定位结构5。如图2中所示,胶带7的侧边可以位于胶带贴合部3的一个第一胶带定位结构5位置处,另一个胶带7的端部可以位于胶带贴合部3的另一个第一胶带定位结构5的位置处,从而可以使相邻的两个胶带7不重叠,提高了胶带7粘贴的准确性。本实用新型的一种具体实施方式,第一胶带定位结构5可以为线条形结构,但不以此为限。更加具体地,本实用新型的一种具体实施方式,第一胶带定位结构5可以为设置于胶带贴合部3的表面的刻度线。除此,该第一胶带定位结构5还能够用于控制胶带7与胶带贴合部3的贴合长度。

继续参照图1和图2,本实用新型的一实施方式,其中框架的每个框边上设置有至少一个第二胶带定位结构6,以用于定位胶带7,例如但不限于该第二胶带定位结构6可以定位胶带7的端部的边缘,从而可以方便在框架的不同第二胶带定位结构6上定位,以满足粘贴需要。继续参照图1和图2,本实用新型的一实施方式,其中每个框边上的第二胶带定位结构6为多个,相邻第二胶带定位结构6等间距设置。本实用新型的一具体实施方式,第二胶带定位结构6可以为线条型结构,或三角形结构,可以根据具体实际工况进行选择,都在本实用新型的保护范围内。本实用新型一具体实施方式,第二胶带定位结构6可以为设置于框边侧面上的刻度线。

本实用新型的另一方面,一种蒸镀设备,蒸镀设备包括模具本体1、模具定位部2以及胶带定位部,模具本体1为与冷却基板4匹配的框架,框架的内侧区域为贴胶带区域;模具定位部2设置于框架的外侧,以与冷却基板4的固定夹具9匹配;胶带定位部设置于模具本体1的框边上,以使得胶带7贴附于不同框边上的胶带定位部,胶带7位于贴胶带区域。

本实用新型的一种具体实施方式,公开了一种用于真空蒸镀工艺的贴胶模具。该贴胶模具可以为框架,框架的四边设计了可以与待蒸镀基板的固定夹具9位置匹配的凹槽8,以使其拥有位置固定功能。例如但不限于该凹槽8可以与finger位置匹配。贴胶模具的厚度适宜,在贴胶模具的内角上可以设置有胶带贴合部3,以用于冷却基板4四周位置的贴胶带作业。贴胶模具的四边外框均有第一胶带定位结构5,框边的中央位置的第一胶带定位结构5可以为原点,并不以此为限,可对冷却基板4的任何想要的位置快速进行贴胶带作业。该第一胶带定位结构5可在真空腔室外完成胶带7长短和位置的贴合,在腔室内完成胶带7的压合贴附工作。

本实用新型一种用于真空蒸镀工艺的贴胶模具的使用方法可以为:首先,确认胶带7的贴附位置,在真空蒸镀腔室外将胶带7贴附在相应位置的框架上,例如在需要贴在冷却基板4的中间位置的情况下,可以将胶带7贴在胶带定位部上;在需要贴在冷却基板4的边缘的情况下,可以将胶带7贴在胶带贴合部3上。其次,可以使用IPA和无尘布清洁冷却基板4,在真空腔室内使用凹槽8固定功能定位,压合真空胶带,使胶带7与冷却基板4的贴合更加紧密平顺,该贴胶模具与冷却基板4结合后的结构,可以参照图2理解。最后,取下贴胶模具,使用IPA和无尘布清洁贴合后的胶带7和周边区域,以确保无粘性物质存在,贴合后的冷却基板4可以参照图3理解。

所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在上面的描述中,提供许多具体细节从而给出对本实用新型的实施方式的充分理解。然而,本领域技术人员将意识到,可以实践本实用新型的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多,或者可以采用其它的方法、组件、材料等。在其它情况下,不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本实用新型的各方面。

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