一种具有降低Robot温度构造的化学气相沉积设备的制作方法

本实用新型涉及化学气相沉积领域，特别涉及一种具有降低Robot温度构造的化学气相沉积设备。

背景技术：

化学气相沉积设备的反应腔体工艺温度一般在250～400℃。产品在完成工艺后，需由Robot(机器人)将产品传回至晶舟中。在产品传回之前，由于刚出反应腔体的产品本体温度约200度，所以需对产品进行冷却处理。目前此设备的冷却方式为机械臂将产品停在传送腔体自然冷却后，待自然冷却至40-50℃时，再传送至晶舟。而这种自然冷却速度慢，从200多度降至50度需要的时间较长，因此设备的产能会受限；而且由于降温时间较长，其温度的积热效应对Robot的机械台易造成翘曲，在产品传送回晶舟时造成相对位置偏斜导致批片而造成产能损失。

技术实现要素：

为此，需要提供一种解决现有设备的产品自然冷却速度慢而造成产能受限或者损失的具有降低Robot温度构造的化学气相沉积设备。

为实现上述目的，发明人提供了一种具有降低Robot温度构造的化学气相沉积设备，包括传送腔体、机械臂、机械台、机械座、氮气过滤器、抽气泵及氮气管路；

所述机械臂和机械座设置在传送腔体内，所述机械臂的一端设置在机械座的顶部，所述机械臂的另一端连接机械台，所述机械座的底部连接于传送腔体底部；

所述氮气过滤器为圆环状，所述氮气过滤器套接在机械座上，所述氮气过滤器表面设有过滤口，所述氮气过滤器连接于氮气管路；

所处传送腔体设有抽气口；

所述抽气泵的一端连接于传送腔体的抽气口。

进一步优化，所述氮气管路上设有冷却控制系统。

进一步优化，所述氮气管路在冷却控制系统内为S型。

区别于现有技术，上述技术方案，将化学气相沉积设备的氮气过滤器的位置设置在机械座上，使其结合设备本身的空压系统，使氮气能够对机械臂、机械台及机械台上的产品进行快速冷却，并将加热后的氮气进行排出，同时将氮气过滤器设置成圆环状，加强了氮气的对流，实现快速冷却Robot及产品的功能，避免由于设备的冷却速度慢造成的产能受限及损失。

附图说明

图1为具体实施方式所述具有降低Robot温度构造的化学气相沉积设备的一种结构示意图。

附图标记说明：

110、传送腔体，

111、抽气口，

121、机械臂，

122、机械座，

123、机械台，

130、氮气过滤器，

131、氮气管路，

140、抽气泵，

150、冷却控制系统。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1，本实施例一种具有降低Robot温度构造的化学气相沉积设备，其特征在于，包括传送腔体110、机械臂121、机械台123、机械座122、氮气过滤器130、抽气泵140及氮气管路131；

所述机械臂121和机械座122设置在传送腔体110内，所述机械臂121的一端设置在机械座122的顶部，所述机械臂121的另一端连接机械台123，所述机械座122的底部连接于传送腔体110底部；

所述氮气过滤器130为圆环状，所述氮气过滤器130套接在机械座122上，所述氮气过滤器130表面设有过滤口，所述氮气过滤器130连接于氮气管路131；

所处传送腔体110设有抽气口111；

所述抽气泵140的一端连接于传送腔体110的抽气口111。

当产品在反应腔体内完成工艺后，有机械臂121在将铲平传回至晶舟之后，先将产品停在传送腔体110内进行冷却，将氮气过滤器130设置在机械座122上，氮气经过过滤后进入到传送腔体110内，由于设备自身的控压系统，氮气在传送腔体110内形成对流，氮气进行对Robot的机械臂121、机械台123及机械台123上的产品进行冷却，使设备加快对Robot和产品进行冷却，同时对氮气过滤器130的形状进行了改进，将氮气过滤器130设置成圆环状，套在机械座122上，加强氮气的对流，提高了对Robot及产品的冷却效率。

本设备加快了Robot及产品的冷却速度，提高了设备的生产效率及产能，同时本设备有效防止由于积热对机械台123及机械臂121造成翘曲形变而影响传送系统精准度，有效避免产品的破损。其中产品可以为晶圆。

为了进一步加快氮气的冷却效果，所述氮气管路131上设有冷却控制系统150。通过设置温控系统进行对氮气管路131中的氮气进行控制冷却，增强氮气的冷却效果。其中，冷却控制系统150可以包括温度传感器、控制器及冷却器，温度传感器连接于控制器，温度传感器设置在传送腔体110内，温度传感器检测传送腔体110内的温度情况，控制器连接于冷却器，控制器进行接收温度传感器检测的传送腔体110内的温度情况，当控制器判断温度传感器检测到的温度情况超过第一预设值的时候，控制器进行控制冷却器进行对氮气管路131进行冷却，使进入传送腔体110内的温度降低，加强氮气对传送腔体110内的Robot及产品的降温。而当控制器判断温度传感器检测到的温度低于第二预设值(第二预设值小于第一预设值)的时候，控制器就会控制冷却器停止工作，无需对氮气管路131中的氮气进行冷却。其中冷却器可以为水冷式冷却器也可以为风冷式冷却器。为了进一步加强冷却控制系统150对氮气管路131中的氮气冷却效果，所述氮气管路131在冷却控制系统150内为S型。将氮气管路131在冷却控制系统150内设置为S型，增加氮气管路131与冷却控制系统150的接触面，增加氮气管理的散热面积，增强氮气的散热效果。

在氮气管路131上增加冷却控制系统150，同时可根据产品的材质特性，将氮气的温度条件做弹性设置，既可以确保氮气的冷却效果的稳定性，同时可以避免不适当的氮气温度对产品形成内应力效应产生而造成产品的损坏。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。