技术总结
本实用新型公开了一种气相沉积炉用均匀进气的装置，包括均位于沉积炉内的进气管路和集气罩；进气管路一端与沉积炉的进气口固定连通，另一端与集气罩固定连通，集气罩的表面开设有多个出气孔。当气体经过进气管路进入集气罩，然后从集气罩若干个出气孔排入沉积炉内。使用该装置可以保证多种进气组分在集气罩内充分混合，从集气罩四周均匀的排出,确保了沉积炉内温度的均匀性，进一步的保证了沉积效果。
技术研发人员：刘梦珠;冯锋;王鹏;左新章;姜伟光;李建章;成来飞
受保护的技术使用者：西安鑫垚陶瓷复合材料有限公司
技术研发日：2017.11.10
技术公布日：2018.06.05