1.一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：包括一表面具有0-360角度刻度的圆盘（6）和一条形水平钢板（4），其中，条形水平钢板（4）通过其一端设置的磨轮轴固定孔（401）与磨轮轴（101）固定连接，条形水平钢板（4）的另一端设置有一千分表安装孔（402），该千分表安装孔（402）内垂直设置有千分表（5），千分表（5）的侧头与圆盘（6）的边缘接触，圆盘（6）吸附在吸盘（2）上，通过手动转动吸盘（2）带动圆盘（6）转动，进而根据千分表（5）读数的变化和圆盘（6）上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝（201）的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。
2.根据权利要求1所述的一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：所述条形水平钢板（4）采用不锈钢材质制成，且具有光滑的表面，以使其能够代替磨轮（1）来反应磨轮（1）的工作平面。
3.根据权利要求1所述的一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：所述圆盘（6）由不锈钢材质制成，且表面经过抛光处理，以使其能够有效的反应出吸盘（2）的工作平面。
4.根据权利要求1所述的一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：所述圆盘（6）上0-360的角度刻度是，环绕圆盘（6）的中心标定的360°角度刻度，以使圆盘（6）在随吸盘（2）旋转360°的过程中，能够精确标定具体位置。
5.根据权利要求1所述的一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：所述圆盘（6）上设置有通孔（601），该通孔（601）将吸盘（2）上的吸盘固定螺丝（201）暴露出来。