技术总结
本实用新型属于气相沉积技术领域，具体涉及一种气相沉积设备；其包括驱动装置、腔体和设置在所述腔体内部的基座、喷淋头和至少三个顶杆；所述腔体的底部设置有穿孔，所述驱动装置穿过所述穿孔与所述基座传动连接；所述喷淋头设置在所述基座的上方，所述基座上设置有与所述顶杆的数量相匹配的通孔，所述顶杆的底端穿过所述通孔并竖直的设置在所述腔体的底面，所述顶杆的顶端设置有石墨涂层。该气相沉积设备中的顶杆的顶部表面设置有石墨涂层，因为石墨涂层的导热性良好，使顶杆与沉积体之间的温差最小化，从而减小沉积体与顶杆接触的位置的印痕。
技术研发人员：崔日
受保护的技术使用者：崔日
技术研发日：2017.12.28
技术公布日：2018.09.11