一种复合式磁控溅射沉积台的制作方法

本发明属于磁控溅射装置，具体涉及一种复合式磁控溅射沉积台。

背景技术：

磁控溅射沉积是利用足够高能量的粒子轰击靶材表面，使靶材中的原子获得做够高的能量，在表面发出的高能粒子在磁场的作用下运动，最终沉积在基体表面，形成金属薄膜。磁控溅射已经成为一种成熟的工业镀膜技术，由于其突出的有点，广泛应用于金属表面改性领域。磁控溅射包括很多种类，各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。

目前，磁控溅射多用于大面积区域金属镀膜，如果溅射对象是金属丝或镂空金属配件，接触面积小，溅射层容易脱落，如何在金属丝表面形成稳定附着力强的磁控溅射技术，是亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本发明为了解决上述技术问题，提出了一种复合式磁控溅射沉积台。

一种复合式磁控溅射沉积台，母沉积台和子沉积台，其特征在于：母沉积台固定在真空室内部下方，且位置在磁控溅射装置的正下方，子沉积台通过电机装置连接到母沉积台上方，并且子沉积台的台面能够水平转动，电声换能装置固定在母沉积台上，与子沉积台的台面水平。

所述，电声换能装置通过连接件固定在母沉积台上，扩散口水平对准子沉积台上方加工物体，扩散口与母沉积台相对位置通过连接件调节。

所述，功率放大器和信号发生器通过导线控制扩散口处声波功率。

所述，功率放大器和信号发生器隐藏在真空室外部。

所述，扩散口处通保护气体，保护气体在声波作用下作用在子沉积台加工物体上。

所述，通过控制功率放大器和信号发生器，能够间歇性控制声波发射。

本发明有益效果：通过间歇性声波控制，有效的增强附着在金属丝表面层附着力，这种作用的效果有两个，其中一个是使沉积在金属丝表面不牢固的表面金属脱落，另一个有益效果是给金属丝表面一个垂直作用力，压实沉积涂层。间歇性的声波发射，也使得沉积金属表层实现沉积，压实，再沉积，再压实的效果，此技术适合应用在溅射对象为复杂镂空或金属丝等细微结构物体上。

附图说明

图1为磁控溅射系统。

图2为电声换能装置。

1真空室；2磁控溅射装置；3电声换能装置；4母沉积台；5子沉积台；31扩散口；32声波导管；33连接件；34导线；35功率放大器；36信号发生器。

具体实施方式

电声换能装置能量转换过程是：将电信号转换成机械振动能，然后，机械振动产生声波，声波能冲击材料表面，实现无接触作用力。

以下结合附图和实施例对本技术进行详细表述。

实施例1

1）选用合适尺寸的金属丝，打磨剖光，用有机溶剂超生清洗基底表面，清洗完毕，冷风干燥备用；

2）靶材选用钛靶，砂纸打磨抛光靶材表面，安装在磁控溅射装置2的磁控溅射靶位；

3）调节磁控溅射靶位高度，将金属丝固定在支架上，支架至于子沉积台5上面;

4）真空室1抽真空，磁控溅射过程，采用本底真空1.0-5.0×10^-4pa，充入氮气作为反应气体，氮气流量控制在30-105sccm，工作真空1.0-8.0×10^-1pa，预溅5分钟，磁控溅射源功率调节范围100-120w，负偏压0v，溅射10-15分钟；

5）关闭系统，关闸板阀，关闭分子泵，分子泵停止工作后关闭电磁阀，关机械泵，取样品；

6）调节显微镜，观察待测样品金属丝表面形貌。

实施例2

复合式磁控溅射沉积台工作状态：母沉积台4固定在真空室1内部下方，且位置在磁控溅射装置2的正下方，子沉积台5通过电机装置连接到母沉积台4上方，并且子沉积台5的台面能够水平转动，金属丝固定在支架上，放置在子沉积台5表面，子沉积台5在电机控制下沿水平方向旋转，使溅射金属均匀沉积在金属丝表面。

电声换能装置3固定在母沉积台4上，与子沉积台5台面水平。电声换能装置3通过连接件33固定在母沉积台4上，调节声波导管32，扩散口31水平对准子沉积台5上方加工物体，扩散口31与母沉积台4相对位置通过连接件33调节。

通过控制功率放大器35和信号发生器36，能够间歇性控制声波发射，声波发射时扩散口31处链接导管，在导管中通保护气体氮气，氮气在声波作用下，间歇性的作用在金属丝表面，氮气流量需要严格控制，既能满足声波的传播介质，又在真空度合理的工作范围内，这种作用的效果有两个，其中一个是使沉积在金属丝表面不牢固的表面金属脱落，另一个有益效果是给金属丝表面一个垂直作用力，压实沉积图层，当与子沉积台5旋转时，金属丝表面全方位受到声波力的作用。

为了降低溅射金属对控制功率放大器35和信号发生器36的损伤，以及对声波功率的控制，将功率放大器35和信号发生器36通过导线34链接，隐藏在真空室1外部。

实施例3

对电声换能装置3工作的控制：功率放大器35、信号发生器36通过导线34链接，信号发生器36用于产生低频交流模拟信号，功率放大器35用于放大低频交流模拟信号，电声换能装置3将电信号转化为声波，声波导管32一端与信号发生器36链接，另一端与扩散口31处聚能件链接，聚能件用于产生声压梯度，增强聚能件远离声波导管一端输出的声波。

技术特征：

技术总结
本发明属于磁控溅射装置，具体涉及一种复合式磁控溅射沉积台。一种复合式磁控溅射沉积台，母沉积台和子沉积台，其特征在于：母沉积台固定在真空室内部下方，且位置在磁控溅射装置的正下方，子沉积台通过电机装置连接到母沉积台上方，并且子沉积台的台面能够水平转动，电声换能装置固定在母沉积台上，与子沉积台的台面水平。通过间歇性超声控制，有效的增强附着在金属丝表面层附着力。

技术研发人员：丁红;乔宪武
受保护的技术使用者：杭州联芳科技有限公司
技术研发日：2018.09.12
技术公布日：2019.01.15