本实用新型为光伏自动化设备的技术领域，具体涉及可大批量夹持镀膜载片的镀膜载具。
背景技术：
太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的一个重要途径。现在大多数的太阳能电池是由晶体硅材料做成的，而镀膜是制造高效硅电池片的重要步骤之一，通常采用的方法是PECVD镀三氧化二铝。由于市场需求不一，对于硅片电池的单双面进行可选性镀膜就被提出来。现有批量式ALD一般只能适应硅片的双面镀工艺，无法做单面镀工艺。申请号CN201010294787.9中所述在PECVD上下同时镀膜设备的石墨上同时放置上下叠加的两张硅片，虽然能减少绕镀，但机构不能实现大批量镀膜，效率太低。
另外，在激光器等器件上，以硅片为衬底的器件边缘需要减反膜层。因此急需有效技术在多片叠加激光器侧表面与工艺气体接触，一次形成减反膜的解决方案。
技术实现要素：
本实用新型的目的是针对现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、能够同时实现单面镀膜、双面镀膜、侧面镀膜以及能够实现批量镀膜的机构。
一种镀膜载具，其包括固定板、固定组件及滑动组件；所述固定板设有两个；所述固定组件的两端固定在两个固定板上，固定组件上设有至少一个齿槽，待镀膜物体插入齿槽中。所述滑动组件与固定组件相对运动，推挤固定组件齿槽内的待镀膜物体，滑动组件与固定组件的齿槽共同固定待镀膜物体。
所述滑动组件上设有齿槽，待镀膜物体插入固定组件与滑动组件的齿槽内，所述滑动组件与固定组件相对运动，待镀膜物体通过固定组件和滑动组件交错的齿槽固定。
所述滑动组件相对于固定组件做直线运动，滑动组件的齿槽推动固定组件的齿槽内的待镀膜物体，直至待镀膜物体在固定组件与滑动组件交错的齿槽内固定。
所述滑动组件相对于固定组件做旋转运动，滑动组件的齿槽推动固定组件的齿槽内的待镀膜物体，直至待镀膜物体在固定组件与滑动组件交错的齿槽内固定。
优选的技术方案，固定组件为固定齿棒，滑动组件为滑动齿棒；固定齿棒的两端固定在两固定板上，滑动齿棒的两端可活动的支撑在固定板上，固定齿棒与滑动齿棒上均设有齿槽，推动滑动齿棒，滑动齿棒的齿槽推挤待镀膜物体，滑动齿棒上的齿槽与固定齿棒上的齿槽交错固定待镀膜物体。
所述镀膜载具设有至少两个固定齿棒，每个固定齿棒设有至少一个齿槽，多个固定齿棒上的齿槽一一对应。
所述固定齿棒的齿槽放置至少一个待镀膜物体。
所述滑动齿棒上设有至少一个齿槽；滑动齿棒上的齿槽与固定齿棒上的齿槽相对应，待镀膜物体插入滑动齿棒与固定齿棒的齿槽中，推动滑动齿棒，滑动齿棒的齿槽推挤待镀膜物体，待镀膜物体挤压固定在交错的滑动齿棒齿槽与固定齿棒上的齿槽上。
滑动齿棒端部为光杆或者设有螺纹或者带定位槽，滑动齿棒的两端部间隙配合在固定板上的孔内。
所述滑动齿棒端部为光杆，滑动齿棒的一端连接气缸轴或者电机；滑动齿棒一端与固定板上的孔间隙配合，在滑动齿棒的轴肩与固定板之间设复位弹簧，气缸或者电机推动滑动齿棒沿轴向直线运动。
滑动齿棒端部设有螺纹，滑动齿棒螺纹端连接电机及固定组件；滑动齿棒的另一端与固定板上的孔间隙配合，在滑动齿棒的轴肩与固定板之间设复位弹簧，电机带动固定组件，固定组件驱动滑动齿棒上的螺纹端的旋转运动，滑动齿棒相对于固定齿棒旋转并沿滑动齿棒轴向直线运动。
所述滑动齿棒一端设有定位槽，另一端间隙配合在固定板上的孔内；滑动齿棒设有定位槽的一端与拨片配合，滑动齿棒的另一端连接气缸轴或者电机轴；与滑动齿棒的齿槽对应位置的固定齿棒上设有可运动的待镀膜物体，气缸或者电机推动滑动齿棒沿轴向直线运动，另一端气缸拨动拨片，将滑动齿棒固定。
滑动齿棒的两端分别连接气缸杆，所述两个气缸可推动滑动齿棒双向直线运动。
优选的技术方案，固定组件为固定齿板，滑动组件为滑动齿棒；固定齿板的两端固定在两固定板上，滑动齿棒的两端可活动的支撑在固定板上，固定齿板与滑动齿棒上均设有齿槽，推动滑动齿棒，滑动齿棒的齿槽推挤待镀膜物体，滑动齿棒上的齿槽与固定齿板上的齿槽交错固定待镀膜物体。
优选的技术方案，滑动组件为推动杆，推动杆相对于固定组件旋转运动或者直线运动，推动杆推动固定组件齿槽内的待镀膜物体，直至待镀膜物体通过固定组件的齿槽与推动杆固定。
推动杆与待镀膜物体接触端设有推动面，推动杆通过推动杆面推动固定组件齿槽内的待镀膜物体，直至待镀膜物体通过固定组件的齿槽与推动面固定。
固定组件为固定齿棒，所述固定齿棒上设有一个齿槽，齿槽内放置至少一片待镀膜物体，推动杆推动齿槽内的待镀膜物体。
所述固定组件为固定齿棒，所述固定齿棒上设有至少一个齿槽，齿槽内放置至少一片待镀膜物体，推动杆推动齿槽内的待镀膜物体，待镀膜物体通过推动杆与固定齿棒上的齿槽固体。
所述固定组件为固定齿板，所述固定齿板上设有至少一个齿槽，齿槽内放置至少一片待镀膜物体，推动杆推动齿槽内的待镀膜物体，待镀膜物体通过推动杆与固定齿板上的齿槽固体。
优选的技术方案一种镀膜载具，包括固定板、滑动组件；固定板设有两个；所述滑动组件至少设有两个；所述滑动组件的两端可活动地支撑在两个固定板上，滑动组件推挤待镀膜物体，两滑动组件共同挤压待镀膜物体至待镀膜物体固定。至少两个滑动组件上设有至少一个齿槽，待镀膜物体插入齿槽中；至少两个滑动组件相对运动，推挤齿槽内的待镀膜物体，两个滑动组件的齿槽交错固定待镀膜物体。
优选的技术方案，滑动组件为滑动齿棒，滑动齿棒端部设置为光杆的形式、带有螺纹或者定位槽，间隙配合在固定板上的孔内，滑动齿棒上设有齿槽，两个滑动齿棒可以相对运动。
优选的技术方案，滑动组件为两个推动杆，推动杆端部间隙配合在固定板上的孔内，两推动杆相对运动，推挤待镀膜物体至固定。
优选的技术方案，推动杆接触待镀膜物体的端部设有推动杆面。
本实用新型的的有益效果是：
1.使批量原子层沉积设备同时进行单插和多插装载方式。
2.镀膜只在与工艺气体接触的表面形成。
3.可以一次性实现大批量的单面镀膜。
附图说明
图1是本实用新型实施例1的主视图。
图2是本实用新型实施例1中滑动齿棒与固定齿棒相对运动后，齿槽夹紧待镀膜物体的示意图。
图3是本实用新型实施例1中待镀膜物体上的受力分布图-一个平面的两边缘向同一方向同时受一个相同力。
图4是本实用新型实施例1中待镀膜物体上的受力分布图-一个平面的对角受两个相反方向的力。
图5是本实用新型实施例1中待镀膜物体上的受力分布图-一个平面的两边缘向相反方向同时受两个相同力。
图6是本实用新型实施例1中待镀膜物体上的受力分布图-一个平面的四边缘向相反方向同时受两个相同力。
图7是本实用新型实施例1中待镀膜物体上的受力分布图-一个平面的两边缘向同一方向同时受两个相同力，相反方向受一个力。
图中：固定板1、固定齿棒2、硅片3，滑动齿棒4
具体实施方式
下面参照附图和具体实施方式对本实用新型的技术方案作详细的说明。
实施例1
如图1所示，以图1中垂直纸面向里的方向为前，镀膜载具包括固定板1、固定齿棒2及滑动齿棒4。
固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿棒2的两端固定在两个固定板1上。
本实施例中设有六个固定齿棒2，六个固定齿棒2沿待镀膜物体3周向分布，滑动齿棒4端部为光杆或者带螺纹或者带定位槽，间隙配合在固定板1上的孔内；本实施例中设有十个滑动齿棒4。
固定齿棒2数量可以根据实际需要作出的调整，如底部增减几根或者侧部增减几根，如对应于硅片较大的情形，就可以在侧边和底边均增加几个固定齿棒2；其次，固定齿棒2的设置位置也可以有多种，如左或者右侧边不设置固定齿棒2，固定齿棒2设置在上下侧和右或者左侧，在这种情况下，硅片就可以从侧边插入到齿槽中去，对于较硬或者又硬又小等情况下的待镀膜物体3，固定齿棒2的设置位置也可以减少到相邻或不相邻的两边；再者，对于不同形状的待镀膜物体3，固定齿棒2可以更改设置位置，以能够通过多个齿棒相互配合达到周向固定硅片的功能为标准，齿棒最好沿硅片的中心线对称的设置。
本实施例中给出了如下的设置方式：滑动齿棒4的端部设置为光杆或者带螺纹或者带定位槽的形式，间隙配合在固定板1上的孔内，且在固定板1和滑动齿棒4的齿面(或轴肩)之间套设有弹簧，在齿棒的另一端对应设置气缸。在插片时，气缸推动滑动齿棒4，使得所有齿棒的齿槽对应，便于插片，当插片完毕后，气缸退回，弹簧弹力使得滑动齿棒4移动，齿错开，夹紧硅片。
对于固定齿棒2在整体齿棒中的位置设置，以使待镀膜物体3整体受力均匀、运动一致为参考，例如可以是两组可相对运动的齿棒(固定齿棒2与滑动齿棒4)间隔设置。参考图1，对于实线圆圈齿棒所构成的设置方式，可以选择侧边上侧的两个齿棒和位于下侧的两个齿棒是固定齿棒2，位于侧边下侧的两个齿棒为滑动齿棒4。
如图3至图7所示，根据滑动齿棒的位置及动力分布，做出了受力图。
对于滑动齿棒4与固定齿棒2的相对运动：一种运动方式是十个滑动齿棒4均同向运动，朝一个方向推挤固定齿棒2的齿槽中的待镀膜物体3。
另一种运动方式是，滑动齿棒4分为两组，一组滑动齿棒4沿轴向向一侧运动，另一组滑动齿棒4沿轴向向另一侧运动，这样齿槽即可错开，这种相互运动实现方式使得整体结构稍微复杂，但齿槽错开速度较快。
固定齿棒2与滑动齿棒4上均设有多个齿槽。
需要双面镀膜时，每个齿槽内均设有一个(片)待镀膜物体3，固定齿棒2与滑动齿棒4上的齿槽交错固定该待镀膜物体3，该待镀膜物体3的两面均能够镀膜。
单面镀膜时，每个齿槽内均设有两个(片)待镀膜物体3，固定齿棒2与滑动齿棒4上的齿槽交错夹紧该两个待镀膜物体3，两个待镀膜物体3的夹紧的面不能接触反应气体，不能镀膜，每个待镀膜物体3的未夹紧的另一个面均能够正常镀膜。
侧边镀膜时，需要待镀膜物体3侧边镀膜时，每个齿槽内设置多个待镀膜物体3，固定齿棒2与滑动齿棒4上的齿槽交错夹紧多个待镀膜物体3，只有待镀膜物体3的侧边及最外边的两个待镀膜物体3能够镀膜。
实施例2
镀膜载具包括固定板1、固定齿棒2及滑动齿棒4；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿棒2的两端固定在两个固定板1上，本实施例中设有四个固定齿棒2，四个固定齿棒2沿待镀膜物体3周向分布，滑动齿棒4的两端可活动的支撑在固定板1上，本实施例中设有两个滑动齿棒4。
固定齿棒2与滑动齿棒4上均设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
与实施例1的区别在于：滑动齿棒4的两端分别连接气缸杆，所述两个气缸可推动滑动齿棒4双向直线运动。
推动滑动齿棒4，滑动齿棒4的齿槽推挤待镀膜物体3，滑动齿棒4上的齿槽与固定齿棒2上的齿槽交错固定待镀膜物体3。
实施例3
镀膜载具包括固定板1、固定齿棒2及滑动齿棒4；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿棒2的两端固定在两个固定板1上，本实施例中设有四个固定齿棒2，四个固定齿棒2沿待镀膜物体3周向分布，滑动齿棒4的两端可活动的支撑在固定板1上，本实施例中设有两个滑动齿棒4。
固定齿棒2与滑动齿棒4上均设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
与实施例1和2的区别为：滑动齿棒一端设有齿槽，另一端间隙配合在固定板上的孔内，设有齿槽的一端也间隙的配合在固定板的孔内。
滑动齿棒的一端连接气缸轴或者电机轴，滑动齿棒设有齿槽的一端与卡片配合；与滑动齿棒的齿槽对应位置的固定齿棒上设有可运动的待镀膜物体，气缸推动滑动齿棒沿轴向直线运动，同时推挤待镀膜物体，另一端气缸拨动卡片，将滑动齿棒固定，滑动齿棒的齿槽与固定齿棒的齿槽将待镀膜物体固定。
实施例4
镀膜载具包括固定板1、固定齿棒2及滑动齿棒4；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿棒2的两端固定在两个固定板1上，本实施例中设有四个固定齿棒2，四个固定齿棒2沿待镀膜物体3周向分布，滑动齿棒4的两端可活动的支撑在固定板1上，本实施例中设有两个滑动齿棒4。
固定齿棒2与滑动齿棒4上均设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
与实施例1和2的区别在于：在滑动齿棒4的一端设有螺纹，另外一端为光杆，带螺纹一端连接电机及固定组件，光杆的一端与固定板上的孔间隙配合，其轴肩与固定板之间设有复位弹簧；带螺纹的一端与固定组件形成丝杠螺母结构，电机驱动固定组件，固定组件驱动滑动齿棒4旋转并沿轴线直线运动，滑动齿棒4的齿槽推挤待镀膜物体3，滑动齿棒4上的齿槽与固定齿棒2上的齿槽交错固定待镀膜物体3。
实施例5
本实施例与实施例1、2、3和4的区别在于，其没有固定齿棒2，而是设有固定齿板。
镀膜载具包括固定板1、固定齿板及滑动齿棒4；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿板的两端固定在两固定板1上，滑动齿棒4的两端可活动的支撑在固定板1上。
固定齿板与滑动齿棒4上均设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
在滑动齿棒4的一端连接气缸轴，另一端在滑动齿棒4的轴肩与固定板1之间设复位弹簧，气缸推动滑动齿棒4沿轴向直线运动，滑动齿棒4的齿槽推挤待镀膜物体3，滑动齿棒4上的齿槽与固定齿板上的齿槽交错固定待镀膜物体3。
实施例6
镀膜载具包括固定板1、固定齿板及滑动齿棒4；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿板的两端固定在两固定板1上，滑动齿棒4的两端可活动的支撑在固定板1上。
固定齿板与滑动齿棒4上均设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
本实施例与实施例5的区别在于：滑动齿棒4的两端分别连接气缸杆，所述两个气缸可推动滑动齿棒4双向直线运动。
推动滑动齿棒4，滑动齿棒4的齿槽推挤待镀膜物体3，滑动齿棒4上的齿槽与固定齿板上的齿槽交错固定待镀膜物体3。
实施例7
与以上实施例的区别在于，滑动组件为推动杆。
镀膜载具包括固定板1、固定齿板及推动杆；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿板的两端固定在两固定板1上，推动杆的一端可活动的支撑在固定板1上。
固定板1上设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
推动杆相对于固定板1直线运动，推动杆推动固定板1内的待镀膜物体3，直至待镀膜物体3通过固定齿板的齿槽与推动杆固定。
实施例8
与实施例7的区别在于，固定齿棒2代替固定齿板。
镀膜载具包括固定板1、固定齿棒2及推动杆；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿棒2的两端固定在两固定板1上，推动杆的一端可活动的支撑在固定板1上。
固定齿板上设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
推动杆相对于固定板1直线运动，推动杆推动固定板1内的待镀膜物体3，直至待镀膜物体3通过固定齿板的齿槽与推动杆固定。
实施例9
与实施例8的区别在于，推动杆一端设有推动杆面。
镀膜载具包括固定板1、固定齿板及推动杆；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿板的两端固定在两固定板1上，推动杆的一端可活动地支撑在固定板1上，推动杆推压镀膜物体的一端设有推动杆面，推动杆在待镀膜物体3上的力是分散在推动杆面上的。
固定齿板上设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
推动杆相对于固定板1直线运动，推动杆通过推杆面推动固定齿板内的待镀膜物体3，直至待镀膜物体3通过固定齿板的齿槽与推动杆的推动杆面固定。
实施例10
与实施例9的区别在于固定齿棒2代替固定齿板。
镀膜载具包括固定板1、固定齿棒2及推动杆；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，固定齿棒2的两端固定在两固定板1上，推动杆的一端可活动地支撑在固定板1上，推动杆推压镀膜物体的一端设有推动杆面，推动杆在待镀膜物体3上的力是分散在推动杆面上的。
固定齿棒2上设有多个齿槽，每个齿槽内均设有一个、二个或多个待镀膜物体3。
推动杆相对于固定板1直线运动，推动杆通过推杆面推动固定齿板内的待镀膜物体3，直至待镀膜物体3通过固定齿板的齿槽与推动杆的推动杆面固定。
实施例11
与上述实施例的区别在于：没有固定组件，只有滑动组件。
镀膜载具包括固定板1、滑动齿棒4；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，滑动齿棒4至少设有两个；滑动齿棒4的两端可活动地支撑在两个固定板1上，滑动齿棒4上设有齿槽，齿槽内放置待镀膜物体3。
滑动齿棒4一端连接气缸轴，气缸推动滑动齿棒4沿轴线直线运动，滑动齿棒4推挤待镀膜物体3，两滑动齿棒4共同挤压待镀膜物体3至待镀膜物体3固定。
实施例12
与实施例11的区别在于滑动齿棒4为推动杆。
镀膜载具包括固定板1、推动杆；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，推动杆至少设有两个；推动杆的两端可活动地支撑在两个固定板1上，推动杆的一端连接气缸轴，气缸推动推动杆沿轴线直线运动，推动杆推挤待镀膜物体3，两推动杆共同挤压待镀膜物体3至待镀膜物体3固定，待镀膜物体3固定在两推动杆之间。
实施例13
与实施例12的区别在于，推动杆推挤待镀膜物体3的一侧设有推动杆面。
镀膜载具包括固定板1、推动杆；固定板1设有两个，两个固定板1相对设置，推动杆至少设有两个；推动杆的两端可活动地支撑在两个固定板1上，推动杆的一端连接气缸轴，另一端设置推动杆面，气缸推动推动杆沿轴线直线运动，推动杆推挤待镀膜物体3，两推动杆的推动杆面共同挤压待镀膜物体3至待镀膜物体3固定，待镀膜物体3固定在两推动杆面之间。
尽管上面结合附图对本实用新型的优选实例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，并不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求保护的范围情况下，还可以作出很多形式的具体变换，这些均属于本实用新型的保护范围之内。