一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆的制作方法

文档序号:15423012发布日期:2018-09-12 00:11阅读:333来源:国知局

本实用新型属于退火炉炉胆相关技术领域,具体涉及一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆。



背景技术:

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

现有的退火炉炉胆技术存在以下问题:现有的退火炉炉胆在使用时间过久后会产生松动的状况,这样会影响退火炉炉胆的退火效果。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆,以解决上述背景技术中提出的退火炉炉胆使用时间过久后容易松动从而影响其退火效果的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆,包括右密封片,所述右密封片安装在右安装片的前端,所述右安装片后端设置有加固装置,所述右密封片内部和后侧设置有向后伸出的平底炉胆,所述平底炉胆前端依次穿过加固装置、右安装片和右密封片并且固定在右安装片和右密封片的内部,所述平底炉胆最前端设置有进料口,所述进料口固定安装在右密封片上,所述平底炉胆内壁上设置有耐高温涂层,所述平底炉胆外部外壁上设置有包围左右两侧和上端外壁的散热管,所述平底炉胆最后端设置有出料口,所述出料口前端四周外部设置有左密封片,所述左密封片后端设置有左安装片,所述平底炉胆后端穿过左安装片和左密封片并且固定在左安装片和左密封片的内部,所述左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片上四角处外壁上设置有安装孔,所述安装孔两端均穿过左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片的两端外壁并设置在左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片的内部,所述安装孔的内部设置有固定螺纹杆,所述固定螺纹杆两端均穿过安装孔并设置在安装孔的两端外部。

优选的,所述加固装置上设置有连接板,所述连接板前端固定安装在右安装片的后端外壁上,所述连接板前侧设置有压力弹簧,所述压力弹簧后侧设置有受力板,所述连接板和受力板上四角处外壁上均设置有安装孔,所述安装孔两端均穿过连接板和受力板两端外壁并设置在连接板和受力板的内部。

优选的,所述压力弹簧最上端设置有上固定片,所述上固定片固定连接在受力板的内壁上,所述压力弹簧最下端设置有下固定片,所述下固定片固定连接在连接板的内壁上。

优选的,所述加固装置共设置有两个,且两个加固装置分别安装在左安装片和右安装片的内壁上。

优选的,所述左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片上均设置有四个安装孔,且左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片上的安装孔形状大小均相等。

优选的,所述每个加固装置上均设置有八个压力弹簧,所述八个压力弹簧分别通过上固定片和下固定片等距安装在连接板和受力板的内壁上。

与现有的技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型通过在该平底退火炉炉胆的左安装片和右安装片的内壁上均增加了一个加固装置,来使得该平底退火炉炉胆能够更加牢固的固定在外部设备内部,防止因为时间过久后平底炉胆会产生松动而影响退火效果,使得平底炉胆不必担心松动能够时刻保持紧固的状态进行工作,并且该加固装置会通过压力弹簧的弹力使得加固装置对平底炉胆的左安装片和右安装片时刻产生挤压力,使得平底炉胆固定的更加紧致,从而增加其耐久性,该加固装置是由受力板、压力弹簧、连接板、上固定片和下固定片组成,其中压力弹簧分别通过上固定片和下固定片等距安装在连接板和受力板的内壁上,连接板前端固定安装在右安装片的后端外壁上,连接板和受力板上四角处外壁上均设置有安装孔,这样当依靠左安装片和右安装片把平底炉胆固定到外部设备上时,固定螺纹杆会把该平底炉胆固定好,而加固装置上的压力弹簧会通过弹簧的弹力增加固定螺纹杆的紧固力度,并且该弹簧的紧固力是一直持续的,这样就能使得平底炉胆时刻保持紧固状态固定在外部设备上,从而保证该平底炉胆能够正常的进行,从而减小其维修成本。

附图说明

图1为本实用新型的平底退火炉炉胆结构示意图;

图2为本实用新型的加固装置结构示意图;

图3为本实用新型的压力弹簧结构示意图;

图中:1、出料口;2、固定螺纹杆;3、左密封片;4、左安装片;5、散热管;6、平底炉胆;7、加固装置;8、右安装片;9、安装孔;10、进料口;11、耐高温涂层;12、右密封片;71、受力板;72、压力弹簧;73、连接板;74、上固定片;75、下固定片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆,包括右密封片12,右密封片12安装在右安装片8的前端,右安装片8后端设置有加固装置7,右密封片12内部和后侧设置有向后伸出的平底炉胆6,平底炉胆6前端依次穿过加固装置7、右安装片8和右密封片12并且固定在右安装片8和右密封片12的内部,平底炉胆6最前端设置有进料口10,进料口10固定安装在右密封片12上,平底炉胆6内壁上设置有耐高温涂层11,平底炉胆6外部外壁上设置有包围左右两侧和上端外壁的散热管5,平底炉胆6最后端设置有出料口1,出料口1前端四周外部设置有左密封片3,左密封片3后端设置有左安装片4,平底炉胆6后端穿过左安装片4和左密封片3并且固定在左安装片4和左密封片3的内部,左密封片3、左安装片4、加固装置7、右安装片8和右密封片12上四角处外壁上设置有安装孔9,安装孔9两端均穿过左密封片3、左安装片4、加固装置7、右安装片8和右密封片12的两端外壁并设置在左密封片3、左安装片4、加固装置7、右安装片8和右密封片12的内部,安装孔9的内部设置有固定螺纹杆2,固定螺纹杆2两端均穿过安装孔9并设置在安装孔9的两端外部。

为了使得平底炉胆6固定的更加牢固,本实用新型中,优选的,加固装置7上设置有连接板73,连接板73前端固定安装在右安装片8的后端外壁上,连接板73前侧设置有压力弹簧72,压力弹簧72后侧设置有受力板71,连接板73和受力板71上四角处外壁上均设置有安装孔9,安装孔9两端均穿过连接板73和受力板71两端外壁并设置在连接板73和受力板71的内部。

为了方便固定压力弹簧72,本实用新型中,优选的,压力弹簧72最上端设置有上固定片74,上固定片74固定连接在受力板71的内壁上,压力弹簧72最下端设置有下固定片75,下固定片75固定连接在连接板73的内壁上。

为了加固效果更好,本实用新型中,优选的,加固装置7共设置有两个,且两个加固装置7分别安装在左安装片4和右安装片8的内壁上。

为了加固装置7固定的更加牢固,本实用新型中,优选的,左密封片3、左安装片4、加固装置7、右安装片8和右密封片12上均设置有四个安装孔9,且左密封片3、左安装片4、加固装置7、右安装片8和右密封片12上的安装孔9形状大小均相等。

为了使得加固装置7更加耐用,本实用新型中,优选的,每个加固装置7上均设置有八个压力弹簧72,八个压力弹簧72分别通过上固定片74和下固定片75等距安装在连接板73和受力板71的内壁上。

本实用新型的工作原理及使用流程:本实用新型安装好过后,首先分别把两个加固装置7分别安装在左安装片4和右安装片8的内壁上,并且需要使得受力板71能够保持活动状态,然后在左安装片4和右安装片8的外壁上把左密封片3和右密封片12固定好,然后在平底炉胆6的左右和上端外壁上把多个散热管5等距安装好,然后通过把固定螺纹杆2插入到安装孔9内对平底炉胆6进行固定,且左密封片3、左安装片4、加固装置7、右安装片8和右密封片12上均设置有四个安装孔9,且左密封片3、左安装片4、加固装置7、右安装片8和右密封片12上的安装孔9形状大小均相等,这样使得平底炉胆6安装的更加牢固,并且固定螺纹杆2固定好之后,加固装置7会对平底炉胆6进行加固安装,来使得该平底退火炉炉胆能够更加牢固的固定在外部设备内部,防止因为时间过久后平底炉胆6会产生松动而影响退火效果,使得平底炉胆6不必担心松动能够时刻保持紧固的状态进行工作,并且该加固装置7会通过压力弹簧72的弹力使得加固装置7对平底炉胆6的左安装片4和右安装片8时刻产生挤压力,使得平底炉胆6固定的更加紧致,从而增加其耐久性,该加固装置7是由受力板71、压力弹簧72、连接板73、上固定片74和下固定片75组成,其中压力弹簧72分别通过上固定片74和下固定片75等距安装在连接板73和受力板71的内壁上,连接板73前端固定安装在右安装片8的后端外壁上,连接板73和受力板71上四角处外壁上均设置有安装孔9,这样当依靠左安装片4和右安装片8把平底炉胆6固定到外部设备上时,固定螺纹杆2会把该平底炉胆6固定好,而加固装置7上的压力弹簧72会通过弹簧的弹力增加固定螺纹杆2的紧固力度,并且该弹簧的紧固力是一直持续的,这样就能使得平底炉胆6时刻保持紧固状态固定在外部设备上,从而保证该平底炉胆6能够正常的进行,从而减小其维修成本。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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