一种抛光布修整盘的制作方法

本实用新型属于研磨抛光技术领域，特别涉及一种抛光布修整盘。

背景技术：

中国专利文献CN107148666A，公开了“一种抛光布的整理方法，该抛光布用于抛光硅晶圆，该整理方法包含：将由聚胺酯树脂所制的抛光布贴附于抛光机而进行修整后，进行假抛光；接着，通过该假抛光进行去除蓄积于该抛光布中的抛光残渣的处理；接着，测定该抛光布中的抛光残渣量，且基于该所测定的抛光残渣量而判定经该假抛光后的抛光布的整理状态”。该方案提及的抛光布在研磨抛光技术领域是常用的，在抛光过程中会用到抛光布修正盘。

就发明人所知，如图1所示，是一种抛光布修整盘，在修整盘的不锈钢基座面上，粘贴多片大面积的金刚石片。实践中，这种修整盘使用成本较高，当使用一定时间后，修整盘出现需要修理的情况时，很难修理，不得不废弃，造成很大浪费。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供了一种抛光布修整盘，目的是解决现有抛光布修整盘使用成本较高的问题。

本实用新型的实施例之一是，一种抛光布修整盘，该抛光布用于研磨抛光，所述修整盘包括，圆形基座；多个位于圆形基座表面的形状如圆钉的丸片；丸片表面的金刚石颗粒。

进一步的，丸片沿着修整盘周缘至少排列成1圈。所述修整盘的中心穿孔的环体。所述圆形基座采用铝制成。所述丸片采用不锈钢制成。所述丸片采用螺栓与圆形基座固定连接。

在另一个实施例中，丸片采用黏结方式与圆形基座固定连接。

本实用新型的实施例的有益效果之一是，通过采用多个位于圆形基座表面的形状如圆钉的丸片、丸片表面的金刚石圆片以及螺栓紧固连接设计，丸片与基座比较容易拆卸分离和替换，方便了对于修整盘的修理，对于很容易损耗的抛光布修正盘，极大降低了其使用成本。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本实用新型示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本实用新型的若干实施方式，其中：

图1本实用新型涉及的一种已有的修整盘结构示意图。

图2本实用新型实施例中抛光布修正盘的结构示意图。

1——大面积金刚石片，2——基座，3——丸片，4——金刚石颗粒。

具体实施方式

如图2所示，在一些实施例中，抛光布修整盘，包括，圆形基座；多个位于圆形基座表面的形状如圆钉的丸片；丸片表面的金刚石颗粒。丸片沿着修整盘周缘排列成2圈。

在一些实施例中，修整盘的中心穿孔的环体。

在至少一个实施例中，圆形基座采用铝或不锈钢或陶瓷制成，丸片采用不锈钢制成。

在一些实施例中，丸片采用螺栓与圆形基座固定连接。在另一个实施例中，丸片采用黏结方式与圆形基座固定连接。

由于丸片如圆钉大小，很容易与修整盘分离拆卸，尤其当用螺栓与基座连接时，更是如此。这样的结构方便了对于修整盘的修理，如果丸片上的金刚石圆片在使用中磨损了，立刻就可以替换，明显降低了抛光布修正盘的使用成本。

值得说明的是，虽然前述内容已经参考若干具体实施方式描述了本实用新型创造的精神和原理，但是应该理解，本实用新型并不限于所公开的具体实施方式，对各方面的划分也不意味着这些方面中的特征不能组合，这种划分仅是为了表述的方便。本实用新型旨在涵盖所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。