一种超高温高真空管式热处理系统的制作方法

文档序号:16866535发布日期:2019-02-15 20:14阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超高温高真空管式热处理系统,其特征在于:包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统,热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管;真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵,分子泵与真空管一端相连;供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐,质量流量控制仪分别与多个气源相连,混气罐连接至真空管。

2.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统,其特征在于:所述氧化铝保温层为呈阶梯式的内外三层。

3.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统,其特征在于:所述分子泵通过挡板阀与真空管一端相连。

4.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统,其特征在于:所述混气罐与真空管连接处位于挡板阀与真空管一端之间。

5.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统,其特征在于:所述电控系统包括触摸控制屏、真空检测仪表、分子泵启动仪表、质量流量控制仪表。

6.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统,其特征在于:所述加热炉体顶部还设有报警灯。

7.根据权利要求1所述的一种超高温高真空管式热处理系统,其特征在于:所述真空管为刚玉管。

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