技术总结
本实用新型公开了一种超高温高真空管式热处理系统，包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。该系统通过将多个系统集成为一台整机，占地面积小、布置合理，操作维护方便。
技术研发人员：凤旭;徐晓伟;周佳崎
受保护的技术使用者：上海微行炉业有限公司
技术研发日：2018.06.22
技术公布日：2019.02.15