一种超高温高真空管式热处理系统的制作方法

本实用新型属于热处理设备、具体涉及一种超高温高真空管式热处理系统。

背景技术：

目前,现有的超高温高真空管式热处理系统都是分散型的,如真空系统是外接的,电控系统的独立的,无集成,占地面积大，操作维护都不便。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种超高温高真空管式热处理系统，集成度高，便于操作和维护。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种超高温高真空管式热处理系统，包括电控系统、设于电控系统上的热处理系统、分设于电控系统两侧的真空系统和供气系统，热处理系统包括加热炉体、设于加热炉体内的数层氧化铝保温层、横向贯穿加热炉体的真空管；真空系统包括依次连接的前级机械泵和分子泵，分子泵与真空管一端相连；供气系统包括依次连接的质量流量控制仪和混气罐，质量流量控制仪分别与多个气源相连，混气罐连接至真空管。

所述氧化铝保温层为呈阶梯式的内外三层。

所述分子泵通过挡板阀与真空管一端相连。

所述混气罐与真空管连接处位于挡板阀与真空管一端之间。

所述电控系统包括触摸控制屏、真空检测仪表、分子泵启动仪表、质量流量控制仪表。

所述加热炉体顶部还设有报警灯。

所述真空管为刚玉管。

采用本实用新型的一种超高温高真空管式热处理系统，具有一下几个优点：

1、通过将多个系统集成为一台整机，占地面积小、布置合理，操作维护方便。

2、采用阶梯式的内外三层氧化铝保温层，使得保温层之间连接更紧致，保温效果更佳。

3、采用质量流量控制仪，能够根据工艺要求，精确控制工艺中所进各气体的比例。

4、通过挡板阀，能够对进气与抽真空进行有效切换。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式本实用新型进行详细说明：

图1是本实用新型的超高温高真空管式热处理系统的结构图。

图2是本实用新型的真空系统的原理图。

图3是本实用新型的供气系统的原理图。

图4是本实用新型的加热炉体的结构图。

具体实施方式

本实用新型的超高温高真空管式热处理系统如图1～4所示，其主要包括电控系统1、设于电控系统1上的热处理系统2、分设于电控系统1两侧的真空系统3和供气系统4，其中：

热处理系统2包括加热炉体21、设于加热炉体21内的数层氧化铝保温层22、横向贯穿加热炉体21的真空管23；作为一个实施例，所述氧化铝保温层22为呈阶梯式的内外三层，采用阶梯式的多层结构，能够使得保温层之间连接更紧致，保温效果更佳。所述真空管23可采用刚玉管，两端设有用于连接及进料后密封的法兰24。所述加热炉体21顶部还设有单色报警灯25。

真空系统3包括依次连接的前级机械泵31和分子泵32，分子泵32与真空管23一端相连；并且所述分子泵32通过挡板阀33与真空管23一端相连。

供气系统4则包括依次连接的质量流量控制仪41和混气罐42，质量流量控制仪41分别与多个气源相连，能够根据工艺要求，精确控制工艺中所进各气体的比例，并进入混气罐42内混合，再通过连接至真空管23，向真空管23内供气。作为一个实施例，所述混气罐与真空管23连接处位于挡板阀与真空管23一端之间，通过挡板阀33能够对进气与抽真空进行有效切换。

所述电控系统1包括触摸控制屏11、真空检测仪表12、分子泵启动仪表13、质量流量控制仪表14，用以整个热处理系统2的自动化设定和控制。

但是，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。