一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置的制作方法

本实用新型涉及化学气相沉积领域，更具体地说，涉及一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置。

背景技术：

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

但是，现有的封闭式化学气相沉积炉没有防漏气装置，一旦化学气相沉积炉漏气很难在很短时间内被发现，而化学气相沉积炉漏气会有杂质进入导致沉积不均匀，镀层质量差等问题。

技术实现要素：

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，它可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括化学气相沉积炉本体，所述化学气相沉积炉本体的上端和下端分别连接有进气管和排气管，所述化学气相沉积炉本体的外侧设有第一弹性塑料保护套，所述第一弹性塑料保护套的上端和下端分别连接有第一连通管和第二连通管，且第一连通管与进气管螺纹连接、排气管与第二连通管螺纹连接，所述第一连通管上连接有第一阀门，所述第二连通管上连接有第二阀门，所述第一弹性塑料保护套的侧壁固定连接有抽气管，所述抽气管上连接有抽气阀门，所述抽气管远离第一弹性塑料保护套的一端连接有法兰，所述第一弹性塑料保护套与抽气阀门之间设有报警器，所述报警器与抽气管之间固定连接有固定盒，所述报警器靠近抽气管的一端活动连接有触发开关，且触发开关位于固定盒的内侧，所述抽气管上连接有与触发开关相匹配的球形弹性塑料保护套，且球形弹性塑料保护套与抽气管连通，可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

优选地，所述第一弹性塑料保护套靠近化学气相沉积炉本体是一侧连接有硅胶垫，方便第一弹性塑料保护套贴附在化学气相沉积炉本体上时保护第一弹性塑料保护套不会被化学气相沉积炉本体弄坏，所述硅胶垫与第一弹性塑料保护套之间连接有荧光垫，方便第一弹性塑料保护套破损时可以及时发现。

优选地，所述第一弹性塑料保护套的外表面连接有防腐涂层，方便使第一弹性塑料保护套不易腐烂。

优选地，所述触发开关为倒U型结构，且触发开关的外侧连接有保护套，方便保护触发开关使其不易损坏，影响触发开关触发灵敏度。

优选地，所述化学气相沉积炉本体的外壁涂设有抗氧化涂层，方便使化学气相沉积炉本体不易生锈。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)本方案可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

(2)第一弹性塑料保护套靠近化学气相沉积炉本体是一侧连接有硅胶垫，方便第一弹性塑料保护套贴附在化学气相沉积炉本体上时保护第一弹性塑料保护套不会被化学气相沉积炉本体弄坏，硅胶垫与第一弹性塑料保护套之间连接有荧光垫，方便第一弹性塑料保护套破损时可以及时发现。

(3)第一弹性塑料保护套的外表面连接有防腐涂层，方便使第一弹性塑料保护套不易腐烂。

(4)触发开关为倒U型结构，且触发开关的外侧连接有保护套，方便保护触发开关使其不易损坏，影响触发开关触发灵敏度。

(5)化学气相沉积炉本体的外壁涂设有抗氧化涂层，方便使化学气相沉积炉本体不易生锈。

附图说明

图1为本实用新型的正面结构示意图；

图2为图1中A处结构示意图；

图3为本实用新型第一弹性塑料保护套贴附在化学气相沉积炉本体上的结构示意图。

图中标号说明：

1第一弹性塑料保护套、2荧光垫、3化学气相沉积炉本体、4进气管、5第一连通管、6第一阀门、7抽气管、8法兰、9排气管、10第二连通管、11第二阀门、12硅胶垫、13抽气阀门、14报警器、15固定盒、16触发开关、17球形弹性塑料保护套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1：

请参阅图1-3，一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，包括化学气相沉积炉本体3，化学气相沉积炉本体3的上端和下端分别连接有进气管4和排气管9，化学气相沉积炉本体3的外侧设有第一弹性塑料保护套1，第一弹性塑料保护套1的上端和下端分别连接有第一连通管5和第二连通管10，且第一连通管5与进气管4螺纹连接、排气管9与第二连通管10螺纹连接，第一连通管5上连接有第一阀门6，第二连通管10上连接有第二阀门11，第一弹性塑料保护套1的侧壁固定连接有抽气管7，抽气管7上连接有抽气阀门13，抽气管7远离第一弹性塑料保护套1的一端连接有法兰8，第一弹性塑料保护套1与抽气阀门13之间设有报警器14，报警器14与抽气管7之间固定连接有固定盒15，报警器14靠近抽气管7的一端活动连接有触发开关16，且触发开关16位于固定盒15的内侧，抽气管7上连接有与触发开关16相匹配的球形弹性塑料保护套17，且球形弹性塑料保护套17与抽气管7连通，第一弹性塑料保护套1靠近化学气相沉积炉本体3是一侧连接有硅胶垫12，方便第一弹性塑料保护套1贴附在化学气相沉积炉本体3上时保护第一弹性塑料保护套1不会被化学气相沉积炉本体3弄坏，硅胶垫12与第一弹性塑料保护套1之间连接有荧光垫2，方便第一弹性塑料保护套1破损时可以及时发现，第一弹性塑料保护套1的外表面连接有防腐涂层，方便使第一弹性塑料保护套1不易腐烂，触发开关16为倒U型结构，且触发开关16的外侧连接有保护套，方便保护触发开关16使其不易损坏，影响触发开关16触发灵敏度，化学气相沉积炉本体3的外壁涂设有抗氧化涂层，方便使化学气相沉积炉本体3不易生锈，可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂。

将第一弹性塑料保护套1附在化学气相沉积炉本体3外侧，然后将进气管4与第一连通管5螺纹连接、第二连通管10与排气管9螺纹连接，螺纹连接时将密封垫圈放置在进气管4与第一连通管5之间以及第二连通管10与排气管9之间，使空气不易从进气管4与第一连通管5之间的缝隙处、第二连通管10与排气管9之间的缝隙处进入，通过法兰8将抽气管7接入抽真空泵上，接着启动抽真空泵将第一弹性塑料保护套1与化学气相沉积炉本体3之间的空气抽出，使第一弹性塑料保护套1贴附在化学气相沉积炉本体3上，同时使球形弹性塑料保护套17贴附在抽气管7上，然后将抽气阀门13旋紧，当化学气相沉积炉本体3漏气时，漏出的气体会将第一弹性塑料保护套1顶起一个弧度，在技术人员没有发现化学气相沉积炉本体3漏气之前，第一弹性塑料保护套1可以起到临时阻挡作用，减少外界污染进入，当化学气相沉积炉本体3漏出的气体增加而技术人员还没有发现化学气相沉积炉本体3漏气时，此时漏出的气体会慢慢在第一弹性塑料保护套1与化学气相沉积炉本体3之间扩散，直到漏出的气体通过触发开关16进入球形弹性塑料保护套17中将球形弹性塑料保护套17充满，球形弹性塑料保护套17会顶动触发开关16从而触发报警器14报警提醒技术人员处理化学气相沉积炉本体3漏气情况。

以上所述；仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此；任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内；根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变；都应涵盖在本实用新型的保护范围内。