一种真空蒸镀设备的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种真空蒸镀设备。

背景技术：

由于不锈钢箔密度较高，一卷不锈钢箔的重量可达1.5吨到2.5吨。因此对于卷对卷(roll－to－roll)设备的设计结构、基材卷的装载、加工完卷材的卸下都有更高要求。

通常为了保证设备制作的精度，真空蒸镀设备的主架尽量采用固定的方式(不移动)，这样薄膜的加工精度，运动控制精度更容易实现，精度更容易把控，结构相对来说比较简单，这种方式的镀膜机主腔体通常采用门轴式开门方式或平移式开门方式，两种方式的门密封方向均为竖直方向，且腔体一面开口，卷材的装载和卸载需要将卷绕系统整体抽出。

为了便于卷材的装载与卸载，大部分企业选择了平移式开门方式的镀膜，镀膜系统与门集成一体，采用平移式开门方式的镀膜机主要是为了在镀膜机主腔体外进行卷材的装载与卸载。主腔体外的卷材装载与卸载的动作相对于腔体内实现更容易，执行动作更简单、易控制。但是，由于平移式方式的镀膜机，卷绕控制部分会随着移动门板移动。对于设备的总体结构比较复杂、设备的制作精度要求很高，卷绕控制结构比较复杂。由于门板要实现较大载荷的移动，在移动速度控制非常严格。

图1为现有技术中一种真空蒸镀设备的结构示意图，其中卷绕控制系统200设计在主腔体100内，卷绕控制系统200不可移动，当腔体门110打开时，卷绕控制系统200需要在门板打开侧进行卷材的装载与卸载，卷材的装载与卸载在设备腔体120内完成。这种设备结构简单，卷材的装载与卸载比较难实现。

图2为现有技术中另一种真空蒸镀设备的结构示意图，其中卷绕控制系统200设计成可移动方式，卷绕控制系统200可以随着主门板110平移进出主腔体120。这样可以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载。装载与卸载的动作实现起来比较简单。但由于卷绕控制系统自身比较重(18吨至15吨)，移动门板的移动速度，要尽量减小惯性的产生、不能产生振动。因此，移动的速度要保证低速和匀速。

采用如图1的方案，无论采用四周哪个方向开门，卷材的装载与卸载动作比较复杂，卷材的装载于卸载非常难操作。

采用图2的方案，虽然实现了腔体外的卷材装载与卸载，但由于动作要在真空环境下实现，且移动门板携带载荷较大，门的开启与关闭移动安全性及可靠性较低。

技术实现要素：

(一)本实用新型目的在于提供一种新型真空蒸镀设备，实现设备卷绕系统固定到主腔体内，不用移动卷绕系统。保证设备设计结构简单，还能简单方便的实现卷材的方便快速的装载与卸载。

(二)技术方案

为了实现上述技术问题，本实用新型提供了一种真空蒸镀设备，包括卷绕系统、固定端和移动端，所述固定端与所述移动端可开合连接，所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧。

进一步地，所述固定端上固定有多个所述卷绕系统，至少两个所述卷绕系统伸出至所述第二腔体的外侧。

进一步地，所述第一腔体和所述第二腔体均为一端开口的腔体，所述第一腔体的开口方向倾斜向上，所述第二腔体的开口方向倾斜向下，所述第一腔体和所述第二腔体的开口端相接形成密闭的所述容纳腔。

进一步地，所述固定端包括第一立板、底板和两个第一侧板，所述第一立板的下端与所述底板的后端相连；

两个所述第一侧板相对设于所述底板的两侧，下端分别与所述底板的相对的两个侧边相连，后端分别与所述第一立板的相对两个侧边相连。

进一步地，所述移动端包括第二立板、顶板和两个第二侧板，所述第二立板的上端与所述顶板的前端相连；

两个所述第二侧板相对设于所述底板的两侧，上端分别与所述顶板相对的两个侧边相连，前端分别与所述第二立板相对的两个侧边相连。

进一步地，所述顶板、底板、第一立板和第二立板均为矩形板状结构，所述第一侧板和所述第二侧板均为直角三角板状结构；

所述第一侧板的斜边朝上设置，所述第二侧板的斜边朝下设置，且所述第一侧板的斜边和所述第二侧板的斜边相互平行。

进一步地，所述第一腔体的开口端设有第一密封法兰，所述第二腔体的开口端设有与所述第一密封法兰配合的第二密封法兰。

进一步地，所述第一密封法兰和所述第二密封法兰之间设有至少一个密封圈；所述密封圈固定在所述第一密封法兰或第二密封法兰上。

进一步地，所述第一密封法兰和第二密封法兰均为倾斜的矩形框结构，所述第一密封法兰和所述第二密封法兰相互平行；所述第一密封法兰与水平方向的夹角为30-60°。

进一步地，所述真空蒸镀设备还包括滑轨，所述移动端与所述滑轨滑动连接，并能够沿所述滑轨滑动以打开或闭合所述容纳腔。

进一步地，所述滑轨水平设置，所述固定端固定在所述滑轨上，所述移动端在所述滑轨上沿水平方向滑动以打开或闭合所述容纳腔。

进一步地，所述移动端与所述固定端铰接，所述移动端绕铰接处转动以打开或闭合所述容纳腔。

进一步地，还包括蒸发机构和真空排气系统；所述蒸发机构固定在所述固定端上，并位于所述第一腔体内；所述真空排气系统设置在所述固定端或所述移动端上，并与所述容纳腔连通。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的真空蒸镀设备，包括卷绕系统、固定端和移动端，所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧；所述移动端能够移动与所述固定端分离打开所述容纳腔，由于卷绕系统固定在所述固定端上，这样整个移动端的重量大大降低，移动时的惯性更小，因此移动更加平稳，移动过程中产生的震动更小，对于移动端移动时的控制更容易掌控；并且所述卷绕系统伸出至第一腔体的外侧，卷材与卷绕系统之间没有阻挡物，卷材与卷绕系统配合的操作空间更大；这样可以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载，装载与卸载的动作实现起来更加简单；本申请提供的真空蒸镀设备同时实现了不用移动卷绕系统，并且卷材方便快速的装载与卸载，设备结构简单，能够达到快速高效生产的目的。

附图说明

本实用新型上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是现有技术中一种真空蒸镀设备的结构示意图；

图2是现有技术中另一种真空蒸镀设备的结构示意图；

图3是本申请真空蒸镀设备的移动端和固定端平移配合的结构示意图；

图4是本申请真空蒸镀设备的移动端和固定端转动配合的结构示意图；

图5是本申请真空蒸镀设备的密封圈固定在第一密封法兰上的结构示意图；

图6是本申请真空蒸镀设备的密封圈固定在第二密封法兰上的结构示意图；

图7是本申请一个实施例中所述第一侧板的示意图；

图8是本申请另一个实施例中所述第一侧板的示意图；

图9是本申请又一个实施例中所述第一侧板的示意图；

图10是本申请一个实施例中所述第二侧板的示意图；

图11是本申请另一个实施例中所述第二侧板的示意图；

图12是本申请又一个实施例中所述第二侧板的示意图。

其中图1至图12中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100、主腔体，110、腔体门，120、设备腔体，200、绕卷控制系统，1、固定端，11、第一腔体，111、底板，112、第一立板，113、第一侧板，114、第一密封法兰，2、移动端，21、第二腔体，211、顶板，212、第二立板，213、第二侧板，214、第二密封法兰，3、密封圈，4、滑轨，5、卷绕系统，6、蒸发机构，7、真空排气系统。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图3和图4所示，本实用新型提供了一种真空蒸镀设备，包括卷绕系统5、固定端1和移动端2，所述固定端1与所述移动端2可开合连接，所述固定端1与所述移动端2处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端1内的第一腔体11和位于所述移动端2内的第二腔体21，所述卷绕系统5固定在所述固定端1上并伸出至所述第一腔体11的外侧。

本实用新型提供的真空蒸镀设备，包括卷绕系统5、固定端1和移动端2，所述固定端1与所述移动端2处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端1内的第一腔体11和位于所述移动端2内的第二腔体21，所述卷绕系统5固定在所述固定端1上并伸出至所述第一腔体11的外侧；所述移动端2能够移动与所述固定端1分离打开所述容纳腔，由于卷绕系统5固定在所述固定端1上，这样整个移动端2的重量大大降低，移动时的惯性更小，因此移动更加平稳，移动过程中产生的震动更小，对于移动端2移动时的控制更容易掌控；并且所述卷绕系统5伸出至第一腔体11的外侧，卷材与卷绕系统5之间没有阻挡物，卷材与卷绕系统5配合的操作空间更大；这样可以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载，装载与卸载的动作实现起来更加简单；本申请提供的真空蒸镀设备同时实现了不用移动卷绕系统5，并且卷材方便快速的装载与卸载，设备结构简单，能够达到快速高效生产的目的。

其中卷绕系统5整体结构相对于设备总质量占约为50％，将如此大质量的结构由移动方式改成固定方式，可以提高设备运行的可靠性及安全性；同时卷绕系统5设计在真空腔体内，结构设计相对简单。卷绕系统5控制部分所需要的控制电路、冷却水路、控制气路等，都比较好设计好实现。

如图3和图4所示，所述第一腔体11和所述第二腔体21均为一端开口的腔体，所述第一腔体11的开口方向倾斜向上，所述第二腔体21的开口方向倾斜向下，所述第一腔体11和所述第二腔体21的开口端相接形成密闭的所述容纳腔；其中所述第一腔体11的上前方为开口结构，卷绕系统5的上侧没有遮挡物，这样卷材从上方下来能够直接与所述卷绕系统5配合，可以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载，装载与卸载的动作实现起来更加简单；第二腔体21的开口方向朝向下后方，第一腔体11与第二腔体21相互配合形成一个密闭的容纳腔。

如图3至图6所示，所述第一腔体11的开口端设有第一密封法兰114，所述第二腔体21的开口端设有与所述第一密封法兰114配合的第二密封法兰214，通过第一密封法兰114和所述第二密封法兰214的配合来实现移动端2和固定端1的密封连接，这样移动端2和固定端1连接更加方便，且第一密封法兰114和第二密封法兰214的配合能够确保整个设备的密封性能，保证容纳腔内能够保持真空状态。

如图3至图6所示，所述第一密封法兰114和第二密封法兰214均为倾斜的矩形框结构，所述第一密封法兰114和所述第二密封法兰214相互平行，即所述第一腔体11和第二腔体21的开口端均为斜面结构，这样便于第一腔体11和第二腔体21的连接配合；所述第一密封法兰114与水平方向的夹角为30-60°，所述第一密封法兰114的倾斜方向为由后侧到前侧由上至下倾斜，斜面与水平面的夹角为30-60°，确保两个法兰在密封状态时，紧密贴合。

这样的倾角能够保证在所述固定端1内第一腔体11的开口是朝向上前方的，也就是在所述第一腔体11的上端和前端没有遮挡物，可以方便于所述卷材与卷绕系统5的配合；优选地，所述第一密封法兰114焊接在所述第一腔体11的开口端，所述第二密封法兰214焊接在所述第二腔体21的开口端；因此固定端1的对合密封面由第一密封法兰114对应第一腔体11斜角焊接到固定端1上，移动端2对合密封面由第二密封法兰214对应腔体斜角焊接到移动端2上。

需要说明的是，在本申请中所述第一密封法兰114和所述第二密封法兰214也可以其它形状如圆弧形框或其它不规则框型结构，只要能够实现第一密封法兰114和第二密封法兰214的密封配合形成密闭的容纳腔就也能够实现本实用新型的目的，其宗旨未脱离本实用新型的设计思想，应属于本实用新型的保护范围。

优选地，如图3和图4所示，所述固定端1包括第一立板112、底板111和两个第一侧板113，所述第一立板112的下端与所述底板111的后端相连；两个所述第一侧板113相对设于所述底板111的两侧，下端分别与所述底板111的相对的两个侧边相连，后端分别与所述第一立板112的相对两个侧边相连；通过第一立板112、底板111和两个第一侧板113的连接形成一端开口的第一腔体11，且所述第一腔体11的开口方向倾斜向上，以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载，卷材与卷绕系统5的配合更加简单、便捷。优选地，所述第一立板112、底板111和两个所述第一侧板113通过焊接的方式连接固定；当然，上述部件也可以为一体成型结构。

如图3和图4所示，所述移动端2包括第二立板212、顶板211和两个第二侧板213，所述第二立板212的上端与所述顶板211的前端相连；两个所述第二侧板213相对设于所述底板111的两侧，上端分别与所述顶板211相对的两个侧边相连，前端分别与所述第二立板212相对的两个侧边相连；通过第二立板212、顶板211和两个第二侧板213的连接形成一端开口的第二腔体21，且所述第二腔体21的开口方向倾斜向下，第一腔体11和第二腔体21的开口方向相对应，这样在固定端1和移动端2连接时，第一腔体11和第二腔体21连通共同构成一个密封的容纳腔。优选地，所述第二立板212、顶板211和两个所述第二侧板213通过焊接的方式连接固定；当然，上述部件也可以为一体成型结构。

如图3和图4所示，所述顶板211、底板111、第一立板112和第二立板212均为矩形板状结构，如图7和图10所示，所述第一侧板113和所述第二侧板213均为直角三角板状结构；如图7所示，所述第一侧板113的斜边朝上设置，如图10所示，所述第二侧板213的斜边朝下设置，且所述第一侧板113的斜边和所述第二侧板213的斜边相互平行；所述第一立板112的下端与所述底板111的后端垂直连接，所述第一立板112的两个侧边分别与两个所述第一侧板113位于后侧直角边垂直连接，两个所述第一侧板113位于下侧的直角边与所述底板111的两个侧边垂直连接，所述第一侧板113的斜边从第一立板112向前侧由上至下倾斜，整体构成一个向上前方开口的第一腔体11；所述第二立板212的上端与所述顶板211的下端垂直连接，所述第二立板212的两个侧边分别与两个所述第二侧板213位于前侧的直角边垂直连接，两个所述第二侧板213位于上侧的直角边与所述顶板211的两个侧边垂直连接，所述第二侧板213的斜边从第二立板212向后侧由下至上倾斜。这样第一侧板113和第二侧板213的倾斜方向相同，能够更好地密封形成密闭的容纳腔。

其中所述底板111的前端边、所述第一立板112的上端边和两个所述第一侧板113的斜边外侧焊接所述第一密封法兰114，构成矩形框结构的所述第一密封法兰114；所述顶板211的后端边、第二立板212的下端边和两个所述第二侧板213的斜边上焊接所述第二密封法兰214，构成框型结构的所述第二密封法兰214，第一密封法兰114和第二密封法兰214的形状结构相适配，能够密封配合。

优选地，所述第一密封法兰114和所述第二密封法兰214之间还设有至少一个密封圈3，所述密封圈3能够提供第一密封法兰114和第二密封法兰214连接的密封性，确保第一密封法兰114和第二密封法兰214密封连接后移动端2和固定端1共同围成的容纳腔的密封性能。本申请中所述密封圈3设有一至三个，优选地，所述密封圈3设有两个，两个所述密封圈3固定在第一密封法兰114上(如图5所示)，两个所述密封圈3的尺寸不等，即截面直径相等、通径不同，这样在密封面同样可以实现双密封；当然所述密封圈3也可以固定在第二密封法兰214上(如图6所示)。

其中如图8所示，所述第一侧板113不限于所述直角三角板状结构，如所述第一侧板113的斜边呈内凹的圆弧状，对应的如图11所示，所述第二侧板213的直角边呈外凸的圆弧状，或如图9所示，所述第一侧板113的斜边呈台阶状，对应的如图12所示，所述第二侧板213的斜边也成台阶状；只要能够实现由第一侧板113、底板111和第一竖板构成的第一密封法兰114能够与由第二侧板213、顶板211和第二竖板构成的第二密封法兰214能够相适配并能够密封的目的，就也能够实现本实用新型的设计思想，应属于本实用新型的保护范围。其中如图8和图11所示的，采用半圆弧的机构相对于方形腔体可以使重量减轻一半以上。

其中本申请中，所述固定端1上固定有多个所述卷绕系统5，至少两个所述卷绕系统5伸出至所述第二腔体21的外侧，即所述固定端1内需要有两个以上的卷绕系统5没有遮挡，这样就实现了卷材的装载与卸载的方便操作性；优选地，所述卷绕系统5的一端与所述第一竖板垂直连接，另一端伸为卷绕部并伸出至所述第一腔体11的外侧。

如图3和图4所示，本申请提供的真空蒸镀设备还包括蒸发机构6和真空排气系统7；所述蒸发机构6固定在所述固定端1上，并位于所述第一腔体11内，卷绕系统5、蒸发机构6等固定到腔体固定端1上易于电路控制线的连接，冷却循环水的接入；所述真空排气系统7设置在所述固定端1或所述移动端2上，并与所述容纳腔连通；移动端2和固定端1密封连接后形成一个密闭的腔体，所述真空排气系统7用于将密闭空间内的气体排出使所述容纳腔内形成真空环境，以达到满足工艺生产的真空环境需求；所述卷绕系统5负责卷材的收放的运动控制，所述蒸发机构6在卷绕系统5工作过程中，对卷材的表面沉积工艺所需要的薄膜材料，所述蒸发机构6可以沉积一种材料，也可以沉积多种材料；即所述蒸发机构6上可以放置一种材料，也可以同时放置多种材料。移动端2的总重量相对于固定端1的总重量轻1/2到4/5。因此，移动端2可以通过导轨实现平移式移动方式进行容纳腔的开闭。

需要说明的是，本申请中所述移动端2和固定端1可以不采用斜面对称的机构。固定端1为方形结构，移动端2可在保障密封法兰一致的情况下，采用半圆弧腔体结构，采用半圆弧的机构相对于方形腔体可以使重量减轻一半以上。

优选的，如图3和图4所示，所述蒸发机构6设于所述第一腔体11内，所述真空排气系统7设置在所述固定端1上并与所述第一腔体11连通，当移动端2和固定端1密封连接时，达到真空排气系统7与密闭的所述容纳腔连通的目的；进一步地，所述真空排气系统7设置在其中一个第一侧板113上，并位于所述第一腔体11的外侧同时与所述第一腔体11连通。

需要说明的是，在本申请中所述真空排气系统7也可以是设置在所述移动端2上，并与所述第二腔体21连通，进而实现所述真空排气系统7通过第二腔体21与密闭的容纳腔连通的目的。

本实用新型的一个实施例中，如图3所示，所述真空蒸镀设备还包括滑轨4，所述移动端2与所述滑轨4滑动连接，并能够沿所述滑轨4滑动以打开或闭合所述容纳腔；所述固定端1固定不动，所述滑动端在滑轨4上滑动以打开或闭合所述容纳腔，由于移动端2上没有设置卷绕系统5、蒸发机构6等设备，因此重量较轻，移动过程中能够降低因惯性过大产生的振动，提高了设备运行的可靠性及安全性、卷材的装载、卸载及穿膜问题都得到解决。

如图3所示，所述滑轨4水平设置，所述固定端1固定在所述滑轨4上，所述移动端2在所述滑轨4上沿水平方向滑动以打开或闭合所述容纳腔，通过移动端2平移的方式来实现密封的容纳腔的打开或闭合，采用滑轨4能够降低摩擦力，降低移动端2移动的难度，同时滑轨4还起到承载所述固定端1和移动端2的作用；优选地，所述移动端2上可以设置与所述滑轨4配合的滑槽，移动端2可以通过滑轨4和滑槽的配合实现滑动。其中如图3所示，在本申请中所述固定端1的底板111固定在所述滑轨4上，所述移动端2的第二竖板的下端在滑轨4的上滑移。

当然，在本申请中所述滑轨4也可以是竖直设置的，所述移动端2在所述滑轨4上沿上下方向垂直移动，或者所述滑轨4也可以是倾斜设置，只要能够实现移动端2通过滑轨4移动以打开或关闭所述容纳腔的目的，就也能够实现本申请的目的，其宗旨未脱离本实用新型的保护范围。

本实用新型一个实施例中，如图4所示，所述移动端2与所述固定端1铰接，所述移动端2绕铰接处转动以打开或闭合所述容纳腔，由于所述移动端2的重量较轻，因此可以采用转动的方式打开所述容纳腔，本申请中所述移动端2和所述固定端1铰接为门轴式，即所述移动端2和所述固定端1通过转轴铰接，其中所述底板111的前端和所述第二竖板的下端通过转轴铰接，这样所述移动端2绕铰接轴转动以打开或关闭所述容纳腔。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。