一种增压清洗设备的制作方法

本实用新型属于半导体材料清洗设备技术领域，具体涉及一种增压清洗设备。

背景技术：

半导体零件材料为脆性材料，现有部分型号的零件加工之后，上面同时有数百甚至上千个小孔或异形孔，现有的疏通清洗技术手段多为风枪、高压水枪或钻头及硬物疏通后再用超声波或化学药剂清洗，因为半导体材料疏水特性，在小孔或异形孔及缝隙中没有重力或压强时会产生气室，导致化学药剂或清水无法在孔内流通，从而无法达到清洁零件的要求。而且脆性材料在局部受压不均的情况下会出现裂纹、崩边、破损等问题，现有技术是将零件装夹在夹具上，通过人工操作，逐一对零件的孔进行清理，首先局部接触点的压力会受力不均，其次清洗效率低下。在零件清洗过程中，因人为操作时具有不可控性，因此对零件的清洁度并不可控，导致零件达不到清洁要求，人工在逐一疏通小孔或异形孔时容易破坏表面完整度的同时零件因材料特性也会导致孔径内壁损伤，这样加工时间长，效率低，且会因为人工操作时的不确定性，从而报废零件。

针对上述问题，提出本实用新型。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种增压清洗设备。

为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：一种增压清洗设备，包括上腔体2及下腔体1，其中：

下腔体设于支架4上，上腔体2通过铰接件16铰接扣合于下腔体1上形成密封空间，上腔体2顶部设有空气入口13及入水口14，空气入口13连接连接进气管22，入水口14连接进水管8；下腔体1底部设有通气孔；

密封空间内设有设有环形工装10，环形工装10内周设有放置圆形零件9 的环形台阶，环形工装10水平卡扣于密封空间内壁上的环形台阶卡槽11上；

下腔体1下方设有收集槽3，收集槽3设于支架4上。

其中，上腔体2顶部设有泄压口15，泄压口15设有泄压阀，泄压阀通过泄压管线17连接下腔体1底部的回流口19。

其中，上腔体2上设有压力表21，压力表21用于测量零件9上方的压力。

其中，进水管8一端连接入水口14，另一端连接收集槽3底部出水口，进水管8上设有输送泵6及压力传感器7。

其中，收集槽3底部设有排污口20。

其中，下腔体1上设有行程开关12。

其中，下腔体1底部设有锥形的导流腔5，通气孔设于导流腔5底部。

其中，下腔体1外侧设有支撑杆18，支撑杆18一端铰接于下腔体1外侧，另一端设有可拆卸卡扣连接于上腔体2外侧。

其中，收集槽3上设有液位检测装置24。

其中，上腔体2与下腔体1通过搭扣23扣合连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的清洗设备，将零件直接放置在带有台阶的环形工装上，零件的外圆端面接触在环形工装上，环形工装卡扣于清洗设备密封空间内的环形卡槽上，然后将水、化学药剂、研磨沙浆等介质在加压的作用下从密封空间顶部加入到密封空间内，这些介质通过零件上的小孔或异形孔及缝隙，从而达到使零件均衡受压下进行清洗的效果，调整泄压阀可以将施加的清洗介质的压力变为自由可控状态，通过该发明的使用，即能保证零件清洗时受力均匀，减少报废，同时提高清洗的效率，将人为因素影响降到最小。

附图说明

当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本实用新型以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定，其中：

图1是本实用新型的一种增压清洗设备闭合状态下的结构示意图；

图2是本实用新型的一种增压清洗设备敞开状态下的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-2所示，一种增压清洗设备，包括上腔体2及下腔体1，其中：

下腔体设于支架4上，上腔体2通过铰接件16铰接扣合于下腔体1上形成密封空间，上腔体2顶部设有空气入口13及入水口14，空气入口13连接连接进气管22，入水口14连接进水管8；下腔体1底部设有通气孔；

密封空间内设有设有环形工装10，环形工装10内周设有放置圆形零件9 的环形台阶，环形工装10水平卡扣于密封空间内壁上的环形台阶卡槽11上；

下腔体1下方设有收集槽3，收集槽3设于支架4上。

更优的，空气入口13及入水口14上均设有单向阀，防止倒流。

工作原理：零件9放置在环形工装10的环形台阶上，如图2所示，通常环形台阶高度低于环形工装的水平高度。然后将环形工装卡扣安装于密封空间内的环形卡槽上，这个环形卡槽优选水平设于下腔体内。这样环形工装将密封空间分割成了两部分，其中上部的顶部设有水和气体的入口，下部的底部设有通气孔。所以通过顶部输送进来的气体或者水由于带有压力，均衡通过零件上的小孔、异形孔及缝隙，同时将这些孔及缝隙中的杂质排出，达到清洗的效果。保证零件清洗时受力均匀，减少报废，同时提高清洗的效率，将人为因素影响降到最小。

环形工装外径配合环形卡槽的尺寸，内径及固定用的环形台阶按不同的零件尺寸加工，所以一个清洗设备可以配备多个环形工装，或者一个环形工装内周上一次设有不同高度的和尺寸的环形台阶。

在上述技术方案中，上腔体2顶部设有泄压口15，泄压口15设有泄压阀，泄压阀通过泄压管线17连接下腔体1底部的回流口19。泄压口15及泄压阀位于上腔体2上方，用于调整零件上方的压力，避免压力过大，并将泄压的清洗介质由泄压管线17通过回流口19流入下腔体1内。更优的，下腔体1在通气孔上游设有滤袋，回流口设于滤袋上方，泄压后的清洗介质由该口回流导流至下腔体1内的滤袋上方，经过滤后最终流入收集槽。

在上述技术方案中，上腔体2上设有压力表21，压力表21用于测量零件 9上方的压力，防止压力过高，同时便于调整泄压阀。

在上述技术方案中，进水管8一端连接入水口14，另一端连接收集槽3 底部出水口，进水管8上设有输送泵6及压力传感器7。输送泵6将收集槽内的介质通过进水管8输送至入水口14处，可以使清洗介质重复利用，避免浪费。更优的，压力传感器与输送泵连接，当压力低于设定值时，停止输送泵工作，避免空转。

在上述技术方案中，收集槽3底部设有排污口20。排放收集槽内的介质。优选的收集槽底部呈锥状，排污口设于锥形低端，便于清洗时收集槽内排放液体。

在上述技术方案中，下腔体1上设有行程开关12。用于检测上下腔体是否正确闭合，避免在上下腔体未闭合的状态时开启输送泵。

在上述技术方案中，下腔体1底部设有锥形的导流腔5，通气孔设于导流腔5底部。用于承接清洗后和泄压口回流的清洗介质(清洗介质为水、清洁剂、化学药剂、研磨液、抛光液、压缩空气，其中液体通过水管线输送循环，压缩空气通过气体管道输送)并导流至收集槽内，滤袋安装于导流腔内，用于过滤，从而达到循环使用，减少浪费。

在上述技术方案中，下腔体1外侧设有支撑杆18，支撑杆18一端铰接于下腔体1外侧，另一端设有可拆卸卡扣连接于上腔体2外侧。用于上下腔体张开时支撑上腔体，避免突然落下造成损伤，闭合时取下，类似汽车发动机盖支撑。

在上述技术方案中，收集槽3上设有液位检测装置24。液位检测装置包括液位传感器，液位传感器与输送泵连接，用于检测收集槽内的液位高度，当低于额定液位时，水泵不启动，避免空转。

在上述技术方案中，上腔体2与下腔体1通过搭扣23扣合连接。工业用高强度搭扣，在上下腔体闭合时起快速锁定作用。

在上述技术方案中，上腔体与下腔体之间设有密封圈，起到密封作用。

综上所述，本实用新型的清洗设备，将零件直接放置在带有台阶的环形工装上，零件的外圆端面接触在环形工装上，环形工装卡扣于清洗设备密封空间内的环形卡槽上，然后将水、化学药剂、研磨沙浆等介质在加压的作用下从密封空间顶部加入到密封空间内，这些介质通过零件上的小孔或异形孔及缝隙，从而达到使零件均衡受压下进行清洗的效果，调整泄压阀可以将施加的清洗介质的压力变为自由可控状态，通过该发明的使用，即能保证零件清洗时受力均匀，减少报废，同时提高清洗的效率，将人为因素影响降到最小。