一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，具体地讲，本实用新型涉及一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环。

背景技术：

在8寸和12寸半导体硅片以及部分光电材料的双面抛光制程中，为了维持抛光布的平整度、抛光效率和使用寿命，需要定期对抛光布进行修整；请查阅图1-图3，图1是传统金刚石丸片的结构示意图；图2是行星轮基体的结构示意图；图3是传统双面抛光机的抛光修整环的结构示意图；传统的修整方式是使用整体烧结或表面电镀或烧结金刚石的金刚石丸片a，将金刚石丸片a粘贴或使用螺丝固定于行星轮基体b的正反面，制作成丸片式双面抛光机抛光布修整环c，对抛光布进行修整。

但是传统的丸片式双面抛光机抛光布修整环有如下缺陷：

1、丸片粘贴或使用螺丝固定在行星轮基体上，丸片之间自身的厚度误差导致组装后的修整环的修整面高低不同，修整环平面度不好会影响抛光布修整的平面度；

2、丸片在其表面的金刚石颗粒固结强度较弱，金刚石颗粒很容易在对抛光布修整的过程中脱落从而嵌入、残留在抛光布上，从而增加晶片抛光划伤和破片的风险。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环，能够保证修整环主体的平整度，降低金刚石脱落的可能性，减少晶片划伤的风险。

技术实现要素：

为了解决现有技术的问题，本实用新型提供了一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环，能够保证修整环主体的平整度，降低金刚石脱落的可能性，减少晶片划伤的风险。

本实用新型专利提供了一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环，包括行星轮框架以及修整环主体，所述修整环主体呈环状一体成型结构，所述修整环主体表面固结有金刚石颗粒层，所述修整环主体的圆周方向上设有若干条形槽以及半圆形凹槽，所述行星轮框架的周缘上设有半圆形凸起部，所述半圆形凸起部的位置与所述半圆形凹槽的位置相应，当修整环主体放置在所述行星轮框架上时，所述行星轮框架上的半圆形凸起部卡入所述修整环主体上的半圆形凹槽内，以使所述修整环主体固定在所述行星轮框架上。

优选的，所述行星轮框架的周缘设有齿圈结构，所述半圆形凸起部为多个，均匀分布在所述行星轮框架的周缘上。

优选的，所述半圆形凹槽的数量与所述半圆形凸起部的数量一致，所述半圆形凹槽在所述修整环主体的周缘上均匀分布。

优选的，所述修整环主体的外直径略小于行星轮框架的外直径。

优选的，所述修整环主体的材质为不锈钢。

优选的，所述修整环主体的正反表面均固结有金刚石颗粒层。

优选的，所述条形槽为多个，均匀分布在所述修整环主体的圆周方向上。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是：

1、本实用新型提供的基于双面抛光机的分体式抛光布修整环，摒弃了传统将丸片粘贴在行星轮基体上的制作模式，将修整环主体制备为一体成型的环形结构，不会出现组装后的修整环的修整面呈现高低不同的现象，保证了修整环的平面度和厚度的一致性，使得抛光布的修整精度能够得到保证；

2、本实用新型中的金刚石颗粒层固结在修整环主体表面，表面烧结的金刚石颗粒层锐角外露，固结强度大，不易脱落，可以减少晶片划伤的风险；

3、采用分体式抛光布修整环，其行星轮框架以及修整环主体可以单独制作，加工方便，制备成本低，易于推广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型专利中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是传统金刚石丸片的结构示意图；

图2是传统行星轮基体的结构示意图；

图3是传统双面抛光机的抛光修整环的结构示意图；

图4是本实用新型中行星轮基体的结构示意图；

图5是本实用新型中修整环主体的结构示意图；

图6是本实用新型中分体式抛光布修整环的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。

上述及其它技术特征和有益效果，将结合实施例及附图对本实用新型的基于双面抛光机的分体式抛光布修整环进行详细说明。如图所示，图4是本实用新型中行星轮基体的结构示意图；图5是本实用新型中修整环主体的结构示意图；图6是本实用新型中分体式抛光布修整环的结构示意图。

如图4-6所示，本实用新型提供一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环，包括行星轮框架100以及修整环主体200。

其中，修整环主体200呈环状一体成型结构，修整环主体200的外直径略小于行星轮框架100的外直径，修整环主体200正反表面固结有金刚石颗粒层，金刚石颗粒层可通过烧结的方式固结在修整环主体200表面上，表面烧结的金刚石颗粒层锐角外露，固结强度大，不易脱落，可以减少晶片划伤的风险。

为了便于将修整环主体200固定在行星轮框架100上，修整环主体200的圆周方向上设有若干条形槽201以及半圆形凹槽202，修整环主体200的材质采用不锈钢材质，在制备时，保证修整环主体200的平面度和厚度。

此外，行星轮框架100的周缘上齿圈结构以及半圆形凸起部110，行星轮框架上的半圆形凸起部110卡入修整环主体上的半圆形凹槽202内，以使修整环主体200固定在行星轮框架100上。

其中，本实施例中的半圆形凸起部110为多个，均匀分布在行星轮框架100的周缘上，半圆形凹槽202的数量与半圆形凸起部110的数量一致，半圆形凹槽202在修整环主体200的周缘上均匀分布，本实施例中的半圆形凹槽202的弧度与半圆形凸起部110的弧度一致。

本实用新型提供的基于双面抛光机的分体式抛光布修整环，摒弃了传统将丸片粘贴在行星轮基体上的制作模式，将修整环主体制备为一体成型的环形结构，不会出现组装后的修整环的修整面呈现高低不同的现象，保证了修整环的平面度和厚度的一致性，使得抛光布的修整精度能够得到保证；此外，采用分体式抛光布修整环，其行星轮框架以及修整环主体可以单独制作，加工方便，制备成本低，易于推广。

虽然本实用新型主要描述了以上实施例，但是只是作为实例来加以描述，而本实用新型并不限于此。本领域普通技术人员能做出多种变型和应用而不脱离实施例的实质特性。例如，对实施例详示的每个部件都可以修改和运行，与所述变型和应用相关的差异可认为包括在所附权利要求所限定的本实用新型的保护范围内。

本说明书中所涉及的实施例，其含义是结合该实施例描述的特地特征、结构或特性包括在本实用新型的至少一个实施例中。说明书中出现于各处的这些术语不一定都涉及同一实施例。此外，当结合任一实施例描述特定特征、结构或特性时，都认为其落入本领域普通技术人员结合其他实施例就可以实现的这些特定特征、结构或特性的范围内。