一种CWDM滤光片的制作方法与流程

文档序号:18462496发布日期:2019-08-17 02:09阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种CWDM滤光片的制作方法,基底为蓝宝石;CWDM滤光片的制作方法包括如下步骤:S1、将蓝宝石基板进行第一次超声波清洗,清洗后进入镀膜腔室;S2、镀制主要膜系面;S3、出炉检测产品性能指标是否达标,如果符合进入S4,如果不符合则退镀并重新依次进入S1和S2;S4、经S3检测合格的产品进行第二次超声波清洗;S5、镀制另一面的增透膜,即可。本发明的CWDM滤光片的制作方法工艺简单,降低了成产成本,制备产品尺寸降低,产品的抗温飘能力强,在不用恶劣工作条件下仍能正常工作。

技术研发人员:许远飞;王忠德;周强;邹朋
受保护的技术使用者:天通(嘉兴)新材料有限公司
技术研发日:2019.06.04
技术公布日:2019.08.16
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