基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置的制作方法

文档序号:19106773发布日期:2019-11-12 22:47阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于包括:

薄膜生长机构,其具有用于容置钙钛矿前驱体液膜的结晶腔体;

负压发生机构,其与所述结晶腔体连接,并至少用于在所述结晶腔体内形成负压环境;

反溶剂容置机构,其至少用于容置反溶剂;

加热机构,所述加热机构与所述反溶剂容置机构导热连接,并至少用于使所述反溶剂容置机构内的反溶剂气化;

导气机构,其包括至少一条导气管,所述导气管分别与所述结晶腔体、反溶剂容置机构连接,反溶剂容置机构内形成的反溶剂气体能够沿所述导气管被输送至所述结晶腔体内。

2.根据权利要求1所述基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于:所述结晶腔体内的气压为100-1000Pa。

3.根据权利要求1所述基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于:所述负压发生机构包括真空泵。

4.根据权利要求1所述基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于:所述加热机构包括加热台,所述反溶剂容置机构设置在所述加热台的上方。

5.根据权利要求1所述基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于:所述导气管于结晶腔体内的出气口设置在所述结晶腔体的上方。

6.根据权利要求1或5所述基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于:所述导气管上还设置有开关阀。

7.根据权利要求1所述基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于还包括:防倒吸机构,其包括一缓冲腔体,所述缓冲腔体具有进气口和出气口,所述反溶剂容置机构经导气管与所述进气口连接,所述结晶腔体经与导气管与所述出气口连接。

8.根据权利要求1所述基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其特征在于:所述钙钛矿前驱体液膜或大面积钙钛矿薄膜的面积为1-2000cm2

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