基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置的制作方法

文档序号:19106773发布日期:2019-11-12 22:47阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,其包括:薄膜生长机构,其具有用于容置钙钛矿前驱体液膜的结晶腔体;负压发生机构,其与结晶腔体连接,并至少用于在结晶腔体内形成负压环境;反溶剂容置机构,其至少用于容置反溶剂;加热机构,加热机构与反溶剂容置机构导热连接,并至少用于使反溶剂容置机构内的反溶剂气化;导气机构,其包括至少一条导气管,导气管分别与结晶腔体、反溶剂容置机构连接。本实用新型提供的基于抽气法制备大面积钙钛矿薄膜的装置,结构简单,其能够制备形成大面积的钙钛矿薄膜,且制备形成的钙钛矿薄膜成膜均匀、质量高,适合规模化制备和生产。

技术研发人员:范利生;孙璇;瞿光胤;田清勇;范斌
受保护的技术使用者:苏州协鑫纳米科技有限公司;苏州协鑫能源技术发展有限公司
技术研发日:2019.01.22
技术公布日:2019.11.12

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