一种钢带镀膜系统的制作方法

本实用新型涉及钢带生产设备技术领域，尤其涉及一种钢带镀膜系统。

背景技术：

在现今的不锈钢行业中，常使用单体炉对钢板进行镀钛处理，而单体炉中使用的靶材有两种，一种是钛块靶，另一种是柱靶。钛块靶的靶材均匀分布在炉体侧边，安装方式为手动安装，比较耗费时间和人力，而且由于安装位置及靶材形状的限制，溅射范围有一定限制。柱靶的靶材安装需要用到行车进行吊装，安装费时间且有一定难度，对员工人身安全也存在一定威胁，而且柱靶的靶材消耗较快，经济性不高。

技术实现要素：

本实用新型提供一种能够有效节省人力物力，操作安全系数高，且镀膜致密性好，提高产品良率的钢带镀膜系统。

本实用新型采用的技术方案为：一种钢带镀膜系统，其包括：真空镀膜工艺室、导轨机构、以及靶材进出小车；所述导轨机构设置在所述真空镀膜工艺室的前方，并与所述真空镀膜工艺室呈垂直设置，所述靶材进出小车滑动安装于所述导轨机构上；

所述靶材进出小车包括车身、前轮、后轮、以及靶材安装机构；所述前轮安装于所述车身的底部前端，所述后轮安装于所述车身的底部后端，且所述前轮和所述后轮均位于所述导轨机构上；所述车身设有靶材固定部，所述靶材固定部垂直于所述车身设置，所述靶材安装机构安装于所述靶材固定部；

所述靶材安装机构包括电机、连接法兰盘、以及靶材安装柱；所述电机安装于所述靶材固定部，所述连接法兰盘安装于所述电机的输出轴，所述靶材安装柱与所述连接法兰盘连接，且所述靶材安装柱开设有固定孔。

进一步地，所述导轨机构上滑动左右并排安装有两台所述靶材进出小车。

进一步地，所述靶材固定部安装有多个所述靶材安装机构。

进一步地，所述真空镀膜工艺室连接有抽真空机构，所述抽真空机构包括真空泵以及真空管；所述真空管连接所述真空泵以及所述真空镀膜工艺室的内部。

进一步地，所述真空镀膜工艺室的外周安装有冷却水循环机构。

相较于现有技术，本实用新型的钢带镀膜系统通过设置靶材进出小车将靶管运输至真空镀膜工艺室，从而有效节省了大量的人力物力，而且还提高操作的安全性。此外，通过将靶材固定部垂直于车身设置，并将靶材安装机构安装于靶材固定部，将靶管安装于靶材安装机构，使之平行于靶材进出小车进出方向，使靶管恰好与真空镀膜工艺室内的钢带呈平行关系，从而使得镀膜时弧光溅射集中在钢带上，使得镀的膜致密性好，避免出现由于弧光溅射不稳定导致钢带色泽不均一的问题。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但不应构成对本实用新型的限制。在附图中，

图1：本实用新型钢带镀膜系统的示意图；

图2：本实用新型钢带镀膜系统的另一示意图；

图3：本实用新型靶材固定机构的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

如图1至图3所示，本实用新型的钢带镀膜系统包括真空镀膜工艺室1、导轨机构2、以及靶材进出小车3；其中，导轨机构2设置在真空镀膜工艺室1的前方，并与真空镀膜工艺室1呈垂直设置，靶材进出小车3滑动安装于导轨机构2上。

靶材进出小车3包括车身301、前轮302、后轮303、以及靶材安装机构；其中，前轮302安装于车身301的底部前端，后轮303安装于车身301的底部后端，且前轮302和后轮303均位于导轨机构2上。通过人力推动靶材进出小车3沿导轨机构2来回移动。进一步，车身301设有靶材固定部304，靶材固定部304垂直于车身301设置，靶材安装机构安装于靶材固定部304。

本实施例中，导轨机构2上滑动左右并排安装有两台靶材进出小车3，可以理解的，其它实施例中，可以在导轨机构2上左右并排安装三台以上的靶材进出小车3，或仅安装一台靶材进出小车3，靶材进出小车3的数量可以根据实际生产的需要进行设置，并不以此为限。

靶材安装机构包括电机4、连接法兰盘5、以及靶材安装柱6；其中，电机4安装于靶材固定部304内，连接法兰盘5安装于电机4的输出轴，并通过固定件7进行固定。靶材安装柱6与连接法兰盘5连接，且靶材安装柱6开设有固定孔8，将靶管a的一端套在靶材安装柱6上，然后通过固定销9穿过靶管a，插入固定孔8内，从而将靶管a固定。

本实施例中，靶材固定部304安装有多个靶材安装机构，可以理解的，其它实施例中，靶材固定部304也可以仅安装一个靶材安装机构，靶材固定机构数量可以根据实际生产的需要进行设置，并不以此为限。

真空镀膜工艺室1连接有抽真空机构以及冷却水循环机构10；其中，抽真空机构包括真空泵11以及真空管12；真空管12连接真空泵11以及真空镀膜工艺室1的内部，为真空镀膜工艺室1抽真空。冷却水循环机构10安装在真空镀膜工艺室1的外周，为真空镀膜工艺室1进行降温。

本实用新型的钢带镀膜系统的工作过程如下：

首先将靶管a安装于靶材固定机构，通过人力推动靶材进出小车3沿导轨机构2移动，将靶管a运送进真空镀膜工艺室1内，其中，靶材进出小车3的运输方向垂直于钢带的运行方向；靶管a进入真空镀膜工艺室1后采用螺栓锁紧；使得靶管a与真空镀膜工艺室1内的钢板呈平行关系，镀膜时，由电机4带动靶管a旋转，弧光均匀照射在钢带上，使得钢带上的镀膜均匀，颜色均一，且镀的膜致密性好。

综上，本实用新型的钢带镀膜系统具有以下优点：

1、通过设置靶材进出小车3将靶管a运输至真空镀膜工艺室1，从而有效节省了大量的人力物力，而且还提高操作的安全性。

2、通过将靶材固定部304垂直于车身301设置，并将靶材安装机构安装于靶材固定部304，将靶管a安装于靶材安装机构，使之平行于靶材进出小车3进出方向，使靶管a恰好与真空镀膜工艺室1内的钢带呈平行关系，从而使得镀膜时弧光溅射集中在钢带上，使得镀的膜致密性好，避免出现由于弧光溅射不稳定导致钢带色泽不均一的问题。

只要不违背本实用新型创造的思想，对本实用新型的各种不同实施例进行任意组合，均应当视为本实用新型公开的内容；在本实用新型的技术构思范围内，对技术方案进行多种简单的变型及不同实施例进行的不违背本实用新型创造的思想的任意组合，均应在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种钢带镀膜系统，其特征在于，包括：真空镀膜工艺室、导轨机构、以及靶材进出小车；所述导轨机构设置在所述真空镀膜工艺室的前方，并与所述真空镀膜工艺室呈垂直设置，所述靶材进出小车滑动安装于所述导轨机构上；

所述靶材进出小车包括车身、前轮、后轮、以及靶材安装机构；所述前轮安装于所述车身的底部前端，所述后轮安装于所述车身的底部后端，且所述前轮和所述后轮均位于所述导轨机构上；所述车身设有靶材固定部，所述靶材固定部垂直于所述车身设置，所述靶材安装机构安装于所述靶材固定部；

所述靶材安装机构包括电机、连接法兰盘、以及靶材安装柱；所述电机安装于所述靶材固定部，所述连接法兰盘安装于所述电机的输出轴，所述靶材安装柱与所述连接法兰盘连接，且所述靶材安装柱开设有固定孔。

2.如权利要求1所述的钢带镀膜系统，其特征在于：所述导轨机构上滑动左右并排安装有两台所述靶材进出小车。

3.如权利要求1所述的钢带镀膜系统，其特征在于：所述靶材固定部安装有多个所述靶材安装机构。

4.如权利要求1所述的钢带镀膜系统，其特征在于：所述真空镀膜工艺室连接有抽真空机构，所述抽真空机构包括真空泵以及真空管；所述真空管连接所述真空泵以及所述真空镀膜工艺室的内部。

5.如权利要求1所述的钢带镀膜系统，其特征在于：所述真空镀膜工艺室的外周安装有冷却水循环机构。

技术总结
本实用新型提供一种钢带镀膜系统，包括真空镀膜工艺室、导轨机构、以及靶材进出小车；导轨机构设置在真空镀膜工艺室的前方，并与真空镀膜工艺室呈垂直设置，靶材进出小车滑动安装于导轨机构上。靶材进出小车包括车身以及靶材安装机构；车身设有靶材固定部，靶材固定部垂直于车身设置，靶材安装机构安装于靶材固定部。靶材安装机构包括电机、连接法兰盘、以及靶材安装柱；电机安装于靶材固定部，连接法兰盘安装于电机的输出轴，靶材安装柱与连接法兰盘连接，且靶材安装柱开设有固定孔。本实用新型的钢带镀膜系统能够有效节省人力物力，操作安全系数高，且镀膜致密性好，提高产品良率。

技术研发人员：刘自然;卢威;陈元;郭碧云;何振;缪朴
受保护的技术使用者：肇庆宏旺金属实业有限公司
技术研发日：2019.09.03
技术公布日：2020.05.26