技术特征：
1.一种固体源化学品中间填充容器，其包括：近端；远端；在所述近端处的基底，所述基底被配置成在其中保持固体源化学品反应物，所述基底包括第一热导体且被配置成被维持处于或低于第一阈值温度；在所述远端处的盖，所述盖包括第二热导体且被配置成被维持处于或高于大于所述第一阈值温度的第二阈值温度，所述盖包括：化学品入口，其被配置成将汽化的化学品反应物接收到所述基底中；载气入口，其被配置成通过其接收载气流；以及化学品出口，其被配置成从所述盖传递汽化的化学品反应物；以及中间层，其安置于所述基底与所述盖之间，所述中间层包括被配置成减少所述基底与所述盖之间的热流的绝热体。2.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述中间层包括各自包括真空的一个或多个室。3.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述中间层被安置成与所述基底和所述盖接触。4.根据权利要求1所述的中间填充容器，还包括被配置成将所述基底维持处于或低于所述第一阈值温度的冷却元件。5.根据权利要求4所述的中间填充容器，其中所述冷却元件包括热耦合到所述基底的水冷却元件。6.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述第一阈值温度约为135℃。7.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述第二阈值温度约为145℃。8.根据权利要求1所述的中间填充容器，还包括被配置成将所述盖维持处于或高于所述第一阈值温度的加热元件。9.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述冷却元件包括热耦合到所述基底的水冷却元件。10.根据权利要求9所述的中间填充容器，其中所述加热元件包括被配置成经由辐射加热所述盖的杆或板。11.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述化学品入口、所述载气入口和所述化学品出口中的每一个包括被配置成控制通过其的气流的对应阀。12.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述化学品出口包括被配置成防止颗粒物传递通过的过滤器。13.根据权利要求12所述的中间填充容器，其中所述过滤器的孔隙度被配置成防止低于所述第二阈值温度的所述反应物传递通过且允许处于或高于所述第二阈值温度的所述反应物传递通过。14.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述过滤器包括陶瓷或金属中的至少一种。15.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述基底的高度与所述盖的高度的比率大于约4。
16.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述中间层被配置成维持所述盖与所述基底之间的至少10℃的温度梯度。17.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述盖的高度与所述中间层的高度的比率大于约2。18.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述基底的横截面包括至少两个平坦边缘。19.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述中间层包括陶瓷或金属。20.根据权利要求1所述的中间填充容器，其中所述中间填充容器被设定大小以原位安置于固体源化学品反应室中。