技术总结
本文公开了与固体源化学品中间填充容器有关的系统和方法。所述填充容器可包含近端、远端，以及被安置于所述近端处的被配置成在其中保持固体源化学品反应物的基底。所述中间填充容器还可包含在所述远端处的包括第二热导体的盖。所述盖可包含化学品入口、载气入口和化学品出口。所述填充容器还可包含安置于所述基底与所述盖之间的中间层。所述中间层可以包含被配置成减少所述基底与所述盖之间的热流的绝热体。的绝热体。
技术研发人员：P
受保护的技术使用者：ASMIP控股有限公司
技术研发日：2020.09.10
技术公布日：2021/3/25