一种能量可调谐的单双面激光冲击强化系统的制作方法

文档序号:24532076发布日期:2021-04-02 10:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种能量可调谐的单双面激光冲击强化系统,其特征在于,所述系统包括:激光器和依次设置在所述激光器出射光路上的偏振片、二分之一波片、偏振分光片;

所述激光器用于输出激光束至所述偏振片上;

所述偏振分光片用于将从所述二分之一波片的出射的激光束分为竖直偏振分光束和水平偏振分光束,并反射所述竖直偏振分光束,透射所述水平偏振分光束;

所述系统还包括旋转台、第一加工头和第二加工头;

所述二分之一波片设置在所述旋转台上,所述旋转台用于带动所述二分之一波片以所述激光束的传输方向为轴进行旋转;

所述第一加工头位于所述偏振分光片的反射光路上,用于利用所述竖直偏振分光束加工工件的第一面;所述第二加工头位于所述偏振分光片的透射光路上,用于利用所述水平偏振分光束加工所述工件上与所述第一面相对的第二面。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统还包括控制模块,所述控制模块用于控制所述旋转台旋转。

3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述系统还包括第一反射镜组和第二反射镜组;

所述第一反射镜组用于将所述偏振分光片反射的所述竖直偏振分光束的传输方向改变180度后送入所述第一加工头内;

所述第二反射镜组用于将所述偏振分光片透射的所述水平偏振分光束的传输方向改变90度后送入所述第二加工头内。

4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,所述系统还包括密封箱,所述密封箱设置在激光器的出光侧;所述旋转台、所述偏振片、所述二分之一波片和所述偏振分光片均位于所述密封箱内,所述第一加工头和所述第二加工头均位于所述密封箱外;

所述第一反射镜组包括位于所述密封箱内的第一反射镜、以及位于所述密封箱外的第二反射镜;

所述第二反射镜组包括位于所述密封箱内的第三反射镜、第四反射镜以及位于所述密封箱外的第五反射镜;

所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述第三反射镜、所述第四反射镜和所述第五反射镜均为45°反射镜。

5.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,所述系统还包括第一能量计;所述第一能量计设置在所述第一反射镜的透射光路上,用于检测透射过所述第一反射镜的激光能量;

所述控制单元用于在所述第一能量计检测的激光能量值与预设能量值不匹配时,控制所述旋转台旋转;

优选的,所述系统还包括显示模块,所述显示模块用于显示所述第一能量计检测的激光能量值;

优选的,所述系统还包括第二能量计;所述第二能量计设置在所述第三反射镜的透射光路上,用于检测透射过所述第三反射镜的激光能量。

6.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,所述系统还包括设置在所述密封箱外、且位于所述第一加工头远离所述第二加工头一侧的依次分布的第一密封舱、第一滤光片组、第一光学镜头和第一同轴ccd;所述第二反射镜位于所述第一密封舱内;所述第一光学镜头的焦距可调;

所述第一光学镜头与所述第一加工头的窗口片、聚焦镜组成第一光学成像镜头组;所述第一光学成像镜头组的物面为所述工件的第一面,像面为所述第一同轴ccd的感光面;

相应的,

所述系统还包括设置在所述密封箱外、且位于所述第二加工头远离所述第一加工头一侧的依次分布的第二密封舱、第二滤光片组、第二光学镜头和第二同轴ccd;所述第五反射镜位于所述第二密封舱内;所述第二光学镜头的焦距可调;

所述第二光学镜头与所述第二加工头的窗口片、聚焦镜组成第二光学成像镜头组;所述第二光学成像镜头组的物面为所述工件的第二面,像面为所述第二同轴ccd的感光面。

7.根据权利要求6所述的系统,其特征在于,所述系统还包括与所述控制模块均连接的第一活动底座和第二活动底座;

所述第一加工头设置在所述第一活动底座上;所述第二加工头设置在所述第二活动底座上;

所述控制模块用于控制所述第一活动底座运动,以带动所述第一加工头运动;并且控制所述第二活动底座运动,以带动所述第二加工头运动。

8.根据权利要求6所述的系统,其特征在于,所述第一密封舱的侧壁上设置有第一窗口片和第二窗口片;所述第一窗口片位于所述第二反射镜和所述第一加工头之间的光路上;所述第二窗口片位于所述第二反射镜与所述第一滤光片组之间;所述第一窗口片为透射镜,所述第二窗口片为滤波片;所述第一密封舱与所述密封箱通过第一光管密封连接;

相应的,

所述第二密封舱的侧壁上设置有第三窗口片和第四窗口片;所述第三窗口片位于所述第五反射镜和所述第二加工头之间的光路上;所述第四窗口片位于所述第五反射镜与所述第二滤光片组之间;所述第三窗口片为透射镜,所述第四窗口片为滤波片;所述第二密封舱与所述密封箱通过第二光管密封连接。

9.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,所述密封箱的相对两个侧壁上分别设置有进气口和排气口;

所述系统还包括送气模块;所述送气模块用于通过所述进气口向所述密封箱内输送气体,以使所述密封箱内的气压大于外界大气压;

优选的,所述气体为压缩空气、氦气或氮气中的一种。

10.根据权利要求4或9所述的系统,其特征在于,所述密封箱内还设置有气压传感器,所述气压传感器用于检测所述密封箱内的气压;

优选的,所述密封箱内还设置有温湿度传感器,所述温湿度传感器用于检测所述密封箱内的温度和湿度。


技术总结
本发明公开了一种能量可调谐的单双面激光冲击强化系统,属于激光冲击强化技术领域,能够解决现有双面激光冲击强化系统稳定性和可靠性较差、加工效果单一的问题。所述系统包括:激光器和依次设置在激光器出射光路上的偏振片、二分之一波片、偏振分光片偏振分光片用于将从二分之一波片的出射的激光束分为竖直偏振分光束和水平偏振分光束,并反射竖直偏振分光束,透射水平偏振分光束;二分之一波片设置在旋转台上,旋转台用于带动二分之一波片以激光束的传输方向为轴进行旋转;第一加工头用于利用竖直偏振分光束加工工件的第一面;第二加工头用于利用水平偏振分光束加工工件上与第一面相对的第二面。本发明用于工件的激光冲击强化加工。

技术研发人员:王吉;张文武
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:2020.11.25
技术公布日:2021.04.02
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