一种用于铸件生产加工的退火炉装置的制作方法

本实用新型涉及退火炉设备技术领域，具体为一种用于铸件生产加工的退火炉装置。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。为了提高退火炉的利用率，减少工艺完成后设备的降温时间，要求退火炉的最大降温速率不小于80℃/min。

传统的退火炉降温装置采用强冷风机结合水冷管道方法，在强冷风机的使用中，由于内部的送风管道出气口大部分采用垂直设置，所以冷气流在流动到炉内时会向上运动，这样会扰乱炉内的热气流流动，影响内部冷热气流的交换，导致内部降温速率较慢，影响降温的效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于铸件生产加工的退火炉装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于铸件生产加工的退火炉装置，包括退火炉固定装置，所述退火炉固定装置包括炉体，所述炉体下表面固定连接有固定脚，所述炉体右侧面开设有放置孔，所述放置孔内壁滑动连接有封盖，所述炉体下表面固定连接有支撑块一，所述支撑块一上表面固定连接有矩形环，所述矩形环内壁下表面固定连接有蜂窝网块，所述炉体上方设置有降温管道，所述降温管道上方设置有降温装置，所述降温管道包括送风管，所述送风管背侧面固定连接有连接管一，所述连接管一圆周侧面后端固定连接有连接管二，所述连接管二圆周侧面下端活动连接有支撑块二。

优选的，所述降温装置包括连接管三，所述连接管三内壁固定连接有管道固定块，所述管道固定块内壁固定连接有棉块和石墨块，所述连接管三上表面固定连接有连接管四，所述连接管四圆周侧面开设有出气孔，所述连接管四内壁上表面固定连接有锥形块，所述炉体正侧面贯穿固定连接送风管圆周侧面，所述矩形环右侧面固定连接炉体右侧面内壁，所述支撑块二下表面固定连接炉体下表面内壁，所述连接管二圆周侧面贯穿固定连接连接管三圆周侧面，所述连接管三圆周侧面贯穿活动连接矩形环下表面，所述连接管四圆周侧面贯穿活动连接蜂窝网块下表面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、该一种用于铸件生产加工的退火炉装置，使用者将整个装置放在合适的位置，炉体的内壁和矩形环的外壁形成了一个空腔，为退火炉的加热腔，内部设置有加热管道，使用者通过加热来进行整个装置的工作，退火炉固定装置为退火炉的固定装置，放置孔和封盖形成的拿取口，利于铸件的拿取，蜂窝网块为蜂窝网状固定架，可以将铸件放置在蜂窝网块上方，减少铸件下方与矩形环下表面的接触面积，使得加热和反应更加充分。

(2)、该一种用于铸件生产加工的退火炉装置，降温管道管道设置在炉体的上方，矩形环的下方，这样的设置可以使得冷气流从下方到上方的逐渐堆积，可以使得矩形环内部的热量更有序快捷的排除矩形环内部，管道呈u型降温装置位于连接管二的两端，分布在蜂窝网块的四角，由外向内，自下而上顺序的挤压上方热气流，将热气流从上方的管道带走，支撑块二为连接管二提供支撑力，减少降温管道工作时管道的震动，热气流从送风管进入，传递到连接管一中，再由连接管一传递到连接管二，结构简单，气流可以更加快速的传递。

(3)、该一种用于铸件生产加工的退火炉装置，冷气流从连接管二传递到连接管三中，再由连接管三传递到管道固定块中石墨块位于棉块上方，冷气流通过棉块和石墨块可以带走冷气流中的水分，减少水分对矩形环内部的铸件的影响，并且减少矩形环内壁的腐蚀，冷气流通过连接管四受到锥形块的挤压，从出气孔孔中流出，整个降温装置装置可以吸附冷气流中的水分，将冷气流传递到矩形环中，出气孔为横向开孔，使得冷气流更容易从矩形环底面向上堆积，避免内部气体流动的紊乱，加快降温速率。

附图说明

图1为本实用新型用于铸件生产加工的退火炉装置的正面结构示意图；

图2为本实用新型退火炉固定装置的剖面结构示意图；

图3为本实用新型降温管道的剖面结构示意图；

图4为本实用新型降温装置的正面结构示意图；

图5为本实用新型降温装置的剖面结构示意图。

图中：1退火炉固定装置、101炉体、102固定脚、103放置孔、104封盖、105支撑块一、106矩形环、107蜂窝网块、2降温管道、201送风管、202连接管一、203连接管二、204支撑块二、3降温装置、301连接管三、302管道固定块、303棉块、304石墨块、305连接管四、306出气孔、307锥形块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图5，本实用新型提供一种技术方案：一种用于铸件生产加工的退火炉装置，包括退火炉固定装置1，退火炉固定装置1包括炉体101，炉体101下表面固定连接有固定脚102，炉体101右侧面开设有放置孔103，放置孔103内壁滑动连接有封盖104，炉体101下表面固定连接有支撑块一105，支撑块一105上表面固定连接有矩形环106，矩形环106内壁下表面固定连接有蜂窝网块107，炉体101上方设置有降温管道2，降温管道2上方设置有降温装置3，降温管道2包括送风管201，送风管201背侧面固定连接有连接管一202，连接管一202圆周侧面后端固定连接有连接管二203，连接管二203圆周侧面下端活动连接有支撑块二204，降温装置3包括连接管三301，连接管三301内壁固定连接有管道固定块302，管道固定块302内壁固定连接有棉块303和石墨块304，连接管三301上表面固定连接有连接管四305，连接管四305圆周侧面开设有出气孔306，连接管四305内壁上表面固定连接有锥形块307，炉体101正侧面贯穿固定连接送风管201圆周侧面，矩形环106右侧面固定连接炉体101右侧面内壁，支撑块二204下表面固定连接炉体101下表面内壁，连接管二203圆周侧面贯穿固定连接连接管三301圆周侧面，连接管三301圆周侧面贯穿活动连接矩形环106下表面，连接管四305圆周侧面贯穿活动连接蜂窝网块107下表面，蜂窝网块107为蜂窝网状固定架，可以将铸件放置在蜂窝网块107上方，减少铸件下方与矩形环106下表面的接触面积，使得加热和反应更加充分。

工作原理：

第一步：使用者将整个装置放在合适的位置，炉体101的内壁和矩形环106的外壁形成了一个空腔，为退火炉的加热腔，内部设置有加热管道，使用者通过加热来进行整个装置的工作，退火炉固定装置1为退火炉的固定装置，放置孔103和封盖104形成的拿取口，利于铸件的拿取，蜂窝网块107为蜂窝网状固定架，可以将铸件放置在蜂窝网块107上方，减少铸件下方与矩形环106下表面的接触面积，使得加热和反应更加充分。

第二步：降温管道2管道设置在炉体101的上方，矩形环106的下方，这样的设置可以使得冷气流从下方到上方的逐渐堆积，可以使得矩形环106内部的热量更有序快捷的排除矩形环106内部，管道呈u型降温装置3位于连接管二203的两端，分布在蜂窝网块107的四角，由外向内，自下而上顺序的挤压上方热气流，将热气流从上方的管道带走，支撑块二204为连接管二203提供支撑力，减少降温管道2工作时管道的震动，热气流从送风管201进入，传递到连接管一202中，再由连接管一202传递到连接管二203，结构简单，气流可以更加快速的传递。

第三步：冷气流从连接管二203传递到连接管三301中，再由连接管三301传递到管道固定块302中石墨块304位于棉块303上方，冷气流通过棉块303和石墨块304可以带走冷气流中的水分，减少水分对矩形环106内部的铸件的影响，并且减少矩形环106内壁的腐蚀，冷气流通过连接管四305受到锥形块307的挤压，从出气孔306孔中流出，整个降温装置3装置可以吸附冷气流中的水分，将冷气流传递到矩形环106中，出气孔306为横向开孔，使得冷气流更容易从矩形环106底面向上堆积，避免内部气体流动的紊乱，加快降温速率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。