技术特征：
1.一种衬底处理设备，包括：第一板；第一板上的第二板；位置控制单元，其配置为改变第二板相对于第一板的相对位置；以及支撑单元，其配置为在支撑第二板的同时允许第二板移动。2.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述支撑单元配置为通过所述位置控制单元防止所述第二板的过约束状态。3.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述支撑单元包括弹性构件，其配置为产生根据所述第二板的移动而变化的弹性力。4.根据权利要求1所述的衬底处理设备，还包括：连接到所述第二板的衬底安装单元；以及连接到所述第一板的驱动单元，其中，由驱动单元移动的衬底安装单元的第一移动范围大于由所述位置控制单元移动的衬底安装单元的第二移动范围。5.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述位置控制单元包括竖直位置控制单元，其配置为相对于所述第一板竖直移动所述第二板。6.根据权利要求5所述的衬底处理设备，还包括：连接到所述第一板的支架，其中，所述竖直位置控制单元被固定到所述支架，并且配置为向所述第二板的上表面施加力。7.根据权利要求5所述的衬底处理设备，其中，所述支撑单元位于所述竖直位置控制单元下方。8.根据权利要求7所述的衬底处理设备，还包括：连接到所述第一板的下盖，其中，所述支撑单元通过第一板的通孔从所述下盖朝向所述第二板延伸，并且支撑单元的侧表面与通孔的侧表面分开。9.根据权利要求8所述的衬底处理设备，其中，所述支撑单元延伸穿过所述第二板的至少一部分，并且支撑单元的侧表面与第二板的侧表面分开。10.根据权利要求5所述的衬底处理设备，还包括：连接到所述第二板的衬底安装单元，并且所述位置控制单元还包括水平位置控制单元，其配置为相对于所述第一板水平移动第二板，其中，所述水平位置控制单元配置为对由所述竖直位置控制单元的移动引起的第二板的倾斜导致的所述衬底安装单元的水平移动执行补偿操作。11.根据权利要求10所述的衬底处理设备，其中，从所述第二板的中心到第二板和所述竖直位置控制单元之间的接触点的长度是第一长度，从第二板到所述衬底安装单元的长度是第二长度，并且
竖直位置控制单元在接触点移动第三长度，其中，所述水平位置控制单元配置为将第二板移动通过将第二长度乘以第三长度并除以第一长度获得的值。12.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述位置控制单元包括水平位置控制单元，其配置为相对于所述第一板水平移动所述第二板。13.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中，所述支撑单元布置在所述第二板的侧表面上。14.根据权利要求13所述的衬底处理设备，还包括：连接到所述第一板的第一支架，其中，所述水平位置控制单元被固定到所述第一支架，并且配置为向所述第二板的侧表面施加力。15.根据权利要求14所述的衬底处理设备，其中，所述支撑单元包括弹性构件和连接到弹性构件的弹性力传输单元，其中，所述弹性力传输单元配置为将由所述弹性构件产生的弹性力施加到所述第二板的侧表面。16.根据权利要求15所述的衬底处理设备，还包括：连接到所述第一板的第二支架，其中，所述弹性构件和弹性力传输单元插入到所述第二支架的容纳部分中，并且弹性力传输单元通过第二支架的容纳部分从第二支架的侧表面突出，并接触所述第二板的侧表面。17.根据权利要求16所述的衬底处理设备，其中，所述弹性力传输单元具有圆形端部，并且弹性力传输单元的该端部和所述水平位置控制单元的端部配置成在相同水平处接触所述第二板的侧表面。18.根据权利要求16所述的衬底处理设备，其中，所述弹性力传输单元包括：插入到所述弹性构件中的主体部分；连接到主体部分的圆形部分；以及从主体部分突出的延伸部，其中，所述延伸部与弹性构件接触。19.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中，所述水平位置控制单元包括布置在所述第二板的侧表面上的两个位置控制单元，其中，所述两个位置控制单元和支撑单元相对于第二板的中心对称布置，并且当两个位置控制单元朝向所述第一板的中心移动第一距离时，第二板朝向支撑单元移动第二距离，其中第二距离是第一距离的两倍。20.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述第二板包括第一突起、第二突起和第三突起，所述位置控制单元包括：第一突起上的第一位置控制单元；
第二突起上的第二位置控制单元；第三突起上的第三位置控制单元；与第一突起相邻的第四位置控制单元；以及与第二突起相邻的第五位置控制单元，并且所述支撑单元包括：与第三突起相邻的第一支撑单元；位于第一位置控制单元下方的第二支撑单元；位于第二位置控制单元下方的第三支撑单元；以及位于第三位置控制单元下方的第四支撑单元。21.一种衬底处理设备，包括：第一板，其包括第一支架、第二支架和第三支架；第二板，其布置在第一板上并包括第一突起、第二突起和第三突起；第一位置控制单元，其布置在第一支架和第一突起的上表面之间；第二位置控制单元，其布置在第二支架和第二突起的上表面之间；第三位置控制单元，其布置在第三支架和第三突起的上表面之间；第四位置控制单元，其布置在第一支架和第一突起的侧表面之间；第五位置控制单元，其位于第二支架和第二突起的侧表面之间；第一支撑单元，其位于第三支架和第三突起的侧表面之间；第二支撑单元，其位于第一位置控制单元下方；第三支撑单元，其位于第二位置控制单元下方；以及第四支撑单元，其位于第三位置控制单元下方。22.一种衬底处理设备，包括：第一板；第一板上的第二板；位置控制单元，其配置为相对于第一板移动第二板；以及支撑单元，其配置为通过位置控制单元提供弹性力以接收第二板的移动。
技术总结
一种能够解决在高温处理期间由于热变形或真空力引起的室部分的未对准问题的衬底处理设备，包括：第一板；第一板上的第二板；位置控制单元，其配置为改变第二板相对于第一板的相对位置；以及支撑单元，其配置为在支撑第二板的同时允许第二板移动。板的同时允许第二板移动。板的同时允许第二板移动。
技术研发人员：Y.郑 李主日 金大渊 H.B.蔡
受保护的技术使用者：ASMIP私人控股有限公司
技术研发日：2022.09.09
技术公布日：2023/3/16