一种安全系数高的气相沉积炉的制作方法

1.本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及一种安全系数高的气相沉积炉。


背景技术：

2.气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，而沉淀炉中炉体与炉盖的连接处大多会设置密封圈，以此进行密封，而常见的密封圈容易出现老化现象，并且炉门与炉体关闭后，使用者无法快速对其进行固定，往往需要先将插销插上，随后拧动螺栓对炉门进行加固，这种固定方式较为繁琐，并且安全系数较低，由于插销与插孔之间的连接并不稳定，故而容易使炉门被气压弹出伤到周围的使用者。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种安全系数高的气相沉积炉。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种安全系数高的气相沉积炉，包括炉体和铰接架，所述铰接架的一端固装在炉体的侧壁，所述铰接架的内部贯穿设置有转轴，所述铰接架通过转轴铰接有炉门，所述炉门的外表面固装有密封板，所述炉门的外表面分别开设有密封槽和组装槽，所述炉体的外表面分别固装有密封框和限位架，所述限位架的外表面开设有限位孔，所述组装槽的内部分别设置有弹簧和限位杆，所述限位杆的外表面固装有拉动架，所述拉动架的外表面固装有拉把。
5.为了对拉把进行限位，本实用新型改进有，所述炉门的外表面设置有限位组件，所述限位组件包括组装架、转动轴、扭簧、限位块和卡槽，所述组装架固装在炉门的外表面，所述扭簧套设在转动轴的外部，所述限位块通过转动轴铰接在组装架的外表面，所述卡槽开设在限位块的外表面。
6.为了增加炉体与炉门之间的密封性，本实用新型改进有，所述密封板的外表面与炉体的内壁滑动连接，所述密封框的外表面与密封槽的内壁滑动连接。
7.辅助孔的开设是为了对限位杆进行限位，本实用新型改进有，所述组装槽的内壁开设有辅助孔，所述限位杆的外表面分别与限位孔和辅助孔的内壁滑动连接。
8.为了让限位杆具有自动复位的功效，本实用新型改进有，所述弹簧的两端分别固装在组装槽的内壁和限位杆的外表面，所述拉动架的外表面与组装槽的内壁滑动连接。
9.为了方便带动限位块进行自动复位，本实用新型改进有，所述扭簧的两端分别固装在组装架和限位块的外表面，所述拉把的外表面与卡槽的内壁滑动连接。
10.为了增加坩埚底端空气流通的效率，本实用新型改进有，所述炉体的内部设置有辅助组件，所述辅助组件包括定位框、垫板、石棉网和支撑块，所述定位框固装在炉体的内壁，所述垫板固装在定位框的内壁，所述石棉网固装在垫板的内壁，所述支撑块固装在垫板的上表面。
11.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
12.1、本实用新型中，通过设置密封板、密封槽和密封框，能够增加炉体和炉门之间的密封性，通过设置限位架、限位孔、组装槽、弹簧、限位杆、拉动架和拉把，能够快速的对炉门进行限位，并且打开与关闭都非常方便，当炉体内部依旧存在气压时，由于气压通过炉门挤压限位杆，故而使用者拉动拉把时会产生很大的阻力，故而不会出现炉门被气压弹出伤到周围使用者的情况出现，从而提升了气相沉淀炉的安全性，通过设置限位组件，能够对拉把进行限位，从而完成对限位杆的限位，避免限位杆之间撞击在限位架上导致其出现错位的情况。
13.2、本实用新型中，通过设置辅助组件，能够增加坩埚放置在炉体内部的稳定性，增加坩埚底端空气流通的效率，提升燃烧效果。
附图说明
14.图1为本实用新型提出一种安全系数高的气相沉积炉的立体结构示意图；
15.图2为本实用新型提出一种安全系数高的气相沉积炉的立体结构展示图；
16.图3为本实用新型提出一种安全系数高的气相沉积炉的部分立体示意图；
17.图4为本实用新型提出一种安全系数高的气相沉积炉的部分立体剖视图；
18.图5为本实用新型提出一种安全系数高的气相沉积炉的部分立体侧视图。
19.图例说明：
20.1、炉体；2、铰接架；3、炉门；4、密封板；5、密封槽；6、密封框；7、限位架；8、限位孔；9、组装槽；10、弹簧；11、限位杆；12、拉动架；13、拉把；14、组装架；15、转动轴；16、扭簧；17、限位块；18、卡槽；19、定位框；20、垫板；21、石棉网；22、支撑块。
具体实施方式
21.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
22.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
23.实施例一
24.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种安全系数高的气相沉积炉，包括炉体1和铰接架2，铰接架2的一端固装在炉体1的侧壁，铰接架2的内部贯穿设置有转轴，转轴的设置，是为了将炉门3铰接在铰接架2的内部，铰接架2通过转轴铰接有炉门3，炉门3的外表面固装有密封板4，密封板4的设置，是为了对炉体1进行初步密封，密封板4的外表面与炉体1的内壁滑动连接，炉门3的外表面分别开设有密封槽5和组装槽9，炉体1的外表面分别固装有密封框6和限位架7，密封框6的外表面与密封槽5的内壁滑动连接，密封框6和密封槽5的相互配合，是为了对炉门3和炉体1进行再次密封，限位架7的外表面开设有限位孔8，组装槽9的内壁开设有辅助孔，限位杆11的外表面分别与限位孔8和辅助孔的内壁滑动连接，组装槽9的内部分别设置有弹簧10和限位杆11，弹簧10的设置，是为了让限位杆11具有
自动复位的功效，限位杆11的设置，是为了在与限位孔8的相互配合下对炉门3进行限位，弹簧10的两端分别固装在组装槽9的内壁和限位杆11的外表面，拉动架12的外表面与组装槽9的内壁滑动连接，限位杆11的外表面固装有拉动架12，拉动架12的外表面固装有拉把13，拉把13的设置，是为了通过拉动架12带动限位杆11进行移动。
25.请参阅图1、图2和图5，炉门3的外表面设置有限位组件，限位组件的设置，是为了对拉把13进行限位，限位组件包括组装架14、转动轴15、扭簧16、限位块17和卡槽18，组装架14固装在炉门3的外表面，扭簧16套设在转动轴15的外部，限位块17通过转动轴15铰接在组装架14的外表面，卡槽18开设在限位块17的外表面，扭簧16的两端分别固装在组装架14和限位块17的外表面，扭簧16的设置，是为了带动限位块17进行自动复位，拉把13的外表面与卡槽18的内壁滑动连接，卡槽18的设置，是为了将拉把13进行限位。
26.实施例二
27.请参阅图2，炉体1的内部设置有辅助组件，辅助组件的设置是为了提升对坩埚的加热效率，辅助组件包括定位框19、垫板20、石棉网21和支撑块22，定位框19固装在炉体1的内壁，垫板20固装在定位框19的内壁，石棉网21固装在垫板20的内壁，石棉网21的设置，是为了让火焰加热的更加均匀，支撑块22固装在垫板20的上表面，支撑块22的设置，是为了增加坩埚底端的空气流通速度。
28.工作原理：当需要使用炉体1时，先通过定位框19将坩埚放置在支撑块22的上方，接着转动限位块17，限位块17带动扭簧16进行扭曲，随后将拉把13相互拉动直至拉把13相互靠近，拉把13通过拉动架12带动限位杆11挤压弹簧10，弹簧10受力回缩，接着松开限位块17，在扭簧16回弹力的作用下带动限位块17进行复位，从而使拉把13嵌入卡槽18的内部，接着即可将炉门3关闭，直至密封板4嵌入炉体1的内部，将密封框6卡在密封槽5的内部，接着转动限位块17使拉把13脱离卡槽18，在弹簧10回弹力的作用下带动限位杆11弹出插入限位孔8的内部。
29.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。