一种具有双主阀结构的真空蒸镀机的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种具有双主阀结构的真空蒸镀机。


背景技术：

2.真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发膜料并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。在镀膜的过程中，需要先对真空蒸镀机的主腔体内抽真空，先进行初抽再进行精抽，主腔体与主阀连接，主阀内设置有抽真空泵用于精抽，由于镀膜时对真空度的要求高，在现有的抽真空泵条件下，主腔体不能太大，在有限的体积内为了容纳多个镀锅，势必会牺牲掉镀膜的均匀性，入射角较大。中国专利202121652584.2对此进行了改进，公开了一种具有双泵结构的真空蒸镀机，主阀内设置有两个抽真空泵，使得在抽速不变的情况下，主腔体的体积能够变得更大，入射角能够变小，镀膜更加均匀。
3.但是，第一方面，主阀内设置两个抽真空泵，该主阀的容积较大，而主腔体与主阀是相通的，主阀容积太大也会对抽真空效果造成影响。第二方面，主阀内的两个闷板，检修时是分别通过3个卡爪固定的，而整个主阀的检修口通常只有3个，检修口设置太多也不利于密封和降成本，因此，有些卡爪是人手通过检修口难以接触到的，应用时比较困难。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种具有双主阀结构的真空蒸镀机，减小了主阀的总容积，提高抽速，并且方便检修。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种具有双主阀结构的真空蒸镀机，减小了主阀的总容积，提高抽速，并且方便检修。
6.本技术的具有双主阀结构的真空蒸镀机，设计有两个主阀，一个主阀内分别设置有一个抽真空泵，每个主阀分别与一个冷泵连接，也分别与粗抽泵通过管道连接。与现有技术一个主阀内具有两个抽真空泵相比，若现有技术主阀的容积为0.51立方，那么本技术的主阀的总容积为0.28立方，容积降低约50％，主阀总容积降低后，在抽速不变的情况下可以进一步增加主腔体的体积，进一步减小镀锅的入射角，在主腔体体积不变的情况下可以进一步提高抽速，增加产能。两个闷板也分别设置在两个主阀内，每个主阀分别具有3个检修口，每个检修口正好对应卡爪的位置，并且对卡爪的结构进行了改进，检修方便。本技术人在此基础上完成了本技术。
7.一种具有双主阀结构的真空蒸镀机，真空蒸镀机的主腔体1与主阀2相通的连接固定，主阀2的内部设置有抽真空泵，抽真空泵用于对主腔体1和主阀2内部进行精抽，其特征在于，所述主阀2具有两个，两个主阀2分别与主腔体1连接固定，每个主阀2内各设置有一个抽真空泵，在两个主阀2的中心点的水平面上，这两个中心点分别与主腔体1的中心轴的连线形成夹角a，夹角a为20
°‑
35
°
，每个主阀2各具有三个检修口221，每个检修口221内各设置
有一个卡爪222，主阀2的内部具有闷板223，卡爪222竖直放置时闷板223能够上下运动，卡爪222水平放置时闷板223与主阀2的具有通孔的底板密封固定。
8.在一些实施方式中，所述主腔体1和主阀2均为中空结构，主腔体1与主阀2之间通过排气通口11相通，抽真空泵启动则主腔体1内的空气通过排气通口11进入主阀2内。
9.进一步的，所述两个主阀2均设置在主腔体1的后方并且与排气通口11的位置相对应，主腔体1与主阀2为独立的部件或者为一体式的。
10.进一步的，所述主腔体1为中空矩形体、中空球体或中空圆柱体中的一种，相应的，排气通口11为矩形或者弧形的通孔，主阀2与主腔体1的连接面为中空的矩形或者弧形。
11.进一步的，所述主腔体1与主阀2的连接处通过加强筋焊接，并且采用坡口焊接的方式，焊接牢固不易变形；所述主腔体1的外壁设置有冷却水管，冷却水管均匀分布在整个主腔体1的外壁上。
12.在一些实施方式中，所述主阀2包括与主腔体1固定的连接部21和设置有抽真空泵的主阀部22，连接部21与主阀部22均为中空的结构并且两者相通，所述连接部21的横截面为梯形，连接部21的与主腔体1固定的左侧面的高度大于与主阀部22固定的右侧面的高度。
13.进一步的，所述三个检修口221均匀设置在主阀部22的侧壁上，通过螺丝将盖板与检修口221密封固定，闷板223设置在主阀部22底部通孔的上方，所述闷板223为圆形薄板，闷板223通过连接杆与主阀2顶板上的气缸连接，气缸带动连接杆和闷板223上下运动。
14.进一步的，所述主阀2的底板的中部具有一通孔，闷板223的直径大于该底板通孔的直径，闷板223的下表面具有圆环形的密封槽和密封圈，密封圈设置在密封槽内，用于闷板223下压时与主阀2的底板密封。
15.在一些实施方式中，所述卡爪222包括固定块2221和两个l型锁定片2222，l型锁定片2222的水平端与检修口221固定，l型锁定片2222的竖直端通过螺丝与固定块2221侧面的螺孔固定，固定块2221竖直放置与两个l型锁定片2222固定时，固定块2221不与闷板223接触，固定块2221水平放置与两个l型锁定片2222固定时，固定块2221的前端与闷板223的上表面接触。
16.进一步的，所述闷板223的上表面对应所述固定块2221的位置具有凹陷部2231，固定块2221水平放置时固定块2221的前端与所述凹陷部2231的上表面接触。
附图说明
17.图1为本技术的具有双主阀结构的真空蒸镀机的结构示意图。
18.图2为本技术的具有双主阀结构的真空蒸镀机的另一结构示意图。
19.图3为本技术的具有双主阀结构的真空蒸镀机的主阀去除其中一个检修口的盖板后的结构示意图。
20.图4为本技术的图3中a的局部放大图。
21.图5为本技术的具有双主阀结构的真空蒸镀机的闷板和卡爪的结构示意图。
22.主要元件符号说明：
23.主腔体1、排气通口11、主阀2、连接部21、主阀部22、检修口221、卡爪222、固定块2221、l型锁定片2222、闷板223、凹陷部2231。
具体实施方式
24.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
25.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
26.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
27.实施例1：
28.参见图1和图2，一种具有双主阀结构的真空蒸镀机，真空蒸镀机的主腔体1与主阀2相通的连接固定，主阀2的内部设置有抽真空泵，抽真空泵用于对主腔体1和主阀2内部进行精抽，所述主阀2具有两个，两个主阀2分别与主腔体1连接固定，每个主阀2内各设置有一个抽真空泵，在两个主阀2的中心点的水平面上，这两个中心点分别与主腔体1的中心轴的连线形成夹角a，夹角a为25
°
，每个主阀2各具有三个检修口221，每个检修口221内各设置有一个卡爪222，主阀2的内部具有闷板223，卡爪222竖直放置时闷板223能够上下运动，卡爪222水平放置时闷板223与主阀2的具有通孔的底板密封固定。所述主腔体1和主阀2均为中空结构，主腔体1与主阀2之间通过排气通口11相通，抽真空泵启动则主腔体1内的空气通过排气通口11进入主阀2内。
29.所述两个主阀2均设置在主腔体1的后方并且与排气通口11的位置相对应，主腔体1与主阀2为为一体式的。所述主腔体1为中空圆柱体中，排气通口11为弧形的通孔，主阀2与主腔体1的连接面为中空的弧形。所述主腔体1与主阀2的连接处通过加强筋焊接，并且采用坡口焊接的方式，焊接牢固不易变形；所述主腔体1的外壁设置有冷却水管，冷却水管均匀分布在整个主腔体1的外壁上。
30.参见图3，所述主阀2包括与主腔体1固定的连接部21和设置有抽真空泵的主阀部22，连接部21与主阀部22均为中空的结构并且两者相通，所述连接部21的横截面为梯形，连接部21的与主腔体1固定的左侧面的高度大于与主阀部22固定的右侧面的高度。所述三个检修口221均匀设置在主阀部22的侧壁上，通过螺丝将盖板与检修口221密封固定，闷板223设置在主阀部22底部通孔的上方，所述闷板223为圆形薄板，闷板223通过连接杆与主阀2顶板上的气缸连接，气缸带动连接杆和闷板223上下运动。所述主阀2的底板的中部具有一通孔，闷板223的直径大于该底板通孔的直径，闷板223的下表面具有圆环形的密封槽和密封
圈，密封圈设置在密封槽内，用于闷板223下压时与主阀2的底板密封。
31.参见图4和图5，所述卡爪222包括固定块2221和两个l型锁定片2222，l型锁定片2222的水平端与检修口221固定，l型锁定片2222的竖直端通过螺丝与固定块2221侧面的螺孔固定，固定块2221竖直放置与两个l型锁定片2222固定时，固定块2221不与闷板223接触，固定块2221水平放置与两个l型锁定片2222固定时，固定块2221的前端与闷板223的上表面接触。所述闷板223的上表面对应所述固定块2221的位置具有凹陷部2231，固定块2221水平放置时固定块2221的前端与所述凹陷部2231的上表面接触。
32.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。