1.一种半导体阀门的加工系统,其特征在于,包括:
2. 根据权利要求1所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述分辨率增强模块,包括:
3.根据权利要求2所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述第一图像编码器和所述第二图像编码器为深度残差网络模型。
4.根据权利要求3所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述差分模块,进一步用于:
5.根据权利要求4所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述空间增强模块,进一步用于:
6.根据权利要求5所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述通道增强模块,包括:
7.根据权利要求6所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述加工控制结果生成模块,包括:
8.一种半导体阀门的加工方法,其特征在于,包括:
9. 根据权利要求8所述的半导体阀门的加工方法,其特征在于,将所述第一面的检测图像和所述第二面的检测图像分别通过基于自动编解码器的分辨率增强器以得到第一面像素增强图像和第二面像素增强图像,包括:
10.根据权利要求9所述的半导体阀门的加工方法,其特征在于,所述第一图像编码器和所述第二图像编码器为深度残差网络模型。