一种半导体阀门的加工系统及其方法与流程

文档序号:34266131发布日期:2023-05-25 07:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体阀门的加工系统,其特征在于,包括:

2. 根据权利要求1所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述分辨率增强模块,包括:

3.根据权利要求2所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述第一图像编码器和所述第二图像编码器为深度残差网络模型。

4.根据权利要求3所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述差分模块,进一步用于:

5.根据权利要求4所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述空间增强模块,进一步用于:

6.根据权利要求5所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述通道增强模块,包括:

7.根据权利要求6所述的半导体阀门的加工系统,其特征在于,所述加工控制结果生成模块,包括:

8.一种半导体阀门的加工方法,其特征在于,包括:

9. 根据权利要求8所述的半导体阀门的加工方法,其特征在于,将所述第一面的检测图像和所述第二面的检测图像分别通过基于自动编解码器的分辨率增强器以得到第一面像素增强图像和第二面像素增强图像,包括:

10.根据权利要求9所述的半导体阀门的加工方法,其特征在于,所述第一图像编码器和所述第二图像编码器为深度残差网络模型。


技术总结
本申请涉及半导体阀门智能加工领域,其具体地公开了一种半导体阀门的加工系统及其方法,其采用基于深度学习的人工智能检测技术,以通过图像编码器来提取半导体阀门的第一面的检测图像和第二面的检测图像中关于抛光质量的高维局部隐含特征信息,并以两者之间的差异特征分布信息作为分类器的输入来进行第一面和第二面的抛光质量之间的一致性是否符合预定要求的分类判断。这样,对于半导体阀门每个面的抛光质量进行分析与比较,以在发现半导体阀门各个面的精度一致性较差时及时采取二次加工,提高半导体阀门精度的一致性。

技术研发人员:张少特,张奇特,谭云培,袁兴泷,王兵正,谢万桥
受保护的技术使用者:杭州鄂达精密机电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/12
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