半导体封装件毛刺去除装置及方法与流程

文档序号:37155214发布日期:2024-02-26 17:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

4.根据权利要求2所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

5.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

6.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

7.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

8.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

9.根据权利要求8所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

10.根据权利要求8所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

11.根据权利要求8所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

12.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

13.根据权利要求12所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

14.根据权利要求13所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

15.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

16.根据权利要求15所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

17.根据权利要求15所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

18.根据权利要求1所述的半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,

19.一种半导体封装件毛刺去除方法,其特征在于,包括:

20.一种半导体封装件毛刺去除装置,其特征在于,包括:


技术总结
本发明提供一种能够去除在进行用于电磁波屏蔽的溅射工序后残留于半导体封装件上的毛刺的半导体封装件毛刺去除装置及方法,可以包括:倾斜旋转刷,为了能够将残留于半导体封装件的边沿部且整体上向水平方向突出形成的毛刺以及整体上向垂直方向突出形成的毛刺同时去除,以朝着所述半导体封装件的所述边沿部相对所述半导体封装件的底面以第一角度倾斜形成的倾斜旋转轴为中心进行轴旋转;和刷旋转装置,使所述倾斜旋转刷向一个方向或两个方向进行轴旋转。

技术研发人员:金丙根,姜泓求
受保护的技术使用者:细美事有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/25
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