一种高稳定性的低温真空镀膜设备的制作方法

本发明涉及表面处理的，特别是涉及一种高稳定性的低温真空镀膜设备。

背景技术：

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜装置包括镀膜腔体，镀膜腔体的底部固定连接有驱动机构，驱动机构连接镀膜腔体底部的转盘并带动转盘转动，转盘上固定有真空镀膜夹具，夹具上固定有工件，从而使工件在真空镀膜腔体内转动充分镀膜。

2、现有技术中的低温真空镀膜设备存在以下问题：操作人员需手动打开或者关闭真空腔体，手动将放置待镀膜材料的小车放入或者拉出到真空腔体中，手动的方式操作不便，增加了操作者的劳动强度。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本发明提供一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其结构简单，可自动打开真空腔体，并且可自动移动待镀膜材料的小车，减轻操作者的劳动强度。

2、本发明的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，包括：镀膜箱、箱门、驱动箱门动作的驱动机构、滑动在镀膜箱内的夹持器以及驱动夹持器移动的动力机构，箱门与镀膜箱滑动配合；

3、夹持器包括固定板，固定板上滑动有中轴，固定板上固定有导轨一，中轴固定在与导轨一滑动连接的滑块上；

4、中轴上转动安装有两根对称的夹爪，夹爪的一端为夹持端，另一端固定有导向轴，固定板上开设两个对称的通孔一，通孔一包括水平段和倾斜段，导向轴伸入至通孔一内，还包括固定在固定板上的直线机构一，直线机构一的作用是带动中轴进行滑动，直线机构一选用的是直线电机，直线机构一输出端与中轴连接。

5、进一步地，所述驱动机构包括固定在镀膜箱两侧的连接板，连接板上开设通孔二和通孔三，通孔二包括直线段和圆弧形段，通孔三与直线段平行，且圆弧形段的圆心与通孔三一端圆心重合；

6、箱门两端均固定有移动轴一和移动轴二，移动轴一穿过通孔二，移动轴二穿过通孔三；

7、驱动机构还包括可自转的支撑轴，支撑轴的两端均固定有驱动臂，驱动臂与移动轴一滑动配合。

8、进一步地，所述动力机构包括滑动在镀膜箱内部的滑板，固定板固定在滑板上；

9、动力机构还包括转动安装在镀膜箱上的驱动轴，驱动轴上固定有驱动杆一，驱动杆一另一端转动安装有驱动杆二，驱动杆二与滑板转动连接。

10、进一步地，还包括用于驱动支撑轴和驱动轴先后旋转的连接机构；

11、连接机构包括固定在镀膜箱上的直线机构二，直线机构二输出端固定有动力轴一和动力轴二；

12、支撑轴上固定有齿轮一，镀膜箱上滑动有与齿轮一啮合的齿条一，齿条一上固定有稳定板一，稳定板一上开设连通的通孔四和通孔五；

13、驱动轴上固定有齿轮二，镀膜箱上滑动有与齿轮二啮合的齿条二，齿条二上固定有稳定板二，稳定板二上开设连通的通孔六和通孔七；

14、动力轴一穿过通孔四，动力轴二穿过通孔六。

15、进一步地，移动轴一和移动轴二上均固定有固定环，固定环与连接板接触。

16、进一步地，镀膜箱的进出口侧设置环形槽，箱门上设置环形凸起，环形凸起上设置密封垫。

17、进一步地，镀膜箱的底部设置若干支腿。

18、进一步地，驱动轴与驱动杆一之间设置有键。

19、与现有技术相比本发明的有益效果为：本装置可自动打开箱门，并可自动将放置镀膜零件的小车移进和移出镀膜箱，减轻了操作者的劳动强度，效率更高。

技术特征：

1.一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜箱（1）、箱门（2）、驱动箱门（2）动作的驱动机构、滑动在镀膜箱（1）内的夹持器以及驱动夹持器移动的动力机构，箱门（2）与镀膜箱（1）滑动配合；

2.如权利要求1所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动机构包括固定在镀膜箱（1）两侧的连接板（11），连接板（11）上开设通孔二和通孔三（12），通孔二包括直线段（13）和圆弧形段（14），通孔三（12）与直线段（13）平行，且圆弧形段（14）的圆心与通孔三（12）一端圆心重合；

3.如权利要求2所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，所述动力机构包括滑动在镀膜箱（1）内部的滑板（19），固定板（3）固定在滑板（19）上；

4.如权利要求3所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，还包括用于驱动支撑轴（17）和驱动轴（21）先后旋转的连接机构；

5.如权利要求4所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，移动轴一（15）和移动轴二（16）上均固定有固定环（35），固定环（35）与连接板（11）接触。

6.如权利要求5所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，镀膜箱（1）的进出口侧设置环形槽，箱门（2）上设置环形凸起（36），环形凸起（36）上设置密封垫（37）。

7.如权利要求6所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，镀膜箱（1）的底部设置若干支腿。

8.如权利要求7所述的一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其特征在于，驱动轴（21）与驱动杆一（22）之间设置有键。

技术总结
本发明涉及表面处理的技术领域，特别是涉及一种高稳定性的低温真空镀膜设备，其结构简单，可自动打开真空腔体，并且可自动移动待镀膜材料的小车，减轻操作者的劳动强度；包括：镀膜箱、箱门、驱动箱门动作的驱动机构、滑动在镀膜箱内的夹持器以及驱动夹持器移动的动力机构，箱门与镀膜箱滑动配合；夹持器包括固定板，固定板上滑动有中轴，固定板上固定有导轨一，中轴固定在与导轨一滑动连接的滑块上；中轴上转动安装有两根对称的夹爪，夹爪的一端为夹持端，另一端固定有导向轴，固定板上开设两个对称的通孔一，通孔一包括水平段和倾斜段，导向轴伸入至通孔一内，还包括固定在固定板上的直线机构一，直线机构一的作用是带动中轴进行滑动。

技术研发人员：姜佑霖,董发
受保护的技术使用者：昊石新材料科技南通有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/8