1.一种超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：包括
2.根据权利要求1所述的超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：所述底部加热件(22)沿所述内胆(11)底部环向设置至少两圈加热器。
3.根据权利要求2所述的超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：所述底部加热件(22)的两圈加热器包含内圈加热器(221)以及外圈加热器(222)，所述内圈加热器(221)与所述外圈加热器(222)功率比可设置成1：1.5-1：2之间。
4.根据权利要求1所述的超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：所述主加热件(21)包含多个沿所述内胆(11)周向加热器，所述加热器分为上下两段，即上加热器(211)和下加热器(212)；
5.根据权利要求4所述的超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：所述上加热器(211)和下加热器(212)功率相当，可设置成180-200kw；
6.根据权利要求1所述的超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：还包括送气装置(3)，所述送气装置(3)用于对所述内胆(11)内部进行输送碳源气体，主要包括设置在所述内胆(11)底部的底部送气件(31)，所述底部送气件(31)包含多个沿内胆(11)底部均匀设置的分料柱(311)，所述分料柱(311)为贯穿所述内胆(11)底部的圆管，所述粉料住沿所述内胆(11)底部均匀设置成三圈，随直径增大的每圈所述分料柱(311)数量比可设置成1：2：3。
7.根据权利要求6所述的超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：所述送气装置(3)还包含设置在所述加热腔(112)内的引气件(32)，所述引气件(32)包含引气管(321)和分气罩(322)，所述分气罩(322)设置在所述加热腔(112)上部，所述加热腔(112)上侧壁开设供所述分气罩(322)安装的安装孔(1121)，所述分气罩(322)内部中空，外侧壁均匀设置多个送气孔(3221)，所述送气孔(3221)为通孔联通所述分气罩(322)内部与所述内胆(11)内部的沉积室(111)，所述分气罩(322)底壁开设供所述引气管(321)穿设的孔，所述引气管(321)从所述沉积炉底部将气体引所述分气罩(322)内部，再由所述分气罩(322)开设的送气孔(3221)从所述沉积炉上部送出。
8.根据权利要求1所述的超大尺寸化学气相沉积炉，其特征在于：所述内胆(11)为木模一体化成型的碳纤维预制件，所述外筒(12)为不锈钢拼接后焊接件。