单元10的插入开口 12处。
[0153]低位置允许板212装载和卸载坩祸110、120。
[0154]一旦坩祸110在板212上就位，板212便由于活塞212A而竖直向上移动并因此使i甘祸110通过穿过蒸发单元10的插入开口 12来与蒸发室100接合。
[0155]装载腔室200还包括转盘211，该转盘在装载室200中安装成围绕旋转轴线21IA转动，从而允许驱动转盘211旋转。
[0156]该转盘211用来接纳坩祸以将其装载到板212上和从板212卸载。
[0157]转盘211的角位置由电机(未示出)控制，所述电机被先导控制成与板212和其工作的活塞212A相对地连续运送装载在板212上的各坩祸110、120。
[0158]由转盘211和板212构成的系统是特别有利的，因为它为给定数量的坩祸提供了小型化。因此，可限制装载室200的尺寸和与装载室200连接的附加栗222的抽吸能力。
[0159]设置了热屏蔽装置，其设置在蒸发单元10的外封壳11与装载室200之间。
[0160]更精确地，这些热屏蔽装置这里包括连接凸缘8，该连接凸缘允许将外封壳11的下壁Iic附接在装载室200的上壁上。该连接凸缘8这里包括盘管网络，冷却液(水、氮等)在该盘管网络中循环。
[0161]该连接凸缘8尤其允许将蒸发室100与装载室200热隔离并避免由蒸发单元10的不同加热装置16发出的热对设置在装载室200中的坩祸110、120具有干扰作用，并且反之亦然，用以不干扰蒸发期间坩祸110、120中的热梯度。
[0162]这样一来，可在第一坩祸110热时“在热状态下”从蒸发室100移除第一坩祸110而不等待其冷却。一移除第一坩祸110，就可随即将第二坩祸120导入蒸发室100中，并且该第二坩祸120 —旦达到温度，就可恢复蒸发。
[0163]此外，借助于热屏蔽装置8，可以在第一坩祸110处于蒸发过程中的同时将第二坩祸120装载到装载室200中，并且这不论加热第一坩祸110的蒸发装置131、132的发热量多大。该发热对位于装载室200中的第二坩祸120没有明显和有害的热影响。特别地，坩祸120中存在的待蒸发的材料7的温度保持低于材料7的蒸发温度。
[0164]在该第二实施例中，用于关闭插入开口 12的关闭装置因此由设置有其外周垫片212B的板212构成，所述垫片与封闭板105的垫片105A相同。
[0165]这种蒸发单元10的一个主要优点在于，由于装载室200的使用，在将新坩祸接合在蒸发室100中期间，尤其由于在坩祸导入蒸发室100中之前将对围合封壳202抽真空的附加栗，密闭在具有坩祸110、120的内封壳100中的空气的压力可远低于大气压力。
[0166]使用具有装载室200的蒸发单元10的另一个优点在于，该沉积方法的中断时间缩短，因为装载室200的再装载可在与蒸发室100接合的坩祸的蒸发期间完成，并且可由于加热电阻器206而完成装载在装载室200中的坩祸的蒸发条件的事先设置。这样一来，在坩祸接合到蒸发室100中之后更快地获得蒸气流。
[0167]最后，甚至可利用包括均设置有它们各自的断流阀的若干蒸发室的蒸发单元来完全抑制中断时间。
[0168]这样一来，可在仍充有材料的坩祸处于蒸发过程中的同时更换空坩祸。
【主权项】
1.一种蒸发单元(10)，其用于使材料(7)蒸发以使所述材料沉积在置于真空沉积室(20)中的基材(2)上，所述蒸发单元包括: -界定蒸发室(100)的内封壳，所述蒸发室适合接纳容纳待蒸发的材料(7)的坩祸(110)，该内封壳(100)具有用于将所述坩祸(110)插入所述蒸发室(100)中的插入开口(12)， -蒸发装置(101，131，132)，所述蒸发装置设置于所述内封壳(100)的外周并且适合当所述坩祸(110)被接纳在所述蒸发室(100)中时将所述坩祸(110)置于蒸发状态下以用于容纳在所述坩祸(110)中的材料(7)的蒸发， -喷射管道(14)，所述喷射管道适合将已蒸发的材料(7)的蒸气流(3)从所述蒸发室(100)输送至位于所述真空沉积室(20)中的喷射器(13)，和 -设置在所述喷射管道(14)上的断流阀(17)， 其特征在于，所述蒸发单元包括: -用于关闭所述蒸发单元(10)的内封壳(100)的所述插入开口(12)的关闭装置(105，105A)，这种关闭装置(105，105A)具有: -允许所述坩祸(110)插入所述蒸发室(100)中的开启构型，和 -封闭构型，在所述封闭构型下所述蒸发室(100)被围合并且在所述断流阀(17)打开时经由所述喷射管道(14)与所述真空沉积室(20)连通，和 -开启装置(18)，所述开启装置适合在坩祸(110)的包壳(111，112，115，116)中提供蒸发开口，所述坩祸(110)充填有待蒸发的材料(7)并且在开启之前维持在真空下，所述蒸发开口允许将所述坩祸(110)置于与所述蒸发室(100)连通。2.根据权利要求1所述的蒸发单元(10)，其中，当所述插入开口(12)被处于封闭构型下的所述关闭装置(105，105A)关闭时以及当在插入之后所述坩祸(110)被接纳在所述蒸发室(100)中时，所述蒸发室(100)和所述坩祸(110)各自的尺寸被调节成使得介于所述蒸发单元(10)的所述内封壳(100)与所述坩祸(110)的所述包壳之间的残留容积(109)低于所述坩祸(110)的内部容积(119)。3.根据权利要求1所述的蒸发单元(10)，其中，当所述插入开口(12)被关闭并且所述坩祸(110)被接纳在所述蒸发室(100)中时，所述蒸发室(100)和所述坩祸(110)各自的尺寸被调节成使得介于所述蒸发单元(10)的所述内封壳(100)与所述坩祸(110)的所述包壳之间的所述残留容积(109)和由所述喷射管道(14)的介于所述蒸发室(100)与所述断流阀(17)之间的部分界定的附加容积(159)之和低于所述坩祸(110)的内部容积(119)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的蒸发单元(10)，包括包封所述内封壳(100)、所述蒸发装置(101，131，132)和所述断流阀(17)的外封壳(11)，并且具有与所述内封壳(100)的所述插入开口(12)相对或合并的通过开口，以允许所述坩祸(110)通过从而将所述坩祸(I1)插入所述蒸发室(100)中。5.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，用于关闭所述蒸发单元(10)的所述关闭装置(105，105A)在所述坩祸(110)插入所述蒸发室(100)中时从所述关闭装置的开启构型转入所述关闭装置的封闭构型。6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，用于关闭所述蒸发单元(10)的所述关闭装置(105，105A)包括封闭板(105)，所述封闭板(105)设置有用于实现所述封闭板(105)与所述内封壳(100)之间的紧密性的垫片元件(105A)。7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，用于开启所述蒸发单元(10)的所述开启装置(18)包括穿孔针，所述穿孔针用于刺穿抽真空后的所述坩祸(110)的包壳的紧密的隔膜密封件(116)。8.根据权利要求1至7中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，设置有用于抽吸所述内封壳(100)的附加抽吸装置(141，143)，所述附加抽吸装置适合对所述蒸发室(100)抽真空。9.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，设置有用于使所述内封壳(100)排气的排气装置(141，142)，所述排气装置适合使所述蒸发室(100)再充气。10.根据权利要求1至9中任一项所述的蒸发单元(10)，还包括与所述蒸发室(100)邻近的、用于所述坩祸(I1)与所述蒸发室(100)的接合/分离的装载室(200)，所述装载室(200)经所述插入开口(12)与所述蒸发室(100)连通。11.根据权利要求10所述的蒸发单元(10)，其中，还设置了热屏蔽装置(8)，所述热屏蔽装置设置在所述外封壳(11)与所述装载室(200)之间并且适于将所述蒸发室(100)与所述装载室(200)热隔离。
【专利摘要】本发明涉及一种蒸发单元，其用于将材料蒸发到设置在真空沉积室中的基材上并且包括：内封壳，内封壳界定接纳容纳材料的坩埚的蒸发室并具有用于将坩埚插入蒸发室中的开口；蒸发装置，蒸发装置设置于内封壳的外周以将坩埚置于蒸发状态；喷射管道，喷射管道用以将蒸发后的材料的蒸气流从蒸发室输送到位于真空沉积室中的喷射器；和设置在喷射管道上的断流阀。根据本发明，该蒸发单元包括插入开口的关闭装置和开启装置，关闭装置具有用于将坩埚插入蒸发室中的开启构型和蒸发室被围合并经由喷射管道与真空沉积室连通的封闭构型，开启装置用于在坩埚的包壳中提供蒸发开口，坩埚充填有待蒸发的材料并维持在真空下以使得坩埚于是与蒸发室连通。
【IPC分类】C23C14/24
【公开号】CN105002463
【申请号】CN201510195738
【发明人】D·埃斯特韦, F·施特梅伦
【申请人】瑞必尔
【公开日】2015年10月28日
【申请日】2015年4月23日
【公告号】EP2937443A1, US20150307984