一种用于oled蒸镀的金属遮罩及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种金属蒸镀技术，尤其涉及一种用于OLED蒸镀的金属遮罩及其制造方法。
【背景技术】
[0002]近年来，有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de，0LED)显示器以轻薄、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、亮度高、功耗低以及耐高低温等诸多优点而被业界认为是继液晶显示器(Liquid Crystal Display，IXD)之后的新型显示技术，OLED显示器可广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。
[0003]在现有技术中，对OLED进行蒸镀是在真空室内，将作为处理对象的OLED基板朝向下安装其蒸镀面，当蒸镀用的金属遮罩配置在OLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间时，将蒸镀源加热以使蒸镀材料蒸发，并经由金属遮罩的开口部使其附着于OLED基板表面而进行蒸镀。例如，当前的OLED蒸镀使用精细金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)，考虑到张网方式和蒸镀制程的便利，精细金属遮罩的金属框(Frame)往往是镂空的，然后在镂空的金属框上逐一张网焊接形成水平方向的遮蔽部(Cover)，接着在遮蔽部的上方沿垂直方向形成支撑条(Howling)，并在平行于遮蔽部的方向上设置多个金属条(Mask Sheet)，藉由遮蔽部来遮挡相邻的两个金属条之间的间隙，并使用支撑条从而支撑这些金属条。然而，由于在镂空的金属框上方层叠了一定数量的遮蔽部、支撑条和金属条，这些金属条将对下方的金属框形成往内拉的作用力，此时的金属框强度不足，容易产生形变从而影响蒸镀结果。
[0004]有鉴于此，如何设计一种用于OLED蒸镀的金属遮罩或对现有的金属遮罩进行改进，以消除现有技术中的缺陷和不足，是业内相关技术人员亟待解决的一项课题。
【发明内容】
[0005]针对现有技术中的金属遮罩因强度不足从而出现变形的上述缺陷，本发明提供了一种新颖的用于OLED蒸镀的金属遮罩及其制造方法。
[0006]依据本发明的一个方面，提供了一种用于OLED蒸镀的金属遮罩，包括:
[0007]一金属框；
[0008]多个遮蔽部，每个遮蔽部彼此平行且沿水平方向形成于所述金属框的上方；
[0009]多个支撑条，每个支撑条彼此平行且沿垂直方向形成于所述遮蔽部的上方；以及
[0010]多个金属条，与所述遮蔽部平行设置，且位于所述支撑条的上方，其中，所述遮蔽部用以遮蔽相邻的两个金属条之间的间隙，所述支撑条用以支撑所述金属条，所述金属框还包括一横梁，所述横梁沿水平方向延伸，藉由所述横梁来抵抗所述金属条对所述金属框的内拉作用力，从而防止所述金属框产生形变。
[0011]在其中的一实施例，所述金属框与所述横梁为一体成型方式制作而成。
[0012]在其中的一实施例，所述横梁的截面形状为倒三角形。
[0013]在其中的一实施例，所述横梁的截面形状为矩形或“T”形。
[0014]在其中的一实施例，所述支撑条的厚度介于30微米至50微米之间。
[0015]在其中的一实施例，所述金属条的厚度介于20微米至40微米之间。
[0016]依据本发明的另一个方面，提供了一种用于OLED蒸镀的金属遮罩的制造方法，包括以下步骤:
[0017]提供一金属块；
[0018]对所述金属块进行切割以形成一金属框，该金属框包括一横梁，所述横梁横跨于所述金属框的相对两侧且沿水平方向延伸；
[0019]沿水平方向形成一遮蔽部于所述金属框的上方；
[0020]沿垂直方向形成一支撑条于所述遮蔽部的上方；以及
[0021]形成多个金属条于所述支撑条的上方，所述金属条与所述遮蔽部平行，其中，所述金属遮罩藉由所述横梁来抵抗所述金属条对所述金属框的内拉作用力，从而防止所述金属框产生形变。
[0022]在其中的一实施例，所述横梁的截面形状为倒三角形。
[0023]在其中的一实施例，所述横梁的截面形状为矩形或“ T ”形。
[0024]采用本发明的用于OLED蒸镀的金属遮罩及其制造方法，该金属遮罩包括带横梁的金属框、遮蔽部、支撑条和多个金属条，遮蔽部沿水平方向形成于金属框的上方，支撑条沿垂直方向形成于遮蔽部的上方，这些金属条与遮蔽部平行设置且位于支撑条的上方。遮蔽部用以遮蔽相邻的两个金属条之间的间隙，支撑条用以支撑这些金属条。相比于现有技术，本发明可藉由沿水平方向延伸的横梁来抵抗金属条对金属框的内拉作用力，增强金属框的强度，减少因金属条的拉力造成的金属框形变量，从而提高蒸镀品质。
【附图说明】
[0025]读者在参照附图阅读了本发明的【具体实施方式】以后，将会更清楚地了解本发明的各个方面。其中，
[0026]图1不出现有技术中的一种用于OLED蒸镀的金属遮罩的结构不意图；
[0027]图2示出图1的金属遮罩中，位于上方的金属条对位于下方的金属框产生内拉作用力的状态不意图；
[0028]图3示出依据本发明的一实施方式，用于OLED蒸镀的金属遮罩的制造方法的流程框图；
[0029]图4A示出采用图3的制造方法所形成的金属遮罩中的金属框的立体视图；
[0030]图4B示出图4A的金属框的俯视图；
[0031]图4C不出图4B的金属框沿直线D-D’切开后的截面不意图；
[0032]图4D示出图4A的金属框的横梁的截面形状的一具体实施例；
[0033]图5A示出依据本发明另一实施方式的金属遮罩中，金属框的横梁的截面形状的一具体实施例；以及
[0034]图5B示出依据本发明又一实施方式的金属遮罩中，金属框的横梁的截面形状的一具体实施例。
【具体实施方式】
[0035]为了使本申请所揭示的技术内容更加详尽与完备，可参照附图以及本发明的下述各种具体实施例，附图中相同的标记代表相同或相似的组件。然而，本领域的普通技术人员应当理解，下文中所提供的实施例并非用来限制本发明所涵盖的范围。此外，附图仅仅用于示意性地加以说明，并未依照其原尺寸进行绘制。
[0036]下面参照附图，对本发明各个方面的【具体实施方式】作进一步的详细描述。
[0037]图1示出现有技术中的一种用于OLED蒸镀的金属遮罩的结构示意图。图2示出图1的金属遮罩中，位于上方的金属条对位于下方的金属框产生内拉作用力的状态示意图。
[0038]参照图1和图2，现有的OLED蒸镀使用精细金属遮罩(Fine Metal Mask, FMM) 10，其包括一金属框(Frame) 100、多个遮蔽部(Cover) 102、多个支撑条(Howling) 104以及多个金属条(Mask sheet) 106。具体而言，遮蔽部102沿水平方向形成于金属框100的上方。支撑条104沿垂直方向形成于遮蔽部102的上方。多个金属条106与遮蔽部102平行设置且位于支撑条104的上方。其中，遮蔽部102用以遮蔽相邻的两个金属条106之间的间隙，如图2所示，位于相邻的两个金属条106A、106B之间的遮蔽部102可遮蔽这两个金属条之间的间隙。此外，金属条下方的遮蔽部102和支撑条104还可起到支撑作用。例如，支撑条104的厚度可介于30微米至50微米之间。金属条106的厚度可介于20微米至40微米之间。
[0039]如前所述，为了张网方式和蒸镀制程的便利，精细金属遮罩10的金属框100往往是镂空的，从而在镂空的金属框100上逐一拉伸、焊接形成水平方向的遮