成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体，本发明的分隔壁构造体在成膜装置的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连，使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地对置。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜装置具备一对分隔壁，前述一对分隔壁被固定于腔室，在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置，分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面，掩模安装在分隔壁的外侧面上，分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。
【专利说明】
成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体
技术领域
[0001]本发明涉及在基材的表面进行成膜的成膜装置、以及在该成膜装置中在腔室内部形成成膜区的分隔壁构造体。
【背景技术】
[0002]以往，在卷绕在成膜辊上的带状的基材的表面连续地进行成膜的成膜装置中，有下述成膜装置:在腔室内部形成多个成膜区，能够针对各成膜区以个别的成膜条件(例如，压力、材料气体的成分等)进行成膜。在这样的成膜装置中，各成膜区内部的压力需要在维持比成膜区外部的压力高的压力的同时维持针对各成膜区决定的压力。
[0003]所以，以往如在日本特开2014— 65932号中记载的那样，在成膜棍的外周面的周围设有用于形成个别地设定压力的多个成膜区的分隔壁构造体。该分隔壁构造体具有将腔室内部间隔为多个成膜区的多个间隔壁、和将成膜辊的外周面覆盖的罩。多个间隔壁配置为，在成膜辊的径向上放射状地延伸。间隔壁的距成膜辊较远的一侧的端部固定于腔室的内壁。在间隔壁的距成膜辊较近的一侧的端部上固定有罩。罩具有与成膜辊的外周面对置的辊对置壁、和将各成膜区连通于腔室内部的成膜辊的宽度方向两端部的空间并抑制向其他成膜区的气体的流入的腔室连通部。辊对置壁及间隔壁在辊对置壁的成膜辊的径向外侧形成成膜区。
[0004]在辊对置壁上，形成有用于供从成膜区内部的蒸发源飞出的成膜材料的粒子穿过并朝向基材的开口。辊对置壁配置在向成膜辊的径向外侧离开的位置。即，在辊对置壁的朝向成膜辊的径向内侧的面与成膜辊的外周面之间形成有间隙。当在成膜工艺中成膜区内部的气体穿过辊对置壁的开口时，借助该间隙的尺寸的设定，能够限制沿着成膜辊的外周面向成膜区外部漏出的气体的流量。由此，能够将各成膜区内部的压力在成膜作业中个别地维持为比成膜区外部的压力高的压力。
[0005]在成膜工艺中，当成膜材料的粒子从成膜区内部的蒸发源飞出时，该粒子穿过辊对置壁的开口碰撞在成膜辊的外周面的基材上。由此，能够在基材表面上形成薄膜。为了防止在成膜中该粒子附着于罩的辊对置壁，将具有开口的掩模安装于辊对置壁上的相对于成膜辊相反的一侧、即辊对置壁的朝向成膜辊的径向外侧的面。掩模的开口宽度(成膜辊的宽度方向上的宽度)规定在基材表面上形成的薄膜形成的范围。
[0006]在上述现有技术的分隔壁构造体中，辊对置壁和成膜辊的外周面的间隙的尺寸与向成膜区外部漏出的气体的流量有较大的关系，所以相对于成膜辊的外周面的辊对置壁的相对的位置的精度是重要的，但将该相对位置以高精度管理并不容易。
[0007]并且，该分隔壁构造体是下述构造:罩具有辊对置壁和腔室连通部，并且该罩被多个间隔壁固定于从腔室的内壁离开的位置，所以构造复杂。
[0008]此外，在上述现有技术的成膜装置中，在用来形成成膜区的罩中，辊对置壁的朝向成膜辊的径向内侧的面被配置于相对于成膜辊的外周面向径向外侧离开间隙的宽度的位置。因此，配置在辊对置壁的朝向成膜辊的径向外侧的面上的掩模从辊的外周面离开将辊对置壁的厚度与上述间隙相加的距离。因此，掩模与成膜辊的外周面的距离变大，由此，来自蒸发源的粒子在穿过掩模的开口后容易扩散到比掩模的开口宽度靠外侧的位置。扩散到比掩模的开口宽度靠外侧的位置并附着于基材的粒子的量比在掩模的开口宽度的范围内附着于基材的粒子的量少。结果，在成膜时，在基材的宽度方向两端部，在比掩模的开口宽度靠外侧的位置，形成的薄膜的厚度较薄的区域有变大的可能。因此，难以改善薄膜的厚度的分布。
【发明内容】
[0009]本发明是鉴于上述那样的情况而做出的发明，目的是提供一种分隔壁构造体，前述分隔壁构造体能够以简单的构造维持关于结构零件相对于成膜辊的相对的位置的高精度。
[0010]进而，本发明的目的是提供一种成膜装置，前述成膜装置能够抑制掩模与成膜辊的外周面的距离，改善形成的薄膜的厚度的分布。
[0011]本发明的分隔壁构造体是成膜装置的分隔壁构造体，前述成膜装置在腔室内部在沿着成膜辊的外周面被输送的带状的基材的表面使用气体连续地进行成膜，前述分隔壁构造体在该腔室的内部形成至少I个成膜区，其特征在于，具备周向限制部和一对分隔壁，前述一对分隔壁具有能够安装于前述腔室的形状，并具有内周面，前述内周面在该一对分隔壁被安装于前述腔室时，在前述成膜辊的宽度方向的两侧与该成膜辊的外周面隔开间隙地对置，前述周向限制部在前述腔室内部形成面向前述成膜辊的前述外周面的至少I个成膜区，前述周向限制部与前述分隔壁相连，使得该周向限制部与前述分隔壁的相对位置被固定。
[0012]在该分隔壁构造体中，前述分隔壁与前述周向限制部相连，使得该分隔壁和该周向限制部的相对位置被固定，所以能够将二者相对于成膜装置的腔室的定位一起以高精度进行。具体而言，前述分隔壁为了通过以其内周面与成膜辊的外周面对置的方式安装于腔室来形成构成前述宽度方向流路的间隙，需要相对于该腔室以较高的精度定位，但前述周向限制部与该分隔壁相连，使得相对位置相对于该分隔壁被固定，所以借助前述分隔壁相对于前述腔室的高精度的定位，该周向限制部相对于该腔室的定位也自然以高精度进行。这和与前述分隔壁独立地进行周向限制部相对于腔室的定位的情况相比，使该定位的作业变容易，并且也使周向限制部的安装作业变容易。
[0013]并且，上述结构的分隔壁构造体是在一对分隔壁上安装有周向限制部的构造，所以与以往的分隔壁构造体的构造即下述构造相比，构造简单:所述构造为，罩具有辊对置壁和腔室连通部，并且该罩借助多个间隔壁固定于从腔室的内壁离开的位置。
[0014]此外，优选的是，前述成膜辊的前述外周面为圆筒状，前述分隔壁具有内周面，前述内周面在前述分隔壁被安装于前述腔室的状态下遍及前述成膜辊的圆筒状的前述外周面的整周地对置，并且该内周面具有比该外周面的外径大的一定的内径。
[0015]分隔壁具有与成膜辊的圆筒状的外周面对置的具有一定的内径的内周面。因此，当以分隔壁的内周面与成膜辊的外周面在同心上的方式将分隔壁安装于腔室时，在分隔壁的内周面与成膜辊的外周面之间遍及成膜辊的整周精度良好地形成宽度为一定的间隙。由此，能够使穿过该间隙的气体的量在成膜辊的整周变均匀。
[0016]进而，优选的是，前述分隔壁由以将前述内周面分割的方式相互分离的多个部分构成。
[0017]根据这样的方案，在将成膜辊组装到腔室内之后，将构成分隔壁的多个部分分别固定于腔室，由此，能够容易地将分隔壁组装于腔室。即，在内周面遍及整周地连续的分隔壁的情况下，需要在将成膜辊向腔室内组装之前，将该分隔壁以其内周面与成膜辊的外周面对置的方式预先安装到该成膜辊的两侧，然后将安装了分隔壁的成膜辊向腔室内组装。因此，分隔壁的组装作业复杂。相对于此，在如上述那样由相互分离的多个部分构成的分隔壁的情况下，能够在将成膜辊组装到腔室内之后，容易地将分隔壁组装到腔室上。
[0018]前述分隔壁也可以具有主体部，前述主体部具有下述形状:在前述分隔壁被安装于前述腔室时，前述主体部被配置于从前述成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置。
[0019]根据这样的方案，分隔壁的主体部被配置于从成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，由此能够比成膜辊的外周面更向成膜辊的径向内侧突出地配置，能够确保主体部的厚度，由此能够提高分隔壁的刚性。
[0020]前述分隔壁也可以还具有延长部，前述延长部从前述主体部沿前述外侧面延伸，在与前述成膜辊的前述外周面之间形成间隙。
[0021]根据这样的方案，分隔壁部的延长部从主体部在成膜辊的宽度方向上延伸，在与成膜辊的外周面之间形成间隙。该间隙作为宽度方向流路发挥功能，由此能够限制气体向成膜辊的宽度方向的外侧的流动。
[0022]进而，优选的是，前述分隔壁构造体是在成膜装置中使用的分隔壁构造体，前述成膜装置具有多个成膜区作为前述至少I个成膜区，前述周向限制部具有区间排气板，前述区间排气板以夹在前述成膜区之间的方式在前述成膜辊的宽度方向上延伸地安装在一对前述分隔壁上，前述区间排气板以下述这样的位置安装在该分隔壁上:在前述分隔壁被安装于前述腔室的状态下在该区间排气板与前述成膜辊的前述外周面之间形成间隙，该间隙形成周向流路，前述周向流路限制前述成膜辊的周向的前述气体的流动。
[0023]根据这样的方案，夹在成膜区之间的区间排气板被安装在分隔壁上，由此，能够在分隔壁被安装于腔室的状态下在区间排气板与成膜辊的外周面之间容易地形成均匀的间隙。因而，能够借助该间隙容易且精度良好地形成限制成膜辊的周向的气体的流动的周向流路。
[0024]进而，优选的是，前述周向限制部还具有在前述成膜区之间形成排气通路的差动排气罩，前述差动排气罩以相对于前述成膜辊的前述外周面能够形成间隙的位置安装在前述分隔壁上，前述差动排气罩在前述区间排气板的周向上的两侧沿该区间排气板延伸的方向配置，由此，借助一对前述差动排气罩和前述区间排气板，在前述成膜区之间形成作为前述排气通路的差动排气区。
[0025]根据这样的方案，差动排气罩被安装在分隔壁上，由此能够容易地相对于成膜辊的外周面形成均匀的间隙。由此，通过将差动排气罩配置到区间排气板的周向上的两侧，能够借助一对差动排气罩和区间排气板容易地在成膜区之间形成作为排气通路的差动排气区。
[0026]进而，优选的是，前述周向限制部还具有防止前述成膜区内部的气体从宽度方向流路及周向流路以外的路径泄漏的分隔板，前述分隔板安装在前述分隔壁上。
[0027]根据这样的方案，防止成膜区内部的气体从宽度方向流路及周向流路以外的路径泄漏的分隔板被安装在分隔壁上，由此能够将安装于腔室的分隔壁作为分隔板的定位的基准来使用。结果，不需要用于分隔板的定位的调整。
[0028]进而，优选的是，前述分隔壁构造体是在成膜装置中使用的分隔壁构造体，前述成膜装置具有多个成膜区作为前述至少I个成膜区，前述周向限制部具有区间排气板，差动排气罩和分隔板，前述区间排气板夹在前述成膜区之间，前述差动排气罩在前述成膜区之间形成排气通路，前述分隔板防止前述成膜区内部的气体从宽度方向流路及周向流路以外的路径泄漏，前述区间排气板、前述差动排气罩及前述分隔板的至少I个被拆装自如地固定在前述分隔壁上。
[0029]根据这样的方案，区间排气板、差动排气罩及分隔板的至少I个被拆装自如地固定在分隔壁上，所以这些部件的安装、拆卸较容易。因此，这些部件的维护及更换较容易。
[0030]本发明的成膜装置是使用气体在带状的基材的表面连续地进行成膜的成膜装置，其特征在于，具备上述的分隔壁构造体、前述腔室、前述成膜辊和掩模，前述掩模在前述成膜区的内部与前述成膜辊的外周面对置地配置，具有开口，前述开口限定前述基材的表面上的由前述成膜形成的薄膜的宽度，前述分隔壁具有朝向前述成膜辊的径向外侧的外侧面、和朝向前述成膜辊的径向内侧的内侧面，前述掩模安装在前述分隔壁的前述外侧面上，前述分隔壁的前述内侧面位于比前述成膜辊的前述外周面更靠前述成膜辊的径向内侧的位置。
[0031]本发明的成膜装置使用上述的分隔壁构造体，由此，能够在分隔壁与成膜辊之间形成容许气体向宽度方向流通的间隙，同时，能够使掩模与成膜辊的外周面相互接近，改善形成的薄膜的厚度的分布。具体而言，根据上述的方案，分隔壁的朝向成膜辊的径向内侧的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。即，成膜辊的外周面和分隔壁的内侧面在成膜辊的径向上交错。进而，在形成于腔室内部的成膜区的内部配置的掩模被安装在分隔壁的朝向成膜辊的径向外侧的外侧面上。因此，掩模与成膜辊的外周面的距离能够接近至比分隔壁的厚度(即外侧面与内侧面的距离)小的距离。结果，在成膜时在基材的宽度方向两端部能够使因从成膜区内部的蒸发源飞出的成膜材料的粒子没有充分碰撞而发生的成膜的膜厚较薄的区域变小。因此，改善薄膜的厚度的分布，膜厚均匀性提高。
[0032]此外，优选的是，在前述成膜辊上的比前述外周面的宽度方向的两端部更靠该成膜辊的宽度方向外侧的部分处，形成有沿着该成膜辊的周向遍及该成膜辊的整周延伸的槽，前述分隔壁具有能够插入至前述槽中的形状，前述分隔壁被插入至前述槽中，并且配置于在与该槽的内壁之间隔开前述间隙的位置。
[0033]在这样的方案中，借助具有能够插入至沿着成膜辊的周向延伸的槽中的形状的分隔壁，能够在分隔壁与成膜辊之间形成容许气体向宽度方向流通的间隙，同时，能够使掩模与成膜辊的外周面相互接近，改善形成的薄膜的厚度的分布。进而，分隔壁被插入至成膜辊的比外周面的宽度方向端部更靠宽度方向外侧地形成的槽中，由此，分隔壁的内侧面能够位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。因此，能够确保分隔壁的厚度，由此能够提高分隔壁的刚性。并且，在该分隔壁与槽的内壁之间均匀地形成沿着成膜辊的周向延伸的间隙，所以能够使穿过该间隙的气体的量在成膜辊的整周变得均匀。
[0034]此外，也可以是，前述分隔壁具有主体部和延长部，前述主体部被固定于前述腔室，配置于从前述成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，具有前述外侧面及前述内侧面，前述延长部从前述主体部沿着前述外侧面延伸，在与前述成膜辊的前述外周面之间形成前述间隙，前述掩模安装在前述主体部的前述外侧面上。
[0035]根据这样的方案，分隔壁的主体部被配置于从成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，使得其内侧面能够位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。由此，能够使安装在主体部的外侧面上的掩模接近成膜辊的外周面，改善形成的薄膜的厚度的分布。即，分隔壁的主体部被配置于从成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，掩模安装在主体部的外侧面上。因此，掩模与成膜辊的外周面的距离能够接近至比主体部的厚度(即外侧面与内侧面的距离)小的距离。此外，主体部的内侧面能够位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置，能够确保主体部的厚度，由此能够提高分隔壁的刚性。进而，分隔壁部的延长部从主体部沿着外侧面延伸，在与成膜辊的外周面之间形成间隙。该间隙作为宽度方向流路发挥功能，由此能够限制气体向成膜辊的宽度方向的外侧的流动。
[0036]此外，本发明的成膜装置是使用气体在带状的基材的表面连续地进行成膜的成膜装置，其特征在于，具备腔室、成膜辊、周向限制部、掩模和一对分隔壁，前述成膜辊旋转自如地安装在前述腔室的内部，具有能够与前述基材接触的外周面，前述一对分隔壁被固定于前述腔室，在前述成膜辊的宽度方向的两侧配置于与该成膜辊之间隔开间隙的位置，前述周向限制部在前述腔室内部形成面向前述成膜辊的前述外周面的至少I个成膜区，前述掩模在前述成膜区的内部与前述成膜辊的外周面对置地配置，具有开口，前述开口限定前述基材的表面上的由前述成膜形成的薄膜的宽度，前述分隔壁具有朝向前述成膜辊的径向外侧的外侧面、和朝向前述成膜辊的径向内侧的内侧面，前述掩模安装在前述分隔壁的前述外侧面上，前述分隔壁的前述内侧面位于比前述成膜辊的前述外周面更靠前述成膜辊的径向内侧的位置。
[0037]本发明在分隔壁与成膜辊之间形成容许气体向宽度方向流通的间隙，同时，使掩模和成膜辊的外周面相互接近，改善形成的薄膜的厚度的分布。具体而言，根据上述的方案，分隔壁的朝向成膜辊的径向内侧的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。即，成膜辊的外周面和分隔壁的内侧面在成膜辊的径向上交错。进而，在形成于腔室内部的成膜区的内部配置的掩模被安装在分隔壁的朝向成膜辊的径向外侧的外侧面上。因此，掩模与成膜辊的外周面的距离能够接近至比分隔壁的厚度(即外侧面与内侧面的距离)小的距离。结果，在成膜时在基材的宽度方向两端部能够使成膜的膜厚较薄的区域变小，改善薄膜的厚度的分布，膜厚均匀性提高。并且，被固定于腔室的分隔壁在成膜辊的宽度方向的两侧被配置于在与该成膜辊之间隔开了间隙的位置。该间隙能够作为宽度方向流路发挥功能，前述宽度方向流路限制气体从成膜辊的外周面向该成膜辊的宽度方向的外侧的流动。
[0038]此外，优选的是，在前述成膜辊上的比前述外周面的宽度方向的两端部更靠该成膜辊的宽度方向外侧的部分处，形成有沿着该成膜辊的周向延伸的圆环状的槽，前述分隔壁具有能够插入至前述圆环状的槽中的环状的形状，前述分隔壁被插入至前述槽中，并且配置于在与该槽的内壁之间隔开前述间隙的位置。
[0039]在这样的方案中，借助形状简单的环状的分隔壁，能够在分隔壁与成膜辊之间形成容许气体向宽度方向流通的间隙，同时，能够使掩模和成膜辊的外周面相互接近，改善形成的薄膜的厚度的分布。此外，环状的分隔壁形状较简单，所以容易精度良好地制造。进而，环状的分隔壁被插入至成膜辊的比外周面的宽度方向端部更靠宽度方向外侧地形成的圆环状的槽中，由此，环状的分隔壁的内侧面能够位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。因此，能够确保分隔壁的厚度，由此能够提高分隔壁的刚性。并且，在该环状的分隔壁与槽的内壁之间均匀地形成圆环状的间隙，所以能够使穿过该间隙的气体的量在成膜辊的整周变均匀。
[0040]进而，优选的是，前述环状的分隔壁由相互分离的多个圆弧状的部分构成。
[0041]根据这样的方案，在将成膜辊组装到腔室内之后，将构成环状的分隔壁的圆弧状的部分分别固定于腔室，由此能够容易地将环状的分隔壁组装到腔室上。即，在遍及整周地连续的环状的分隔壁的情况下，需要在将成膜辊组装到腔室内之前将该分隔壁安装到成膜辊的两侧，然后将安装了分隔壁的成膜辊组装到腔室内，组装作业复杂。相对于此，在如前述那样由相互分离的多个圆弧状的部分构成的环状的分隔壁的情况下，在将成膜辊组装到腔室内之后，能够容易地将分隔壁组装到腔室上。
[0042]此外，也可以是，前述分隔壁具有主体部，前述主体部被固定于前述腔室，配置于从前述成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，并具有前述外侧面及前述内侧面，前述掩模安装在前述主体部的前述外侧面上。
[0043]根据这样的方案，分隔壁的主体部被配置于从成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，使得其内侧面能够位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。由此，能够使安装在主体部的外侧面上的掩模接近成膜辊的外周面，改善形成的薄膜的厚度的分布。即，分隔壁的主体部被配置于从成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，掩模被安装在主体部的外侧面上。因此，掩模与成膜辊的外周面的距离能够接近至比主体部的厚度(即外侧面与内侧面的距离)小的距离。此外，主体部的内侧面能够位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置，能够确保主体部的厚度，由此能够提尚分隔壁的刚性。
[0044]优选的是，前述分隔壁还具有延长部，前述延长部从前述主体部沿着前述外侧面延伸，在与前述成膜辊的前述外周面之间形成间隙。
[0045]根据这样的方案，分隔壁部的延长部从主体部沿着外侧面延伸，在与成膜辊的外周面之间形成间隙。该间隙作为宽度方向流路发挥功能，由此能够限制气体向成膜辊的宽度方向的外侧的流动。
[0046]此外，优选的是，前述周向限制部安装在前述分隔壁的前述外侧面上。
[0047]分隔壁通过被固定于腔室，在腔室内部被以较高的精度定位。因此，周向限制部被安装在该分隔壁的外侧面上，由此，周向限制部能够以高精度且容易地配置于与成膜辊的外周面对置的位置。
[0048]进而，优选的是，前述周向限制部具有与前述成膜辊的前述外周面对置的区间排气板，前述区间排气板以相对于前述成膜辊的前述外周面确保间隙的状态被固定在前述分隔壁上。
[0049]根据这样的方案，区间排气板被固定在分隔壁的外侧面上，由此能够容易地相对于成膜辊的周面确保均匀的间隙。
[0050]如以上说明，根据本发明的分隔壁构造体，能够以简单的构造维持关于作为结构零件的一对分隔壁及周向限制部相对于成膜辊的相对的位置的高精度。
[0051]进而，根据本发明的成膜装置，能够抑制掩模与成膜辊的外周面的距离，改善形成的薄膜的厚度的分布。
【附图说明】
[0052]图1是示意性地表示涉及本发明的实施方式的具备分隔壁构造体的成膜装置的内部结构的主视图。
[0053]图2是表示图1的成膜装置的腔室内部的立体图。
[0054]图3是图1的成膜辊的立体图。
[0055]图4是表示图1的成膜辊、环形分隔壁及区间排气板的立体图。
[0056]图5是表示图1的分隔壁构造体的组装及掩模的安装的次序的分隔壁构造体的分解立体图。
[0057]图6是表示安装了图5的掩模的状态的掩模及其周边部的立体图。
[0058]图7(a)是图1的VII— VII剖视图，图7(b)是图7(a)的环形分隔壁附近的放大图。
[0059]图8是表示图1的环形分隔壁被固定于腔室的状态的剖视图。
[0060]图9(a)是表示使用图8的掩模在基材表面进行借助溅镀的成膜的状态的图，图9(b)是表示在图9(a)的基材表面上形成的膜的厚度与基材的宽度方向的位置的关系的曲线图。
[0061 ]图10是表示图1的成膜区内部的掩模的配置的剖视图。
[0062]图11是图10的掩模附近的放大剖视图。
[0063]图12是表示图1的成膜区内部的气体朝向成膜辊的宽度方向及周向被向该成膜区的外部排出的状态的立体说明图。
[0064]图13是表示涉及本发明的另一实施方式的配置有适合于无槽的成膜辊的环形分隔壁的状态的剖视说明图。
[0065]图14(a)是作为本发明的比较例而表示在成膜辊的外周面的径向外侧配置有环形分隔壁、在该环形分隔壁上安装着掩模的状态下在基材表面进行借助溅镀的成膜的状态的图，图14(b)是表示在图14(a)的基材表面上形成的膜的厚度与基材的宽度方向的位置的关系的曲线图。
【具体实施方式】
[0066]以下，参照附图对本发明的分隔壁构造体及具备该分隔壁构造体的成膜装置的实施方式进一步详细地说明。
[0067]图1?图2所示的成膜装置I是在由分隔壁构造体4形成的至少I个(在图1中是4个)成膜区11中使用气体G在带状的基材B的表面上连续地形成薄膜的装置。作为成膜装置1，只要是使用气体G在基材B的表面上连续地形成薄膜的装置即可，使用进行溅镀、真空蒸镀、等离子CVD等的成膜装置。在以下的实施方式中，举进行溅镀的成膜装置I为例进行说明。
[0068]该成膜装置I具备腔室2、旋转自如地安装在腔室2内部的成膜辊3、形成多个成膜区11的分隔壁构造体4、配置于各成膜区11的掩模5及蒸发源6、从基材B的卷将基材B向成膜辊3卷出的卷出部7、和将成膜后的基材B卷取为卷状的卷取部8。
[0069]基材B由树脂、金属、玻璃等构成，只要是薄的带状即可。
[0070]腔室2是具有内部空间2a的中空的箱体。在腔室2上，连接于作为排气机构的涡轮分子栗(turbo molecular pump，简称:TMP)或真空栗等栗13、15。
[0071]腔室2的内部空间2a被成膜辊3及分隔壁构造体4划分为5个空间，S卩4个成膜区11和I个输送区12。4个成膜区11是在成膜辊3的表面上进行基材B的成膜的成膜区域。另外，成膜区11至少有I个即可。成膜区的个数既可以是I个也可以是多个。输送区12是不进行基材B的成膜的非成膜区域，容纳有卷出部7及卷取部8。
[0072]在各成膜区11中设有气体供给口14。在溅镀的成膜时使用的氩或氧等气体G穿过气体供给口 14被向各成膜区11供给。在各成膜区11上分别连接有栗13，所以能够将各成膜区11的压力个别地调整。设置在各成膜区11中的蒸发源6对应在各成膜区11中形成的薄膜的种类被选择。另外，也可以在各成膜区11上连接多个栗13，在成膜辊3的宽度方向上排列配置。
[0073]在输送区12上连接有栗15。由此，输送区12被减压到真空状态或低压状态。另外，也可以在输送区12上连接多个栗15。
[0074]各成膜区11经由图12所示的宽度方向流路36及周向流路37连通到输送区12。这些宽度方向流路36及周向流路37的尺寸根据分隔壁构造体4的形状及安装位置而设定。借助这些宽度方向流路36及周向流路37的尺寸的设定，向成膜区11外部流动的排气气体E的量被限制。例如，在进行溅镀的成膜装置I的情况下，成膜区11被保持为比输送区12的内部压力更高的高压。在此情况下，例如，成膜区11内的压力是0.3?0.5Pa左右，输送区12内的压力被设定为作为比其低的压力的基础压力，例如10—3?10—4Pa左右。在成膜工艺前，借助栗15，全部的成膜区11及输送区12的压力被降低到10一3?KT4Pa左右。另外，在进行CVD的成膜装置I的情况下，只要将成膜区11设为比输送区12的内部压力更低的低压(负压)以使脏污的气体不从成膜区11流出即可。
[0075]如图3所示，成膜辊3是具有圆筒状的外周面的形状，具体而言，两端部具有局部地直径较小的圆筒形状(所谓的带台阶的圆筒形状)。即，成膜辊3具有能够与基材B接触的外周面3a、和形成于比外周面3a的宽度方向Dl的两端部更靠该成膜辊3的宽度方向Dl的外侧的部分的圆环状的槽3b。即，本实施方式的成膜辊3的圆筒状的外周面包括上述的能够与基材B接触的外周面3a的部分和槽3b的部分。外周面3a被研磨而变得平滑，以便不给基材B带来损伤。圆环状的槽3b沿着成膜辊3的周向D2遍及成膜辊3的整周延伸。图3的槽3b向宽度方向Dl的外侧敞开，但也可以关闭。
[0076]成膜辊3分别由不锈钢等金属制造。成膜辊3旋转自如地安装在腔室2的内部。即，成膜辊3的旋转轴O的两端部3c(参照图7)经由轴承31(参照图7)旋转自如地支承于设置在腔室2的对置的一对侧壁上的第I安装部2b及第2安装部2c。
[0077]也可以将成膜辊3进行温度调整。例如，如图7所示，经由管32将液体介质M相对于成膜辊3的内部的空间部(未图示)供给及排出，由此能够调整成膜辊3的温度。通过将成膜辊3设为高温或低温，能够以良好的膜质在基材B上密接性良好地成膜。管32的周围的间隙借助密封部件33密封。
[0078]带状的基材B在被卷绕于成膜辊3的外周面3a的状态下被向各成膜区11依次输送。
[0079]分隔壁构造体4如图1?图2及图4?图6所示，具备设在成膜辊3的宽度方向Dl的两侧的一对环形分隔壁21、和安装在一对环形分隔壁21上的周向限制部22。周向限制部22具有后述的区间排气板24、差动排气罩25和分隔板26(参照图2及图6)。
[0080]一对环形分隔壁21如图4所示，具有能够插入圆环状的槽3b的环状的形状。在本实施方式中，环状的环形分隔壁21如图5所示，由相互分离的多个圆弧状的部分21A、21B构成。
[0081]环形分隔壁21是受热不易变形的刚性较高的部件，例如是由钢等制造的厚度10_左右的部件。
[0082]环形分隔壁21如图7?图8所示，具有朝向成膜辊3的径向外侧Rl的外侧面21a、和朝向成膜辊3的径向内侧R2的内侧面21b。环形分隔壁21作为能够安装于腔室2的形状而具有圆环形状，经由托架等固定部件35固定于腔室2的侧壁。环形分隔壁21分别被插入成膜辊3的两端部的槽3b，使得内侧面21b位于比成膜辊3的外周面3a更靠成膜辊3的径向内侧R2的位置。由此，环形分隔壁21被配置于在与槽3b的内壁(S卩，宽度方向壁3bl、径向壁3b2)之间开设间隙36的位置。在此状态下，环形分隔壁21的内周面(内侧面21b)在一对环形分隔壁21被安装于腔室2时在成膜辊3的宽度方向的两侧与该成膜辊3的外周面(在图8中是槽3b的宽度方向壁3bl)隔开间隙36(宽度方向间隙36a)地对置。
[0083]间隙36具有环形分隔壁21的内侧面21b与槽3b的宽度方向壁3bl之间的宽度方向间隙36a、和环形分隔壁21的侧面与槽3b的径向壁3b2之间的径向间隙36b。
[0084]间隙36形成限制从成膜辊3的外周面3a向该成膜辊3的宽度方向DI的外侧的气体的流动的宽度方向流路36。换言之，由成膜辊3及环形分隔壁21形成用来将各成膜区11从其外部分离的成膜辊3的宽度方向上的压力屏障。
[0085]环形分隔壁21被固定在腔室2上，所以能够在保证间隙36的尺寸精度的同时，作为周向限制部22的组装位置的基准发挥功能。
[0086]如图7(b)所示，将环形分隔壁21及槽3b的宽度方向壁3bl以较高的精度加工，由此，由这些环形分隔壁21及宽度方向壁3bl遍及成膜辊3的整周形成的宽度方向间隙36a能够高精度地设定宽度Cl。由此，能够将穿过宽度方向间隙36a的气体的量遍及成膜辊3的整周高精度地限制。
[0087]周向限制部22如图1?图2及图11?图12所示，限制成膜辊3的周向D2的气体的流动，由此，在腔室2内部形成面向成膜辊3的外周面3a的至少I个(在图1中是4个)成膜区11。
[0088]周向限制部22以该周向限制部22和环形分隔壁21的相对位置被固定的方式连接。具体而言，在该实施方式中，周向限制部22借助螺纹固定等拆装自如地固定于环形分隔壁21的外侧面21a。
[0089]具体而言，周向限制部22具有区间排气板24、差动排气罩25和分隔板26，前述区间排气板24与成膜辊3的外周面3a对置，前述差动排气罩25配置于该区间排气板24的周向D2的两侧。这些区间排气板24、差动排气罩25及分隔板26分别独立地借助螺纹件等拆装自如地安装在环形分隔壁21上。另外，只要这些构成周向限制部22的区间排气板24、差动排气罩25及分隔板26的至少I个被拆装自如地固定在环形分隔壁21上即可。
[0090]区间排气板24如图4及图11?图12所示，是具有开口24a的板状的部件。区间排气板24以夹在多个成膜区11之间的方式沿着成膜辊3的宽度方向Dl延伸，借助螺纹件等相对于一对环形分隔壁21的外侧面21a被固定。区间排气板24以相对于成膜辊3的外周面3a隔开间隙的状态配置。区间排气板24的宽度与成膜辊3的宽度大致相同，被设定为在区间排气板2 4与腔室2的侧壁之间容许间隙2 8 (参照图2 )那样的大小。
[0091]差动排气罩25如图1?图2及图5?图6所示，是薄板状的部件。差动排气罩25与区间排气板24同样，沿着成膜辊3的宽度方向Dl延伸，借助螺纹件等相对于一对环形分隔壁21被固定，以相对于成膜辊3的外周面3a隔开间隙的状态配置。
[0092]借助成膜辊3的外周面3a和上述的差动排气罩25及区间排气板24的间隙，形成容许从成膜区11向周向D2的排气气体E的流动的周向流路37(参照图11?图12)。
[0093]差动排气罩25分别配置在各成膜区11的周向D2上的两侧。即，差动排气罩25配置在区间排气板24的周向D2上的两侧。由此，借助一对差动排气罩25和区间排气板24，在成膜区11之间形成作为排气通路的差动排气区27(参照图1?图2)。差动排气区27经由区间排气板24的开口 24a及周向流路37(参照图12)连通于各成膜区11。差动排气区27经由区间排气板24和腔室2的侧壁的间隙28(参照图2)连通于输送区12。这些间隙及开口 24a的尺寸被设定为，使得差动排气区27的压力在输送区12的压力和比其高的成膜区11的压力之间。借助这些压力差，排气气体E如图12所示，能够以成膜区11、差动排气区27及输送区12的顺序流动。
[0094]进而，差动排气罩25还被配置在能够将图1所示的成膜区11与输送区12之间分隔的位置。
[0095]分隔板26如图2及图5?图6所示，是防止成膜区11内部的气体从宽度方向流路36及周向流路37(参照图12)以外的路径泄漏的部件。分隔板26如图5所示，具有在成膜辊3的周向上延伸的周向部分26a、和在该成膜辊3的宽度方向上延伸的宽度方向部分26b。周向部分26a配置为，在比环形分隔壁21更靠成膜辊3的宽度方向的外侧的位置将环形分隔壁21与腔室2的侧壁的间隙盖住。周向部分26a借助螺纹件等被固定在环形分隔壁21上。宽度方向部分26b具有比成膜辊3的宽度更大的宽度。宽度方向部分26b借助螺纹件等被分别固定在一对环形分隔壁21上。宽度方向部分26b的两端部比一对环形分隔壁21更向宽度方向的外侧突出并抵接于腔室2的侧壁。
[0096]如上述那样，周向限制部22的结构部件(S卩，区间排气板24、差动排气罩25、分隔板26)被安装在刚性较高的环形分隔壁21上，所以这些结构部件以环形分隔壁21为基准被精度良好地定位在腔室2内部。因此，这些区间排气板24、差动排气罩25、分隔板26不被要求较高的刚性，所以能够使用铝制的薄板等便宜地制造。
[0097]本实施方式的分隔壁构造体4由刚性较高的一对环形分隔壁21、和安装在该环形分隔壁21的外侧面21a上的周向限制部22构成，所以与由铝薄板构成箱状的分隔壁构造体的情况相比，能够容易且不发生热应变地精度良好地制造。
[0098]在将分隔壁构造体4组装的情况下，首先，如图8所示，将环形分隔壁21以其内周面(内侧面21b)与成膜辊3的外周面(槽)对置的方式经由固定部件35安装到腔室2的内壁上，由此，形成构成宽度方向流路36的宽度方向间隙36a，所以相对于该腔室2被以较高的精度定位。接着，如图5所示，相对于被以较高的精度定位的环形分隔壁21的外周面21a，如用图5中给出的被圈包围的附图标记I?4所示的顺序那样，以第I个:区间排气板24、第2个:差动排气罩25、第3个:分隔板26的顺序安装，由此组装成分隔壁构造体4。然后，掩模5作为第4个被安装于环形分隔壁21的外周面21a。
[0099]如上述那样，在本实施方式的分隔壁构造体中，环形分隔壁21和周向限制部22(具体而言，构成该周向限制部22的区间排气板24、差动排气罩25及分隔板26)借助螺纹固定件等相连，使得环形分隔壁21和周向限制部22的相对位置被固定，所以能够将这些环形分隔壁21和该周向限制部22这二者相对于成膜装置I的腔室2的定位一起以高精度进行。
[0100]掩模5如图2及图5?图6所示，是具有开口5a的薄板状的部件。开口 5a的宽度(即成膜辊3的宽度方向Dl的宽度)限定基材B的表面上的借助成膜形成的薄膜的宽度。
[0101]掩模5在成膜区11的内部，在与成膜辊3的外周面3a之间容许间隙的同时对置于成膜辊3的外周面3a而配置。掩模5沿着成膜辊3的宽度方向Dl延伸，借助螺纹件等相对于一对环形分隔壁21的外侧面21a被固定。
[0102]掩模5是安装在分隔壁构造体4上的与该分隔壁构造体4不同的零件。掩模5防止成膜材料向分隔壁构造体4的附着，并使在基材B的表面形成的薄膜在基材B的宽度方向上分布均匀。掩模5针对每个成膜工艺的批处理(例如，关于基材B的I个卷的成膜工艺结束后)被更换。
[0103]此外，在本实施方式中，如图7(b)所示，在掩模5与环形分隔壁21之间设有间隔件34。间隔件34进行掩模5与环形分隔壁21的间隙c3的调整。通过选择不同厚度的间隔件34，能够对应于基材B的厚度进行掩模5和环形分隔壁21的间隙的调整。此外，考虑成膜时的基材B的热负荷，在想要将掩模5与基材B的间隙扩大的情况下也能够借助间隔件34的选择来调整。另外，间隔件34也可以省略。
[0104]掩模5的开口 5a如图8及图11?图12所示，连通于上述宽度方向流路36及周向流路37。
[0105]在上述成膜装置I中，如图7?图9所示，掩模5被安装于环形分隔壁21的外侧面21a。并且，环形分隔壁21被插入成膜辊3的槽3b，由此该环形分隔壁21的内侧面21b位于比成膜辊3的外周面3a靠成膜辊3的径向内侧R2的位置。由此，掩模5与成膜辊3的外周面3a的距离如图9(a)所示，能够接近比环形分隔壁21的厚度(即外侧面21a与内侧面21b的距离，例如1mm左右)更小的距离(例如3?5mm左右)。由此，能够使掩模5与基材B的距离Al接近。在该状态下，当由溅镀产生的成膜材料的粒子P从蒸发源6的烧蚀宽度W的范围飞出时，粒子P在穿过掩模5的开口 5a后难以扩散到比掩模5的开口 5a的宽度更靠外侧的位置。更详细地讲，在该状态下，借助开口 5a的边缘遮挡粒子P的范围(影子的范围)变窄，并且从烧蚀宽度W的范围内飞出的粒子P均匀地碰撞于基材B的范围变大。因而，如图9(b)所示，在成膜时在基材B的宽度方向Dl两端部能够使成膜的膜厚较薄的区域Jl变小。结果，能够改善薄膜的厚度的分布，膜厚均匀性提高。
[0106]另一方面，与本实施方式的图9(a)所示的环形分隔壁21的配置相比，作为本发明的比较例，如图14(a)所示，在环形分隔壁121的内侧面121b位于比成膜辊3的外周面3a靠径向外侧Rl的位置的情况下，在环形分隔壁121的厚度上加上环形分隔壁121与外周面3a的距离后的长度为掩模5与外周面3a的距离。因此，安装于环形分隔壁121的外侧面121a的掩模5与基材B的间隙A2变大，所以如图14(b)所示，基材B的宽度方向上的端部的膜厚较薄且不均匀的区域J2变大。另一方面，如果为了扩大膜厚均匀的区域而将掩模5的开口宽度扩大，则有可能溅镀的粒子P碰撞于成膜辊3的外周面3a而形成膜。在此情况下，为了防止外周面3a上的膜的形成，需要使用与成膜的有效宽度(能够形成均匀的厚度的薄膜的宽度)相比宽度足够大的基材B。相对于此，如上述那样，在本实施方式的图9(a)所示的环形分隔壁21的配置中，能够使掩模5与基材B的间隙Al变小，所以基材B的端部的膜厚不均匀部分变窄，能够有效地使用基材B。
[0107]上述成膜辊3通过温度调整，对应温度变化在宽度方向上伸缩，所以有环形分隔壁21和成膜辊3的槽3b的径向壁3b2的径向间隙36b(参照图8)变动的情况。例如，图7(a)所示的成膜辊3的旋转轴的两端部3c在腔室2的第I安装部2b(固定侧)以成膜辊3的宽度方向Dl的位置不因温度变化而变化的方式被支承，在第2安装部2c侧(自由侧)以容许宽度方向Dl的位置的变化的方式被支承。在该方式中，距第2安装部2c(自由侧)较近的环形分隔壁21的侧壁与槽3b的径向壁3b2之间的径向间隙36b的宽度c2(参照图7(a))随着温度而变化，但距第I安装部2b(固定侧)较近的一侧的径向间隙36b不变化，所以在成膜辊3的宽度方向两侧，径向间隙36b的宽度c2不同。
[0108]相对于此，即使成膜辊3由于温度变化而在宽度方向上伸缩，环形分隔壁21与成膜辊3的槽3b的宽度方向壁3b I之间的宽度方向间隙36a(参照图8 )也不变动，所以在成膜辊3的宽度方向两侧，宽度方向间隙36a的宽度c I相同。所以，通过将该宽度方向间隙36a的宽度Cl设定得比上述径向间隙36b的宽度c2小，能够将在由这些宽度方向间隙36a及径向间隙36b形成的间隙36、即宽度方向流路36中流动的排气气体E的量在成膜辊3的整周上在成膜辊3的宽度方向两侧均匀地维持。即，借助该宽度方向间隙36a的宽度Cl，能够控制宽度方向上的排气气体E的流量(S卩，设定区分离功能)。
[0109]此外，在本实施方式中，环形分隔壁21的外径被制作成比成膜辊3的最大外径稍大。因此，将该环形分隔壁21精度良好地组装，由此只需将掩模5及周向限制部22(8卩，区间排气板24、差动排气罩25及分隔板26)安装到环形分隔壁21的外周面21a上即可，而不需要这些掩模5及周向限制部22的定位。
[0110](特征)
(I)
在本实施方式的分隔壁构造体4中，环形分隔壁21与周向限制部22相连，使得该环形分隔壁21与该周向限制部22的相对位置被固定，所以能够将二者相对于成膜装置的腔室的定位一起以高精度进行。具体而言，如以下这样进行高精度的定位。即，环形分隔壁21以其内周面(内侧面21a)与成膜辊的外周面(槽3b的宽度方向壁3bl)对置的方式被安装在腔室2上，由此形成构成宽度方向流路36的宽度方向间隙36a，所以相对于该腔室2被以较高的精度定位。周向限制部22与该环形分隔壁21相连，使得相对位置相对于该环形分隔壁21被固定，所以借助前述环形分隔壁21相对于前述腔室的高精度下的定位，该周向限制部22相对于该腔室的定位也自然以高精度进行。由此，和与环形分隔壁21独立地进行周向限制部22相对于腔室的定位的情况相比，使该定位的作业变容易，并且周向限制部22的安装作业也较容易。
[0111]并且，上述结构的分隔壁构造体4是在一对环形分隔壁21的外侧面21a上安装着周向限制部22的构造，所以与以往的分隔壁构造体4的构造相比，即与下述构造相比，构造较简单:罩具有辊对置壁和腔室连通部，并且该罩被多个间隔壁固定于从腔室的内壁离开的位置。具体而言，本实施方式的分隔壁构造体4能够通过将由环状的部件构成的环形分隔壁21、板状的区间排气板24及由弯曲的板等构成的差动排气罩25等比较简单的形状的零件组合来制造。因而，能够降低分隔壁构造体4的制造成本。
[0112]另外，在本发明的分隔壁构造体中，只要分隔壁与周向限制部相连以使该分隔壁和该周向限制部的相对位置被固定即可。因而，并不限定于下述结构:如上述实施方式那样周向限制部22的结构零件分别借助螺纹固定件螺纹固定地安装在环形分隔壁21上。例如，也可以是下述结构:分隔壁和周向限制部借助焊接等被固定，使得相互不脱离，或者分隔壁和周向限制部被一体地形成。
[0113](2)
此外，在本实施方式的分隔壁构造体4中，环形分隔壁21具有在安装在腔室2上的状态下遍及成膜辊3的圆筒状的外周面(具体而言，槽3b的宽度方向壁3bl)的整周对置的具有比该宽度方向壁3bl的外径大的一定的内径的内周面(内侧面21b)。因此，当将环形分隔壁21安装到腔室2上以使环形分隔壁21的内侧面21b与成膜辊3的槽3b的宽度方向壁3bl在同心上时，在环形分隔壁21的内侧面21b与成膜辊3的槽3b的宽度方向壁3bl之间遍及成膜辊3的整周精度良好地形成宽度一定的宽度方向间隙36a。由此，能够将穿过该宽度方向间隙36a的气体的量关于成膜辊3的周向均匀化。
[0114]另外，在本实施方式中，在成膜辊3的外周面上形成有槽3b的情况下，示出了环形分隔壁21的内侧面21b遍及构成成膜辊3的外周面的槽3b的宽度方向壁3bl的整周而对置的例子，但本发明并不限定于此。在成膜辊3的外周面上没有形成槽的情况下，环形分隔壁21也可以具有在安装于腔室2的状态下遍及成膜辊3的外周面的整周对置的具有比外径大的内径的内侦_21b。在此情况下，也在环形分隔壁21的内侦_21b与成膜辊3的外周面之间遍及成膜辊3的整周精度良好地形成宽度一定的宽度方向间隙36a。
[0115]进而，在本实施方式的分隔壁构造体4中，环状的环形分隔壁21由相互分离的多个圆弧状的部分21A、21B构成。因此，在将成膜辊3组装到腔室2内之后，将构成环状的环形分隔壁21的圆弧状的部分21A、21B分别固定到腔室2上，由此能够容易地将环状的环形分隔壁21组装到腔室2上。在此情况下，周向限制部22与环形分隔壁21相连，使得该环形分隔壁21与周向限制部22的相对位置被固定，所以也能够以高精度进行环形分隔壁21及周向限制部22这二者的定位。另外，环形分隔壁21也可以是整周连续的环状。
[0116](3)
在本实施方式的分隔壁构造体4中，周向限制部22具有区间排气板24，前述区间排气板24以夹在成膜区11之间的方式在成膜辊3的宽度方向上延伸地安装在一对环形分隔壁21上。夹在成膜区11之间的区间排气板24被安装到环形分隔壁21的外侧面21a上，由此能够在环形分隔壁21被安装于腔室2的状态下在区间排气板24与成膜辊3的外周面3a之间容易地形成均匀的间隙。因而，借助该间隙，能够容易且精度良好地形成限制成膜辊3的周向的气体的流动的周向流路37。
[0117](4)
在本实施方式的分隔壁构造体4中，周向限制部22具有在成膜区11之间形成排气通路的差动排气罩25。差动排气罩25在能够相对于成膜辊3的外周面3a形成间隙的位置处安装在环形分隔壁21上，由此能够容易地相对于成膜辊3的外周面3a形成均匀的间隙。由此，差动排气罩25被配置于区间排气板24的周向上的两侧，由此能够借助一对差动排气罩25和区间排气板24容易地在成膜区11之间形成作为排气通路的差动排气区。
[0118](5)
在本实施方式的分隔壁构造体4中，周向限制部22具有防止成膜区11内部的气体从宽度方向流路36及周向流路37以外的路径泄漏的分隔板26。分隔板26被安装到环形分隔壁21上，由此能够将安装于腔室2的环形分隔壁21作为分隔板26的定位的基准使用。结果，不需要用于分隔板26的定位的调整。
[0119](6)
在本实施方式的分隔壁构造体4中，构成周向限制部22的区间排气板24、差动排气罩25及分隔板26的至少I个被拆装自如地固定在环形分隔壁21上，所以这些部件的安装、拆卸较容易。因此，这些部件的维护及更换较容易。
[0120](7)
在本实施方式的成膜装置I中，环形分隔壁21的朝向成膜辊3的径向内侧R2的内侧面21b位于比成膜辊3的外周面3a更靠成膜辊3的径向内侧R2的位置。即，成膜辊3的外周面3a和环形分隔壁21的内侧面21b在成膜辊3的径向上交错。进而，配置于形成在腔室2内部的成膜区11的内部的掩模5安装在环形分隔壁21的朝向成膜辊3的径向外侧Rl的外侧面21a上。因此，掩模5与成膜辊3的外周面3a的距离能够接近至比环形分隔壁21的厚度更小的距离。结果，在成膜时在基材B的宽度方向Dl两端部能够使成膜的膜厚较薄的区域变小，改善薄膜的厚度的分布，膜厚均匀性提高。
[0121]进而，环形分隔壁21的内侧面21b位于比成膜辊3的外周面3a更靠成膜辊3的径向内侧R2的位置，所以即使使环形分隔壁21的外侧面21a与内侧面21b的距离(即环形分隔壁21的厚度)变大，也不发生环形分隔壁21和成膜辊3的干涉，所以能够使环形分隔壁21的厚度变厚来使环形分隔壁21的刚性提高。由此，能够高精度地进行形成在环形分隔壁21的内侧面21b与成膜辊3的槽3b的宽度方向壁3bl之间的宽度方向间隙36a的尺寸管理。
[0122]固定于腔室2的环形分隔壁21在成膜辊3的宽度方向Dl的两侧配置于在与该成膜辊3之间隔开间隙的位置。该间隙36能够作为宽度方向流路36发挥功能，前述宽度方向流路36限制气体从成膜辊3的外周面3a向该成膜辊3的宽度方向Dl的外侧的流动。即，形成在环形分隔壁21的内侧面21b与成膜辊3的槽3b的宽度方向壁3bl之间的宽度方向间隙36a能够作为差动排气部发挥功能，前述差动排气部能够在将成膜区11内部的压力维持得比其外部的压力高的同时将该成膜区11内部的气体向外部排出。该宽度方向间隙36a处于成膜辊3的圆周面侧，所以即使在改变了成膜辊3的温度的情况下，也能够维持宽度方向间隙36a的大小的对称性，所以能够维持由成膜辊3两端的环形分隔壁21带来的气体的流量限制性能的对称性。因此，能够确保排气分布的均匀性。
[0123](8)
此外，在本实施方式的成膜装置I中，在成膜辊3的比外周面3a的宽度方向Dl的两端部更靠该成膜辊3的宽度方向Dl外侧的部分处，形成有沿该成膜辊3的周向D2延伸的圆环状的槽3b。环形分隔壁21被插入至槽3b中并配置于在与该槽3b的内壁之间隔开间隙36的位置。在该结构中，借助形状简单的环状的环形分隔壁21，能够在环形分隔壁21与成膜辊3之间形成容许气体向宽度方向DI流通的间隙36，同时，能够使掩模5与成膜辊3的外周面3a相互接近，改善形成的薄膜的厚度的分布。此外，环状的环形分隔壁21形状较简单，所以容易精度良好地制造。进而，环状的环形分隔壁21被插入至成膜辊3的比外周面3a的宽度方向Dl端部更靠宽度方向Dl外侧地形成的圆环状的槽3b中，由此，环状的环形分隔壁21的内侧面21b能够位于比成膜辊3的外周面3a更靠成膜辊3的径向内侧R2的位置。因此，能够确保环形分隔壁21的厚度，由此能够提高环形分隔壁21的刚性。并且，在该环状的环形分隔壁21与槽3b的内壁之间均匀地形成圆环状的间隙36，所以能够使穿过该间隙36的气体的量在成膜辊3的整周变均匀。
[0124]此外，在本实施方式中，作为用来形成限制气体向成膜辊3的宽度方向Dl的外侧流动的宽度方向流路36的分隔壁，采用由环状的部件构成的环形分隔壁21，所以分隔壁的构造简单，分隔壁的制造及向腔室2的组装容易。
[0125]进而，在具有槽3b的成膜辊3的情况下，作为基材B的输送部分的外周面3a和其以外的槽3b的部分的判别较容易。因此，当将成膜辊3向腔室2安装时，将成膜辊3的槽3b的部分用夹具等把持，成膜辊3的操作较容易。
[0126](9)
进而，在本实施方式的成膜装置I中，环状的环形分隔壁21由相互分离的多个圆弧状的部分21A、21B构成。因此，在将成膜辊3组装至腔室2内之后，将构成环状的环形分隔壁21的圆弧状的部分21A、21B分别固定于腔室2，由此，能够容易地将环状的环形分隔壁21组装于腔室2。另外，环形分隔壁21也可以是整周连续的环状。
[0127](10)
进而，在本实施方式的成膜装置I中，周向限制部22被安装在环形分隔壁21的外侧面21a上。因而，环形分隔壁21被固定到腔室2上，由此在腔室2内部以高精度定位，进而，周向限制部22被安装到该环形分隔壁21的外侧面21a上，由此，周向限制部22能够以高精度且容易地配置于与成膜辊3的外周面3a对置的位置。
[0128](11)
进而，在本实施方式的成膜装置I中，周向限制部22具有与成膜辊3的外周面3a对置的区间排气板24，区间排气板24在相对于成膜辊3的外周面3a确保间隙的状态下，被固定在环形分隔壁21的外侧面21a上。因而，区间排气板24能够容易地相对于成膜辊3的周面确保均匀的间隙。
[0129](12)
此外，在本实施方式的成膜装置I中，分隔壁构造体4能够通过将由环状的部件构成的环形分隔壁21、板状的区间排气板24及由弯曲的板等构成的差动排气罩25等比较简单的形状的零件组合来制造。因而，能够降低分隔壁构造体4的制造成本。
[0130](变形例)
(A)
在上述实施方式中，示出了在成膜辊3的宽度方向两端部形成有槽3b、环形分隔壁21被插入至槽3b中的例子，但本发明的分隔壁构造体及成膜装置并不限定于此。
[0131]在作为本发明的另一实施方式的具备分隔壁构造体的成膜装置中，如图13所示，也可以是，对应不具有槽的圆筒状的成膜辊3，作为构成分隔壁构造体的环形分隔壁，在成膜辊3的宽度方向两端部配置具有主体部21c及延长部21c的环形分隔壁21。
[0132]S卩，图13所示的环形分隔壁21具有主体部21c和从该主体部21c突出的延长部21d。主体部21c及延长部21d由钢等材料一体地形成，但也可以是分别的零件。
[0133]主体部21c具有环状的形状，该环状的形状具有矩形截面。主体部21c具有朝向成膜辊3的径向外侧(图13的上侧)的外侧面21 a和朝向径向内侧(图13的下侧)的内侧面21 b。主体部21c经由固定部件35被固定于腔室2。主体部21c配置于从成膜辊3的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开径向间隙36c的位置。即，借助主体部21c的侧面及成膜辊3的宽度方向端部，形成沿成膜辊3的径向延伸的径向间隙36c。
[0134]延长部21d从主体部21c在成膜辊3的宽度方向上突出并沿外侧面21a延伸。延长部21d与主体部21c同样具有环状的形状。延长部21d的厚度比主体部21c的厚度薄。借助延长部21d的内周面及成膜辊3的外周面3a，形成宽度方向间隙36d。借助宽度方向间隙36d及与其连通的径向间隙36c，能够形成限制气体从成膜辊3的外周面3a向该成膜辊3的宽度方向的外侧流动的宽度方向流路36。掩模5借助螺纹件等安装在主体部21c的外侧面21a上。延长部21d将掩模5从成膜辊3侧支承。另外，掩模5也可以由螺纹件等固定在延长部21d上。
[0135]在图13所示的具有环形分隔壁21的分隔壁构造体中，环形分隔壁21的主体部21c通过配置于从成膜辊3的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，能够比成膜辊3的外周面3a更向成膜辊3的径向内侧突出地配置，能够确保主体部21c的厚度，由此能够提高环形分隔壁21的刚性。进而，环形分隔壁21的延长部21d从主体部21c在成膜辊3的宽度方向上延伸，在与成膜辊3的外周面3a之间形成宽度方向间隙36d。该宽度方向间隙36d作为宽度方向流路36发挥功能，由此，能够限制气体向成膜辊3的宽度方向的外侧的流动。
[0136]进而，在图13所示的具备分隔壁构造体的成膜装置I的实施方式中，在环形分隔壁21的主体部21c配置于从成膜辊3的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置的状态下，掩模5被安装在主体部21c的外侧面21a上。因此，掩模5与成膜辊3的外周面3a的距离能够接近至比主体部21c的厚度(即外侧面21a与内侧面21b的距离)小的距离。此外，主体部21c的内侧面21b能够位于比成膜辊3的外周面3a更靠成膜辊3的径向内侧的位置，能够确保主体部21c的厚度，由此能够提高环形分隔壁21的刚性。进而，环形分隔壁21部的延长部21d从主体部21c沿外侧面21a延伸，在与成膜辊3的外周面3a之间形成宽度方向间隙36d。该间隙作为宽度方向流路36发挥功能，由此，能够限制气体向成膜辊3的宽度方向的外侧的流动。另外，延长部21d也可以没有。
[0137](B)
另外，本发明的分隔壁构造体的分隔壁也可以不像上述环形分隔壁21那样为环形状。分隔壁只要具有在成膜辊3的宽度方向的两侧配置于与该成膜辊3的外周面之间隔开间隙的位置的内周面、能够由该间隙形成限制气体从成膜辊3的外周面3a向该成膜辊3的宽度方向的外侧流动的宽度方向流路，可以采用各种各样的形状。
[0138](C)
在上述实施方式的成膜装置I中，带状的基材B被从卷出部7经由成膜辊3向卷取部8输送，但也可以是，使基材B的输送方向颠倒，从卷取部8侧供给基材B，向卷出部7卷取。
[0139](D)
为了掩模5的冷却，支承掩模5的环形分隔壁21也可以具有用液体冷却介质冷却的液冷构造。
[0140](E) 成膜辊3的具有槽3b的部分(台阶部)也可以在与成膜辊3的其他部分分别地制造以后再与该其他部分合体。
【主权项】
1.一种分隔壁构造体，前述分隔壁构造体是成膜装置的分隔壁构造体，前述成膜装置在腔室内部在沿着成膜辊的外周面被输送的带状的基材的表面使用气体连续地进行成膜，前述分隔壁构造体在该腔室的内部形成至少I个成膜区，其特征在于， 具备周向限制部和一对分隔壁， 前述一对分隔壁具有能够安装于前述腔室的形状，并具有内周面，前述内周面在该一对分隔壁被安装于前述腔室时，在前述成膜辊的宽度方向的两侧与该成膜辊的外周面隔开间隙地对置， 前述周向限制部在前述腔室内部形成面向前述成膜辊的前述外周面的至少I个成膜区， 前述周向限制部与前述分隔壁相连，使得该周向限制部与前述分隔壁的相对位置被固定。2.如权利要求1所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述成膜辊的前述外周面为圆筒状， 前述分隔壁具有内周面，前述内周面在前述分隔壁被安装于前述腔室的状态下遍及前述成膜辊的圆筒状的前述外周面的整周地对置，并且该内周面具有比该外周面的外径大的一定的内径。3.如权利要求2所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述分隔壁由以将前述内周面分割的方式相互分离的多个部分构成。4.如权利要求1?3中任一项所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述分隔壁具有主体部，前述主体部具有下述形状:在前述分隔壁被安装于前述腔室时，前述主体部被配置于从前述成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置。5.如权利要求4所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述分隔壁还具有延长部，前述延长部从前述主体部沿前述外侧面延伸，在与前述成膜辊的前述外周面之间形成间隙。6.如权利要求1?3中任一项所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述分隔壁构造体是在成膜装置中使用的分隔壁构造体，前述成膜装置具有多个成膜区作为前述至少I个成膜区，前述周向限制部具有区间排气板，前述区间排气板以夹在前述成膜区之间的方式在前述成膜辊的宽度方向上延伸地安装在一对前述分隔壁上， 前述区间排气板以下述这样的位置安装在该分隔壁上:在前述分隔壁被安装于前述腔室的状态下在该区间排气板与前述成膜辊的前述外周面之间形成间隙，该间隙形成周向流路，前述周向流路限制前述成膜辊的周向的前述气体的流动。7.如权利要求6所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述周向限制部还具有在前述成膜区之间形成排气通路的差动排气罩， 前述差动排气罩以相对于前述成膜辊的前述外周面能够形成间隙的位置安装在前述分隔壁上， 前述差动排气罩在前述区间排气板的周向上的两侧沿该区间排气板延伸的方向配置，由此，借助一对前述差动排气罩和前述区间排气板，在前述成膜区之间形成作为前述排气通路的差动排气区。8.如权利要求6所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述周向限制部还具有防止前述成膜区内部的气体从宽度方向流路及周向流路以外的路径泄漏的分隔板， 前述分隔板安装在前述分隔壁上。9.如权利要求1?3中任一项所述的分隔壁构造体，其特征在于， 前述分隔壁构造体是在成膜装置中使用的分隔壁构造体，前述成膜装置具有多个成膜区作为前述至少I个成膜区， 前述周向限制部具有区间排气板，差动排气罩和分隔板， 前述区间排气板夹在前述成膜区之间， 前述差动排气罩在前述成膜区之间形成排气通路， 前述分隔板防止前述成膜区内部的气体从宽度方向流路及周向流路以外的路径泄漏，前述区间排气板、前述差动排气罩及前述分隔板的至少I个被拆装自如地固定在前述分隔壁上。10.—种成膜装置，前述成膜装置使用气体在带状的基材的表面连续地进行成膜，其特征在于， 具备权利要求1所述的分隔壁构造体、前述腔室、前述成膜辊和掩模， 前述掩模在前述成膜区的内部与前述成膜辊的外周面对置地配置，具有开口，前述开口限定前述基材的表面上的由前述成膜形成的薄膜的宽度， 前述分隔壁具有朝向前述成膜辊的径向外侧的外侧面、和朝向前述成膜辊的径向内侧的内侧面， 前述掩模安装在前述分隔壁的前述外侧面上， 前述分隔壁的前述内侧面位于比前述成膜辊的前述外周面更靠前述成膜辊的径向内侧的位置。11.如权利要求10所述的成膜装置，其特征在于， 在前述成膜辊上的比前述外周面的宽度方向的两端部更靠该成膜辊的宽度方向外侧的部分处，形成有沿着该成膜辊的周向遍及该成膜辊的整周延伸的槽， 前述分隔壁具有能够插入至前述槽中的形状， 前述分隔壁被插入至前述槽中，并且配置于在与该槽的内壁之间隔开前述间隙的位置。12.如权利要求10所述的成膜装置，其特征在于， 前述分隔壁具有主体部和延长部， 前述主体部被固定于前述腔室，配置于从前述成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，具有前述外侧面及前述内侧面， 前述延长部从前述主体部沿着前述外侧面延伸，在与前述成膜辊的前述外周面之间形成前述间隙， 前述掩模安装在前述主体部的前述外侧面上。13.—种成膜装置，前述成膜装置使用气体在带状的基材的表面连续地进行成膜，其特征在于， 具备腔室、成膜辊、周向限制部、掩模和一对分隔壁， 前述成膜辊旋转自如地安装在前述腔室的内部，具有能够与前述基材接触的外周面， 前述一对分隔壁被固定于前述腔室，在前述成膜辊的宽度方向的两侧配置于与该成膜辊之间隔开间隙的位置， 前述周向限制部在前述腔室内部形成面向前述成膜辊的前述外周面的至少I个成膜区， 前述掩模在前述成膜区的内部与前述成膜辊的外周面对置地配置，具有开口，前述开口限定前述基材的表面上的由前述成膜形成的薄膜的宽度， 前述分隔壁具有朝向前述成膜辊的径向外侧的外侧面、和朝向前述成膜辊的径向内侧的内侧面， 前述掩模安装在前述分隔壁的前述外侧面上， 前述分隔壁的前述内侧面位于比前述成膜辊的前述外周面更靠前述成膜辊的径向内侧的位置。14.如权利要求13所述的成膜装置，其特征在于， 在前述成膜辊上的比前述外周面的宽度方向的两端部更靠该成膜辊的宽度方向外侧的部分处，形成有沿着该成膜辊的周向延伸的圆环状的槽， 前述分隔壁具有能够插入至前述圆环状的槽中的环状的形状， 前述分隔壁被插入至前述槽中，并且配置于在与该槽的内壁之间隔开前述间隙的位置。15.如权利要求13或14所述的成膜装置，其特征在于， 前述环状的分隔壁由相互分离的多个圆弧状的部分构成。16.如权利要求13所述的成膜装置，其特征在于， 前述分隔壁具有主体部，前述主体部被固定于前述腔室，配置于从前述成膜辊的宽度方向的两端部在该宽度方向上离开的位置，具有前述外侧面及前述内侧面， 前述掩模安装在前述主体部的前述外侧面上。17.如权利要求16所述的成膜装置，其特征在于， 前述分隔壁还具有延长部，前述延长部从前述主体部沿着前述外侧面延伸，在与前述成膜辊的前述外周面之间形成间隙。18.如权利要求13或14所述的成膜装置，其特征在于， 前述周向限制部安装在前述分隔壁的前述外侧面上。19.如权利要求18所述的成膜装置，其特征在于， 前述周向限制部具有与前述成膜辊的前述外周面对置的区间排气板， 前述区间排气板以相对于前述成膜辊的前述外周面确保间隙的状态被固定在前述分隔壁上。
【文档编号】C23C14/24GK106011772SQ201610194309
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年3月31日
【发明人】濑川利规, 大庭尚树, 井亦辉
【申请人】株式会社神户制钢所