一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构的制作方法

文档序号:10708208阅读:379来源:国知局
一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,包括顶台,所述顶台上设有上盘系统,所述顶台底部设有立柱,所述顶台与所述立柱之间通过第一螺钉,第一平垫和第一弹垫连接,所述顶台与所述上盘系统之间通过第二螺钉,第二平垫和第二弹垫连接。本发明有效的保证了设备在研磨抛光过程中,上盘气缸在施加大压力情况下,加工过程中上下盘之间的平行度以及加工过程的稳定性。
【专利说明】一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构
[0001]
技术领域
[0002]本发明涉及用于研磨机或抛光机领域,具体涉及一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构。
【背景技术】
[0003]单面研磨机/抛光机是目前硬脆材料平面加工的主要设备,因加工材料的特殊性,要求设备的稳定性高。顶台的刚性对上盘系统的稳定性起着至关重要的作用。
[0004]现有的用于研磨机或抛光机,上盘系统固定在焊接箱体上,支撑刚度及稳定性均存在缺陷。

【发明内容】

[0005]本发明的目的在于克服现有技术存在的问题,提供一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,提高了设备的稳定性,尤其是上盘系统在加压过程中的刚性和稳定性。
[0006]为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本发明通过以下技术方案实现:
一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,包括顶台,所述顶台上设有上盘系统,所述顶台底部设有立柱,所述顶台与所述立柱之间通过第一螺钉,第一平垫和第一弹垫连接,所述顶台与所述上盘系统之间通过第二螺钉,第二平垫和第二弹垫连接。
[0007]进一步的,所述上盘系统有4组。
[0008]进一步的,所述立柱有4组。
[0009]优选的,所述顶台的中心位置设有添加抛光液的孔,所述顶台的内部设有安装平台,通风排气孔和安装孔,所述顶台的四个角都设有加强筋安装平台有4个。
[0010]进一步的,所述安装平台有4个,用于安装4组上盘系统,所述安装孔用于安装温度传感器。
[0011]本发明的有益效果:
本发明有效的保证了设备在研磨抛光过程中,上盘气缸在施加大压力情况下,加工过程中上下盘之间的平行度以及加工过程的稳定性。
【附图说明】
[0012]图1是本发明用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构的整体装配结构示意图;
图2是本发明用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构的顶台顶部结构示意图;
图3是本发明用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构中I的局部放大结构示意图; 图4是本发明用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构中Π的局部放大结构示意图。
[0013]图中标号说明:1、上盘系统,2、顶台,201、安装平台,202、通风排气孔,203、安装孔,204、添加抛光液的孔,205、加强筋,3、立柱组件,4、第一螺钉,5、第一平垫,6、第一弹垫,
7、第二螺钉,8、第二平垫,9、第二弹垫。
【具体实施方式】
[0014]下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本发明。
[0015]参照图1所示,一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,包括顶台2,所述顶台2上设有上盘系统I,所述顶台2底部设有立柱3,所述顶台2与所述立柱3之间通过第一螺钉4,第一平垫5和第一弹垫6连接,所述顶台2与所述上盘系统I之间通过第二螺钉7,第二平垫8和第二弹垫9连接。
[0016]进一步的,所述上盘系统I有4组。
[0017]进一步的,所述立柱3有4组。
[0018]优选的,所述顶台2的中心位置设有添加抛光液的孔204,所述顶台2的内部设有安装平台201,通风排气孔202和安装孔203,所述顶台2的四个角都设有加强筋205。
[0019]进一步的,所述安装平台201有4个,用于安装4组上盘系统I,所述安装孔203用于安装温度传感器。
[0020]本发明的原理:
设备在对工件研磨抛光过程中,需用气缸对上盘施加较大的压力,同时必须保证上下盘之间的平行度,才能保证工件的加工质量,一体化顶台上盘结构的设计,通过合理的铸件结构设计,在保证顶台的整体强度刚性的前提下,提高了上盘系统的整体刚性,能够有效地保证在加压工况下上下盘间的平行度,从而保证工件的加工质量。
[0021]以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,包括顶台(2),所述顶台(2)上设有上盘系统(1),所述顶台(2)底部设有立柱(3),所述顶台(2)与所述立柱(3)之间通过第一螺钉(4),第一平垫(5)和第一弹垫(6)连接,所述顶台(2)与所述上盘系统(I)之间通过第二螺钉(7),第二平垫(8)和第二弹垫(9)连接。2.根据权利要求1所述的用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,所述上盘系统(I)有4组。3.根据权利要求1所述的用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,所述立柱(3)有四组。4.根据权利要求1所述的用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,所述顶台(2)的中心位置设有添加抛光液的孔(204),所述顶台(2)的内部设有安装平台(201),通风排气孔(202)和安装孔(203),所述顶台(2)的四个角都设有加强筋(205)。5.根据权利要求4所述的用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,所述安装平台(201)有4个,用于安装4组上盘系统(I),所述安装孔(203)用于安装温度传感器。
【文档编号】B24B37/34GK106078494SQ201610601441
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月28日 公开号201610601441.6, CN 106078494 A, CN 106078494A, CN 201610601441, CN-A-106078494, CN106078494 A, CN106078494A, CN201610601441, CN201610601441.6
【发明人】乔卫民, 翟新, 李方俊, 马艳
【申请人】苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
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