侧且位于所述外管31内。所述内管32的底部开口，作为所述反应气体进入所述内管32的通路，同时便于所述晶舟加载的所述晶圆2出入所述内管32 ;所述内管32的顶部设置有引导气流的孔筛321，以便于所述反应气体溢出所述内管32。所述孔筛321可直接制作于所述内管32上，也可以是可拆卸的，在本实施例中，所述孔筛321为可拆卸的，可直接安装于现有沉积炉管内管的顶部，节省材料也便于更换。在本实施例中，所述孔筛321的材质为石英。如图4及图5所示，在本实施例中，所述孔筛321为圆形结构，直径与所述内管32匹配；所述孔筛321为单层出气孔结构，所述孔筛321上设置有多个出气孔，在本实施例中，所述孔筛321上设置有4个出气孔，各出气孔中心对称分布以利于气流的导向。所述孔筛321的边缘不设置出气孔，以防止所述反应气体直接从所述孔筛321的边缘溢出，有利于所述反应气体向中间聚集。一部分所述反应气体通过所述孔筛321上的出气孔排出所述内管32，另一部被所述孔筛321阻挡回流到所述内管32中，可有效减缓所述反应气体的排放速度，使所述反应气体在所述晶圆2中间区域浓度提高，以此改善顶端晶圆沉积膜厚的均匀性，提高晶圆的良率。
[0044]具体地，所述晶舟设置于所述内管32内，用于加载所述晶圆2。
[0045]本实用新型的沉积炉管相较于现有技术中的内管完全开口的沉积炉管，在相同条件下制备的晶圆薄膜均匀性提高0.1%。
[0046]实施例二
[0047]本实施例中的沉积炉管与实施例一中的沉积炉管结构一致，不同之处在于所述孔筛321为双层出气孔结构。如图6及图7所示，本实施例中的孔筛321包括上、下两层出气孔筛，上、下两层之间设置间隙，各层均包括4个中心对称分布的出气孔，且上下两层的出气孔错开分布。上、下两层出气孔筛的边缘不设置出气孔，以防止所述反应气体直接从上、下两层出气孔筛的边缘溢出，有利于所述反应气体向中间聚集。本实施例中的孔筛321可有效减缓所述反应气体的排放速度，使所述反应气体在所述晶圆2中间区域浓度提高，以此改善顶端晶圆沉积膜厚的均匀性，提高晶圆的良率。
[0048]本实用新型的沉积炉管相较于实施例一中的沉积炉管，在相同条件下制备的晶圆薄膜均匀性提高0.3%。
[0049]实施例三
[0050]本实施例中的沉积炉管与实施例一中的沉积炉管结构一致，不同之处在于所述孔筛321为双层交错出气孔结构。如图8所示，本实施例中的孔筛321包括下层出气孔筛及上层出气孔筛，所述下层出气孔筛为凹型结构，有利于所述反应气体向中间聚集，而所述上层出气孔筛为凸型结构，有利于将所述反应气体聚集在两层出气孔筛的夹层中间，有效减缓所述反应气体的排放速度。所述下层出气孔筛凹陷的弧度设定为15度?30度，在本实施例中，所述下层出气孔筛凹陷的弧度设定为20度；所述上层出气孔筛凸起的弧度设定为15度?30度，在本实施例中，所述上层出气孔筛凸起的弧度设定为20度。所述下层出气孔筛及所述上层出气孔筛上有多个中心对称分布的出气孔，且所述下层出气孔筛及所述上层出气孔筛上的出气孔垂直方向上交错分布。所述下层出气孔筛及所述上层出气孔筛的边缘不设置出气孔，以防止所述反应气体直接从所述下层出气孔筛及所述上层出气孔筛的边缘溢出，有利于所述反应气体向中间聚集。如图9及图10所示，所述下层出气孔筛及所述上层出气孔筛上的出气孔孔径也交错分布，即其中一层出气孔筛上的出气孔孔径由外圈朝中间逐渐减小，另一层出气孔筛上的出气孔孔径由外圈朝中间逐渐增大。在本实施例中，如图9所示，所述上层出气孔筛的出气孔孔径由外圈朝中间逐渐增大；如图10所示，所述下层出气孔筛上的出气孔孔径由外圈朝中间逐渐减小。本实施例中的双层交错出气孔结构的孔筛能更好引导所述反应气体聚集于所述内管的上端，有效减缓所述反应气体的排放速度，使所述反应气体在所述晶圆2中间区域浓度提高，以此改善顶端晶圆沉积膜厚的均匀性，提高晶圆的良率。
[0051]综上所述，本实用新型提供一种沉积炉管，至少包括:外管、设置于所述外管内的内管以及设置于所述内管内的晶舟，其中，所述外管上设置有送气口及排气口，所述内管的底部开口，所述内管的顶部设置有引导气流的孔筛。本实用新型的沉积炉管把内管的顶端结构改进为双层交错出气孔结构，通过双层交错出气孔的上层凹型结构及下层凸型结构，将气体聚集在中间并减缓气体从内管中排出的速度，增加晶圆中心的气流，改善沉积均匀性。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0052]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种沉积炉管，其特征在于，所述沉积炉管至少包括:外管、设置于所述外管内的内管以及设置于所述内管内的晶舟，其中，所述外管上设置有送气口及排气口，所述内管的底部开口，所述内管的顶部设置有引导气流的孔筛。
2.根据权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于:所述孔筛为双层交错出气孔结构，包括下层出气孔筛及上层出气孔筛。
3.根据权利要求2所述的沉积炉管，其特征在于:所述下层出气孔筛及所述上层出气孔筛上的出气孔均中心对称分布。
4.根据权利要求2所述的沉积炉管，其特征在于:所述下层出气孔筛的出气孔孔径由夕卜圈朝中间逐渐减小，所述上层出气孔筛的出气孔孔径由外圈朝中间逐渐增大。
5.根据权利要求2所述的沉积炉管，其特征在于:所述下层出气孔筛为凹型结构，所述上层出气孔筛为凸型结构。
6.根据权利要求5所述的沉积炉管，其特征在于:所述下层出气孔筛凹陷的弧度设定为15度?30度。
7.根据权利要求5所述的沉积炉管，其特征在于:所述上层出气孔筛凸起的弧度设定为15度?30度。
8.根据权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于:所述孔筛的材料为石英。
【专利摘要】本实用新型提供一种沉积炉管，至少包括：外管、设置于所述外管内的内管以及设置于所述内管内的晶舟，其中，所述外管上设置有送气口及排气口，所述内管的底部开口，所述内管的顶部设置有引导气流的孔筛。本实用新型的沉积炉管把内管的顶端结构改进为双层交错出气孔结构，通过双层交错出气孔的上层凹型结构及下层凸型结构，将气体聚集在中间并减缓气体从内管中排出的速度，增加晶圆中心的气流，改善沉积均匀性。
【IPC分类】C23C16-44
【公开号】CN204608156
【申请号】CN201520248650
【发明人】杨志平, 李广宁
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年4月22日