真空机械手传动装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜设备，具体是一种用于真空镀膜设备上的真空机械手传动装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜设备一般包括一个装片室和两个镀膜室，其中，两个镀膜室分别位于装片室的两侧。为了保证工件和靶材在系统各个真空室之间转运，一般要用到磁流体密封传动装置，但是现有的磁流体密封传动装置由于各部件之间相互约束较多，容易形成死点，并使滑块与丝杠之间摩擦力增大，操作时阻力较大，运行不稳定，定位不精确。再者，现有的装置的旋转中心位于端部，这样，旋转半径就大，需要真空室的空间也大，而且显得笨重。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空机械手传动装置，可以使镀膜工件及靶材在系统各个真空室内转运，且旋转中心位于中间，旋转半径缩小一半，而且定位精确、结构简单。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空机械手传动装置，包括转动马达、移动马达和机械手臂，转动马达的输出轴与第一齿轮连接，第一齿轮与第二齿轮啮合，第二齿轮与磁流体动密封的旋转轴下端固定连接，磁流体动密封的旋转轴上端固定在摆杆底座上;移动马达的输出轴与磁流体动密封的中心轴下端连接，磁流体动密封的中心轴的上端具有第三齿轮，第三齿轮与第四齿轮啮合，第四齿轮通过第一连接杆与第五齿轮连接，第五齿轮与第六齿轮啮合，所述的第六齿轮固定在滚珠丝杠的一端，滚珠丝杠可转动地固定在摆杆底座上，滚珠丝杠上有滑轮，滑轮与机械手臂固定。
[0005]本实用新型利用磁流体动密封技术，使真空机械手可以在x-y平面内作360°旋转，还可以沿X轴或者沿y轴作直线进动，具体过程为:
[0006]x-y平面内360°旋转:由转动马达驱动第一齿轮旋转，第一齿轮再带动第二齿轮旋转，带动磁流体动密封的旋转轴，联动摆杆底座一起转动，使设置在摆杆底座上的机械手臂一起绕磁流体动密封的中心轴进行360°旋转。
[0007]沿X轴或者沿y轴作直线进动:由移动马达驱动磁流体动密封中心轴上端的第三齿轮转动，第三齿轮驱动第四齿轮，第四齿轮通过第一连接杆联动第五齿轮，来驱动第六齿轮转动，齿轮联动滚珠丝杠旋转，使滚珠丝杠上的滑轮作直线运动，带动机械手臂与滑轮同步移动。
[0008]本实用新型的真空机械手传动装置允许用户在高真空环境下，通过手动或自动电控，精确控制机械手臂在真空环境里面的传动走位，定位准确;滚珠丝杠与滑轮配合，降低阻力，增加运行稳定性;而且，以磁流体动密封的中心轴线为旋转中心，缩小了旋转半径，适用于多种镀膜机的工件传动。
[0009]优选地，所述的第三齿轮和第四齿轮均为锥齿轮，齿轮传动的同时，又改变了运动方向，缩小了整个真空机械手传动装置的体积。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型真空机械手传动装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明。
[0012]真空机械手传动装置，如图1所示，包括转动马达14、移动马达13、磁流体动密封10和机械手臂2，磁流体动密封10下端固定有第二连接杆9和第三连接杆16，第二连接杆9下端与马达固定架12连接，转动马达14和移动马达13都固定在马达固定架12上。转动马达14的输出轴与第一齿轮15连接，第一齿轮15安装在第三连接杆16下端，第一齿轮15与第二齿轮11啮合，第二齿轮11与磁流体动密封10的旋转轴10-1下端固定连接，磁流体动密封10的旋转轴10-1上端固定在摆杆底座17上，所述的摆杆底座17由左侧臂、右侧壁和横杆组成，大体呈倾倒的J型。所述的磁流体动密封10的旋转轴10-1为筒状;移动马达13的输出轴与磁流体动密封10的中心轴10-2下端连接，磁流体动密封10的中心轴10-2从磁流体动密封10的旋转轴10-1中穿出，并在上端安装第三齿轮8，所述的第三齿轮8为锥齿轮，第三齿轮8与第四齿轮7啮合，第四齿轮7也为锥齿轮，第四齿轮7通过第一连接杆6与第五齿轮5连接，第一连接杆6右端穿过摆杆底座17的右侧臂与第五齿轮5连接，第一连接杆6左端伸入磁流体动密封10中与第四齿轮7连接，第五齿轮5与第六齿轮4啮合，第六齿轮4固定在滚珠丝杠I的一端，滚珠丝杠I可转动地固定在摆杆底座17的左侧臂和右侧臂上，滚珠丝杠I上有两个滑轮3，两个滑轮3都与固定在机械手臂2下端。
[0013]本实施例的真空机械手传动装置在使用时的步骤为:
[0014]通过手动或自动程序精确控制旋转马达14，控制机械手臂2转动到取件位置;然后控制移动马达13，驱动机械手臂2沿着滚珠丝杠I前进到取件位置;取件后，再次控制移动马达13，驱动机械手臂2沿着滚珠丝杠I后退到原始位置;然后控制旋转马达14，转动机械手臂2到“送工件”位置;再次控制移动马达13，驱动机械手臂2前进到送件位置;送件后，控制移动马达13，驱动机械手臂2后退到原始位置，即完成一次“取件”、“送件”过程。
【主权项】
1.真空机械手传动装置，包括转动马达、移动马达和机械手臂，其特征在于:转动马达的输出轴与第一齿轮连接，第一齿轮与第二齿轮啮合，第二齿轮与磁流体动密封的旋转轴下端固定连接，磁流体动密封的旋转轴上端固定在摆杆底座上;移动马达的输出轴与磁流体动密封的中心轴下端连接，磁流体动密封的中心轴的上端具有第三齿轮，第三齿轮与第四齿轮啮合，第四齿轮通过第一连接杆与第五齿轮连接，第五齿轮与第六齿轮啮合，所述的第六齿轮固定在滚珠丝杠的一端，滚珠丝杠可转动地固定在摆杆底座上，滚珠丝杠上有滑轮，滑轮与机械手臂固定。2.如权利要求1所述的真空机械手传动装置，其特征在于:所述的第三齿轮和第四齿轮均为锥齿轮。3.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于:所述的转动马达和移动马达都固定在马达固定架上。4.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于:磁流体动密封的旋转轴为筒状，磁流体动密封的中心轴从磁流体动密封的旋转轴中穿出。5.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于:所述的摆杆底座左侧臂、右侧壁和横杆组成，大体呈倾倒的J型，第一连接杆右端穿过右侧臂与第五齿轮连接，第一连接杆左端伸入磁流体动密封中与第四齿轮连接。6.如权利要求1或2所述的真空机械手传动装置，其特征在于:所述的磁流体动密封下端固定有第二连接杆和第三连接杆，第二连接杆下端与第一齿轮连接，第二连接杆下端与马达固定架连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空机械手传动装置，包括磁流体动密封、机械手臂及齿轮传动机构，通过转动马达驱动第一齿轮、第二齿轮转动，联动磁流体动密封的旋转轴，带动摆杆底座转动；通过移动马达驱动联动磁流体动密封的中心轴上端的第三齿轮转动，间接驱动滚珠丝杠旋转，来驱动机械手臂移动；实际运行过程中，通过手动或自动精确控制转动马达或移动马达，来实现机械手臂的精确定位，可以使镀膜工件和靶材在系统各个真空室之间转运，且旋转中心位于中间，旋转半径缩小一半，适用于多种镀膜机的工件传运。
【IPC分类】C23C14/50, C23C14/34
【公开号】CN205275695
【申请号】CN201521142076
【发明人】房如枫, 郭祖华, 刘海, 葛怀庆, 孙嵩泉
【申请人】蚌埠雷诺真空技术有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年12月31日