闸门结构及沉积装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种闸门结构及沉积装置，所述闸门结构包括：主体门，主体门包括第一侧板和第二侧板，第二侧板上设有密封圈；壁体，包括第一侧壁，第一侧壁上具有一闸口；能够驱动主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构；当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第二侧板的第一侧面与第一侧壁之间具有第一间隙；在第一侧壁上设有第一调整件，在第一侧板上设有第二调整件；其中第一调整件和第二调整件的位置相对应，当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第一调整件和第二调整件之间具有第二间隙，且第二间隙小于第一间隙。本实用新型所提供的闸门结构可以避免主体门上的密封圈与壁体发生摩擦或撞击，从而减少了密封圈磨损风险。
【专利说明】
闸门结构及沉积装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种闸门结构及沉积装置。
【背景技术】
[0002]等离子体增强化学气象沉积装置应用在TFT_LCD(Thin film ansistor-liquidcrystal display，薄膜晶体管液晶显示器)、薄膜太阳能行业中，用于在基板上镀膜。等离子体增强化学气象沉积装置通常由装载腔室(Load Lock)、传递腔室(Transfer Chamber)、工艺腔室(Process Chamber)三部分组成。其中，传递腔室通常对应2?6个工艺腔室。SlitValve(缝隙阀)为传递腔室与工艺腔室之间的闸门，基板在传递腔室与工艺腔室之间进出时，闸门打开;在进行镀膜工艺时，闸门关闭，目的为隔绝工艺腔室，维护工艺腔室稳定与防治反应气体泄露。
[0003]图1所示为现有技术中的闸门的结构示意图。以下结合图1对现有技术中闸门的结构以及工作过程进行说明。
[0004]如图1所示，目前等离子体增强化学气象沉积装置中，闸门设置在传递腔室与工艺腔室之间，闸门主要包括:壁体10、主体门、驱动结构20和支撑杆30等，其中主体门是由传递腔室侧板(TC侧板)31、工艺腔室侧板(PC侧板)32和内部鼓风装置(Bellow)33组成，其中，鼓风装置33能够使得TC侧板32和PC侧板31之间进行吸合或分离，壁体10包括与PC侧板31的外侧面相对的第一侧壁11，壁体10上形成一用于供基板传输经过的闸口 12，支撑杆30能够在驱动结构20的驱动下，带动闸门的主体门上下移动，而与闸口 12两侧的第一侧壁11配合来打开或关闭闸口 12。
[0005]具体地，闸门的打开和关闭过程如下:
[0006]图1所示为闸门处于打开状态时的结构示意图。如图1所示，在闸门打开状态时，PC侧板32与TC侧板31处于吸合状态，并位于闸口 12的一侧，当需要关闭闸门12时，驱动结构20驱动支撑杆30上移，带动PC侧板32和TC侧板31上移至能够使得PC侧板32的外侧面与闸口 12两侧的第一侧壁11均相对，然后鼓风装置33使得PC侧板32和TC侧板31分离，在PC侧板32上外侧设置有密封圈(0-^1^)34，？(:侧板32外侧的密封圈34则与第一侧壁11相接触，从而关闭闸口 12，而隔绝工艺腔室和传递腔室，维护工艺腔室温度，防止反应气体泄漏；当需要打开闸门12时，鼓风装置33使得PC侧板32和TC侧板31吸合，驱动结构20驱动支撑杆30下移，带动PC侧板32和TC侧板31下移至能够使得闸口 12打开的第一位置，打开闸口 12，使得基板能够从闸口 12在工艺腔室与传递腔室之间传输。此外，在TC侧板31上设置有保险杆(Bumper)35为导电作用，PC侧板32和TC侧板31吸合的目的为保证主体门在上下移动过程中密封圈34不被撞击或摩擦。
[0007]现有技术中，闸门存在以下问题:
[0008]由于支撑杆的晃动，当主体门从关闭状态至打开状态时，由于密封圈(Ο-ring)与第一侧壁之间的粘附力，PC侧板和TC侧板吸合后主体门会左右晃动，上下移动时，密封圈与第一侧壁之间会发生磨损，尤其高世代线，主体门的重量大，晃动更加剧烈;此外，闸门在长时间使用中，螺丝松动，导致PC侧板与第一侧壁之间的间隙(Gap)变差，密封圈与壁体磨损，例如，导轨固定螺丝松动、Gap Plate调整螺丝松动等；由于驱动结构如驱动气缸泄气等原因，导致主体门的运动不平稳，而导致密封圈与壁体磨损;此外，由于不正当的操作，PC侧板和TC侧板没有吸合时，主体门上下移动，密封圈撞击与磨损。
[0009]由此可见，当闸门的主体门与第一侧壁之间的空隙(Gap)稍差，再加上移动过程中主体门的震动，密封圈很容易与壁体发生摩擦，严重导致撞断，导致泄露发生，引发生产品质与安全事故。
【实用新型内容】
[0010]本实用新型的目的在于提供一种闸门结构以及沉积装置，能够减少密封圈磨损风险。
[0011 ]本实用新型所提供的技术方案如下:
[0012]一种闸门结构，包括:
[0013]主体门，所述主体门包括相对设置的能够吸合或分离的第一侧板和第二侧板，且所述第二侧板的远离所述第一侧板的第一侧面上设有密封圈；
[0014]壁体，所述壁体包括一与所述第二侧板的第一侧面相对的第一侧壁，所述第一侧壁上具有一闸口 ；
[0015]以及，与所述主体门连接，能够驱动所述主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构;在所述第一位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态，并位于所述闸口的一侧，以打开所述闸口；在所述第二位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于分离状态，且所述第二侧板的第一侧面上的密封圈与所述第一侧壁的闸口两侧均接触，以关闭所述闸口 ；
[0016]其中当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第二侧板的第一侧面与所述第一侧壁之间具有第一间隙；
[0017]在所述第一侧壁上设有第一调整件，在所述第一侧板上设有第二调整件;其中所述第一调整件和所述第二调整件的位置相对应，当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第一调整件和所述第二调整件之间具有第二间隙，且所述第二间隙小于所述第一间隙。
[0018]进一步的，所述第一调整件包括:凸设在所述第一侧壁上的调整板；
[0019]所述第二调整件包括:设置在所述第一侧板上的滚动部件。
[0020]进一步的，所述第一调整件包括:设置在所述第一侧板上的滚动部件；
[0021 ]所述第二调整件包括:凸设在所述第一侧壁上的调整板。
[0022]进一步的，所述滚动部件包括滚轮或滚珠。
[0023]进一步的，所述调整板为采用耐磨材料形成的耐磨板。
[0024]进一步的，所述调整板为沿所述主体门的移动方向延伸的条状板。
[0025]进一步的，所述第一调整件设置在所述第一侧壁上，并位于所述第二侧板的至少一侧;所述第一侧板在与所述第一调整件相对应的位置具有超出所述第二侧板之外的超出部分，所述第二调整件设置在所述超出部分上。
[0026]进一步的，所述第一调整件设置在所述第一侧壁上，并位于所述第二侧板的至少一侧;所述第一侧板在所述第一调整件所在的一侧具有一安装结构，所述第二调整件安装在所述安装结构上。
[0027]进一步的，所述主体门还包括设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间，能够使得所述第一侧板和所述第二侧板吸合或分离的鼓风装置。
[0028]—种沉积装置，包括如上所述的闸门结构。
[0029]本实用新型的有益效果如下:
[0030]本实用新型所提供的闸门结构，在壁体上设置第一调整件，通过在主体门上设置第二调整件，且在所述主体门处于吸合状态时，使得第一调整件和第二调整件之间的间隙小于主体门上的密封圈与壁体之间的间隙，当闸门主体倾斜或者震动等情况下上下移动时，第一调节件会与第二调节件接触，而避免主体门上的密封圈与壁体发生摩擦或撞击，从而减少了密封圈磨损风险；
[0031]在本实用新型所提供的闸门结构的进一步优选方案中，第一调节件和第二调节件为滚动摩擦，可以保证运动平稳，且减少摩擦碎肩。
【附图说明】
[0032]图1表示现有技术中闸门处于打开状态时的结构示意图；
[0033]图2表示本实用新型所提供的闸门结构处于打开状态时的结构示意图；
[0034]图3表示图2中从闸口处俯视壁体的俯视图；
[0035]图4表示本实用新型所提供一种实施例中的闸门结构的第一调整件和第二调整件的安装结构示意图。
【具体实施方式】
[0036]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0037]针对现有技术中沉积设备中传递腔室与工艺腔室之间的闸门上密封圈容易磨损的技术问题，本实用新型提供了一种闸门结构，其能够减少密封圈磨损风险。
[0038]如图2和图3所示，本实用新型所提供的闸门结构，包括:
[0039]主体门100，所述主体门100包括相对设置的能够吸合或分离的第一侧板101和第二侧板102，且所述第二侧板102的远离所述第一侧板101的第一侧面上设有密封圈110;
[0040]壁体200，所述壁体200包括一与所述第二侧板102的第一侧面相对的第一侧壁201，所述第一侧壁201上具有一闸口 202 ；
[0041]以及，与所述主体门100连接，能够驱动所述主体门100在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构300;
[0042]在所述第一位置，所述第一侧板101和所述第二侧板102处于吸合状态，并位于所述闸口 202的一侧，以打开所述闸口 202;
[0043]在所述第二位置，所述第一侧板101和所述第二侧板102处于分离状态，且所述第二侧板102的第一侧面上的密封圈110与所述第一侧壁201的闸口 202两侧均接触，以关闭所述闸口 202;
[0044]其中当所述第一侧板101和所述第二侧板102处于吸合状态时，所述第二侧板102的第一侧面与所述第一侧壁201之间具有第一间隙Dl;
[0045]在所述第一侧壁201上设有第一调整件211，在所述第一侧板101上设有第二调整件 111;
[0046]其中所述第一调整件211和所述第二调整件111的位置相对应，当所述第一侧板101和所述第二侧板102处于吸合状态时，所述第一调整件211和所述第二调整件111之间具有第二间隙D2，且所述第二间隙D2小于所述第一间隙D1。
[0047]本实用新型所提供的闸门结构，可以设置在等离子体增强化学气象沉积装置的传递腔室与工艺腔室之间。其中，本实用新型所提供的闸门结构中，主体门100的第一侧板101和第二侧板102分别用于设置在传递腔室一侧和工艺腔室一侧，第一侧板101和第二侧板102可以吸合或分离;驱动机构300可以驱动主体门100上下移动，当闸门打开时，第一侧板101和第二侧板102吸合，处于第一位置上，位于闸口 202—侧；当关闭闸门时，第一侧板101和第二侧板102则上移，并移动至第二位置上，第二侧板102的第一侧面与壁体200的第一侧壁201的闸口 202两侧均相对，再分离第一侧板101和第二侧板102，则第二侧板102上的密封圈110与闸口 202的两侧的第一侧壁201均接触，而实现隔绝工艺腔室和传递腔室的目的。由此可见，第一侧板101和第二侧板102在驱动机构300的驱动下上下移动过程中均处于吸合状态，为了避免由于主体门100震动等原因造成第二侧板102上的密封圈110与壁体200磨损或撞击，在本实用新型所提供的闸门结构中，通过在第一侧壁201上设置第一调整件211，在第一侧板101上设置第二调整件111，且使得在所述主体门100处于吸合状态时，使得第一调整件211和第二调整件111之间的间隙小于密封圈110与第一侧壁201之间的间隙，当闸门主门体倾斜或者震动等情况下上下移动时，第一调整件211会与第二调整件111接触，而避免第二侧板102上的密封圈110与第一侧壁201之间发生摩擦或撞击，从而减少了密封圈110磨损风险。此外，本实用新型所提供的闸门结构可在现有的闸门结构上进行改造，闸门壁体200不需更换，只需对闸门壁体200以及主体门100进行部分更换或者加工可实现，实用性较强。
[0048]以下说明本实用新型所提供的闸门结构的优选实施例。
[0049]如图2和图3所示，在本实施例中，优选的，所述第一调整件211包括:凸设在所述第一侧壁201上的调整板;所述第二调整件111包括:设置在所述第一侧板101上的滚动部件。
[0050]采用上述方案，第一侧板101上安装滚动部件，壁体200的第一侧壁201上安装调整板，主体门100的第一侧板101和第二侧板102吸合时，滚动部件与调整板之间的间隙小于密封圈110与第一侧壁201之间的间隙，当闸门主体门100倾斜或者震动情况下，主体门100上下移动时，滚动部件会与调整板接触，可完全避免密封圈110与壁体200的磨损与撞击，且为滚动摩擦，运动平稳;并且，滚动部件设计在第一侧板101上，当主体门100的第一侧板101和第二侧板102分离密封闸口 202时，滚动部件会随第一侧板101运动而远离调整板，避免撞击。
[0051]需要说明的是，在本实用新型的其他实施例中，所述第一调整件211和所述第二调整件111的结构可以并不仅局限于此，还可以采用其他结构实现，例如:所述第一调整件211包括设置在所述第一侧板101上的滚动部件，所述第二调整件111包括凸设在所述第一侧壁201上的调整板;对此不再一一列举。
[0052]此外，如图2和图3所示，在本实施例中，优选的，所述滚动部件采用滚轮112。应当理解的是，所述滚动部件还可以采用其他部件实现，例如:所述滚动部件还可以采用滚珠。所述滚动部件采用滚轮112与采用滚珠相比，滚轮112安装结构更为简单。
[0053]此外，在本实施例中，优选的，所述调整板为采用耐磨材料形成的耐磨板，且所述调整板为沿所述主体门100的移动方向延伸的条状板。
[0054]采用上述方案，所述调整板采用耐磨材料制成，且为沿主体门100移动方向延伸的条状板，在主体门100移动过程中，若有主体门100倾斜或震动等情况，滚轮112会在条状板上上下移动，保证运动平稳。
[0055]此外，在本实用新型所提供的一种实施例中，如图2和图3所示，所述第一调整件211设置在所述第一侧壁201上，并位于所述第二侧板102的至少一侧;所述第一侧板101在与所述第一调整件211相对应的位置具有超出所述第二侧板102之外的超出部分，所述第二调整件111设置在所述超出部分上。
[0056]采用上述方案，由于第一侧板101上需要安装滚轮112，仅需要将第一侧板101设计为稍大于第二侧板102即可安装滚轮112，结构简单。
[0057]需要说明的是，滚轮112也可以是采用其他方式安装于第一侧板101上，例如:如图4所示为本实用新型所提供的另一种实施例的结构示意图，其中所述第一调整件211设置在所述第一侧壁201上，并位于所述第二侧板102的至少一侧;所述第一侧板101在所述第一调整件211所在的一侧具有一安装结构，所述第二调整件111安装在所述安装结构上。采用上述方案，可在第一侧板101的侧面打孔，安装滚轮112。
[0058]此外，还需要说明的是，如图3所示，在本实施例中，优选的，在第二侧板102的相对的两侧均设置滚轮112和耐磨板，由此，可进一步保证运动平稳，密封圈110不会与壁体200磨损或撞击。
[0059]此外，如图所示，在本实施例中，如图2和图3所示，所述主体门100还包括设置在所述第一侧板101和所述第二侧板102之间，能够使得所述第一侧板101和所述第二侧板102吸合或分离的鼓风装置103。采用上述方案，可以通过所述鼓风装置103来控制第一侧板101和第二侧板102吸合或分离。应当理解的是，在实际应用中，所述第一侧板101和所述第二侧板102之间的吸合或分离也可以通过其他方式来实现。
[0060]此外，在本实施例中，如图2所示，所述驱动机构300可以采用与现有技术中闸门的驱动机构相同，其可以包括驱动气缸301和支撑杆302，其中驱动气缸301可以驱动支撑杆302，来带动主体门100上下移动。当然可以理解的是，在此对于驱动结构的具体结构并不仅局限于此。
[0061]此外，如图2所示，本实用新型所提供的闸门结构还可以包括用于调整第二侧板102与第一侧壁201之间的第一间隙的间隙调整结构，所述间隙调整结构可以包括相对设置且能够相对距离进行调整的第一间隙调整板303和第二间隙调整板304，其中第一间隙调整板303与支撑杆302连接，当第一间隙调整板303和第二间隙调整板304之间间距发生变化时，会带动支撑杆302移动，而带动主门体200向靠近或远离第一侧壁201的方向移动，进而调整所述第二侧板102与所述第一侧壁201之间的第一间隙D1。
[0062]此外，本实用新型还提供了一种沉积装置，包括本实用新型实施例中所提供的闸门结构，该沉积装置可以是等离子体增强化学气象沉积装置，所述闸门结构可以设置在传递腔室与工艺腔室之间。
[0063]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种闸门结构，包括: 主体门，所述主体门包括相对设置的能够吸合或分离的第一侧板和第二侧板，且所述第二侧板的远离所述第一侧板的第一侧面上设有密封圈； 壁体，所述壁体包括一与所述第二侧板的第一侧面相对的第一侧壁，所述第一侧壁上具有一闸口 ； 以及，与所述主体门连接，能够驱动所述主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构;在所述第一位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态，并位于所述闸口的一侧，以打开所述闸口；在所述第二位置，所述第一侧板和所述第二侧板处于分离状态，且所述第二侧板的第一侧面上的密封圈与所述第一侧壁的闸口两侧均接触，以关闭所述闸P； 其中当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第二侧板的第一侧面与所述第一侧壁之间具有第一间隙;其特征在于， 在所述第一侧壁上设有第一调整件，在所述第一侧板上设有第二调整件;其中所述第一调整件和所述第二调整件的位置相对应，当所述第一侧板和所述第二侧板处于吸合状态时，所述第一调整件和所述第二调整件之间具有第二间隙，且所述第二间隙小于所述第一间隙。2.根据权利要求1所述的闸门结构，其特征在于， 所述第一调整件包括:凸设在所述第一侧壁上的调整板； 所述第二调整件包括:设置在所述第一侧板上的滚动部件。3.根据权利要求1所述的闸门结构，其特征在于， 所述第一调整件包括:设置在所述第一侧板上的滚动部件； 所述第二调整件包括:凸设在所述第一侧壁上的调整板。4.根据权利要求2或3所述的闸门结构，其特征在于， 所述滚动部件包括滚轮或滚珠。5.根据权利要求2或3所述的闸门结构，其特征在于， 所述调整板为采用耐磨材料形成的耐磨板。6.根据权利要求2或3所述的闸门结构，其特征在于， 所述调整板为沿所述主体门的移动方向延伸的条状板。7.根据权利要求1所述的闸门结构，其特征在于， 所述第一调整件设置在所述第一侧壁上，并位于所述第二侧板的至少一侧;所述第一侧板在与所述第一调整件相对应的位置具有超出所述第二侧板之外的超出部分，所述第二调整件设置在所述超出部分上。8.根据权利要求1所述的闸门结构，其特征在于， 所述第一调整件设置在所述第一侧壁上，并位于所述第二侧板的至少一侧;所述第一侧板在所述第一调整件所在的一侧具有一安装结构，所述第二调整件安装在所述安装结构上。9.根据权利要求1所述的闸门结构，其特征在于， 所述主体门还包括设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间，能够使得所述第一侧板和所述第二侧板吸合或分离的鼓风装置。10.—种沉积装置，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的闸门结构。
【文档编号】C23C16/50GK205420544SQ201620260829
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月31日
【发明人】杨晓东, 董杰, 金哲山, 周东淇, 张兴洋, 胡毓龙, 张新星, 高欢, 龚勋
【申请人】北京京东方显示技术有限公司, 京东方科技集团股份有限公司