一种旋转式有机材料蒸发装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型揭示了一种旋转式有机材料蒸发装置，包括旋转式蒸发单元和驱动单元，旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中坩埚底板上环形设置有复数坩埚，集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，中心旋转支杆的底端与绝缘板相固接，顶端依次穿过导电滑座、圆筒套、坩埚底板，驱动单元包括电机及驱动轮，驱动轮驱动电极承载环体旋转并带动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。本实用新型通过旋转的方式实现多有机源协同作业，结构紧凑，增加了实验参数可调性；多有机源共用一石英晶振探头，减少了石英晶振探头的使用数量；结构紧凑，易于安装、更换、维护；控制精度高、生产效率高、能耗低、成本低。
【专利说明】
一种旋转式有机材料蒸发装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种蒸发装置，尤其涉及一种旋转式有机材料蒸发装置。
【背景技术】
[0002]真空热蒸发镀膜在有机EL(Electro Luminescence)电致发光，有机太阳能电池，金属电极，食品包装等行业被广泛应用，以及相应薄膜器件的产业化中应用也非常广泛，其基本原理是利用加热的手段使源受热蒸发，由固相/液相变成气相，然后气体分子或原子在蒸发源与基板(衬底)之间输运，最后蒸发的分子或原子在基板(衬底)上沉积。
[0003]在有机发光显示装置中，发射可见光的有机发光层和接近有机发光层的有机层通过利用各种工艺成型。尤其是真空沉积方法，由于其简单的工艺而经常被使用。在真空沉积方法中，将粉状或固态的沉积材料填充到坩祸中，并通过对坩祸进行加热而在期望的区域上形成沉积膜。
[0004]传统的有机材料蒸发装置结构复杂，有机材料蒸发源多为单头结构，每个蒸发源只有一个坩祸，且不能旋转，如果要实现多个坩祸同时蒸发，需要安装多个单头结构的蒸发源，成本非常高。有机材料蒸发源的坩祸内蒸发出来的材料通过石英晶振探头测量其厚度，探头通常安装在坩祸的斜上方。对于传统的有机材料蒸发源，要实现测量准确，每个蒸发源的坩祸都需要安装一个石英晶振探头。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种旋转式有机材料蒸发装置。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为:
[0007]一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:包括旋转式蒸发单元和驱动单元，
[0008]所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩祸底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，
[0009]其中所述坩祸底板上环形设置有复数坩祸，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩祸内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，
[0010]所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩祸底板的轴孔，所述坩祸底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩祸内的加热丝穿过所述坩祸的底部、坩祸底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；
[0011]所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；
[0012]所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩祸底板围绕中心旋转支杆旋转。
[0013]优选的，所述坩祸底板上设置有压盘，所述压盘的外围环绕有用于对相邻坩祸进行阻隔复数隔板。
[0014]优选的，所述坩祸底板上环形等分设置有十二个坩祸，所述压盘的外围环绕有十二个隔板，所述隔板分别位于相邻坩祸之间。
[0015]优选的，所述隔板为石英隔板或304不锈钢隔板，所述隔板的厚度为I?1.5_。
[0016]优选的，所述坩祸底板上设置有复数插槽，所述坩祸的底部具有两个引脚，所述坩祸的引脚插接于所述插槽内。
[0017]优选的，所述坩祸底板为圆形铝盘。
[0018]优选的，所述复数坩祸的敞口朝向共同聚焦于待镀膜基片上。
[0019]优选的，所述绝缘板为聚四氟乙烯绝缘板或氧化铝陶瓷绝缘板。
[0020]优选的，所述驱动单元还包括密封磁流体，所述密封磁流体包括外壳和穿接于所述外壳的轴杆，所述外壳通过一法兰与电机相固接，所述驱动轮固定于所述轴杆的顶端，所述轴杆的底端通过一联轴器与所述电机的驱动轴相连。
[0021]优选的，所述驱动轮上外壁至少设置有一环形凹槽，所述环形凹槽内设置有O型圈。
[0022]本实用新型的有益效果主要体现在:
[0023]1.通过旋转的方式实现多有机源协同作业，结构紧凑，增加了实验参数可调性；
[0024]2.多有机源共用一石英晶振探头，减少了石英晶振探头的使用数量，极大的降低了成本；
[0025]3.结构紧凑，易于安装、更换、维护；
[0026]4.控制精度高、生产效率高、能耗低、成本低。
【附图说明】
[0027]图1是本实用新型一种旋转式有机材料蒸发装置的结构示意图；
[0028]图2是本实用新型一种旋转式有机材料蒸发装置的截面结构示意图。
【具体实施方式】
[0029]本实用新型提供一种旋转式有机材料蒸发装置。以下结合附图对本实用新型技术方案进行详细描述，以使其更易于理解和掌握。
[0030]如图1和图2所示，一种旋转式有机材料蒸发装置，包括旋转式蒸发单元和驱动单元，旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆1、坩祸底板2、集成电极座3、绝缘板4及导电滑座5，其中坩祸底板2上环形设置有复数坩祸6，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔7，坩祸6内设有加热丝，集成电极座3包括圆筒套8和电极承载环体9，电极承载环体9设置于圆筒套8的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，导电滑座5与绝缘板4相固接，导电滑座5的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极。
[0031]中心旋转支杆I的底端与4绝缘板相固接，中心旋转支杆I依次穿过导电滑座5的中心轴孔、集成电极座3的圆筒套8、坩祸底板2的轴孔7，坩祸底板2与圆筒套8的顶部相固接，坩祸6内的加热丝穿过坩祸6的底部、坩祸底板2与电极承载环体9上的电极相导通连接，导电滑座5的顶端与圆筒套8的底面相对。其中，绝缘板为聚四氟乙烯绝缘板或氧化铝陶瓷绝缘板。
[0032]驱动单元包括电机10及受驱于电机10的驱动轴的驱动轮11;驱动轮11与电极承载环体9的侧壁相抵接，并且在驱动轮11的驱动作用下，电极承载环体9通过圆筒套驱动坩祸底板2围绕中心旋转支杆I旋转，在电极承载环体9转动时，导电滑座上的导电电极依次与集成电极座上的电极顺次接通，以便对不同的坩祸进行电加热。
[0033]对旋转式蒸发单元进行优化，在坩祸底板2上设置有压盘12，压盘12的外围环绕有用于对相邻坩祸进行阻隔复数隔板13。其中，压盘12通过中心的孔用轴杆件与中间旋转支杆相连接，压盘通过轴杆可自由旋转，其对联接成一体的集成电极座与坩祸底板具有限位作用，不会因为驱动轮的摩擦力而在旋转过程中上升。
[0034]更细化的，坩祸底板2上环形等分设置有十二个坩祸，压盘的外围环绕有十二个隔板，隔板分别位于相邻坩祸之间。隔板13为石英隔板或304不锈钢隔板，隔板13的厚度为I?
1.5mm。坩祸底板2上设置有复数插槽，坩祸6的底部具有两个引脚，坩祸6的引脚插接于插槽内。另外，坩祸底板2优选为圆形铝盘。上述的复数坩祸6的敞口朝向共同聚焦于待镀膜基片上。且坩祸底板的复数坩祸共用一石英晶振探头，图中省略了该标记，通过聚焦实现石英晶振探头的数量减少，极大的降低了成本。
[0035]对驱动单元进行细化描述，其还包括密封磁流体14，密封磁流体14包括外壳和穿接于外壳的轴杆，外壳通过一法兰与电机相固接，驱动轮11固定于轴杆的顶端，轴杆的底端通过一联轴器与电机的驱动轴相连。驱动轮11上外壁至少设置有一环形凹槽15，环形凹槽15内设置有O型圈16。通过O型圈能增加驱动轮与电极承载环体9之间的摩擦力。
[0036]以下为本实用新型的具体运动过程及原理说明:
[0037]首先电机通过联轴器带动密封磁流体转动，密封磁流体通过中心轴带动驱动轮旋转，驱动轮与电极承载环体相抵接，通过摩擦力带动电极承截环体旋转。压盘、坩祸底板、电极承载环体、圆筒套联结一体同时转动，其间集成电极座与导电滑座上的电极匹配对接对坩祸进行供电。需要说明的是，集成电极座上的电极数量为坩祸的2倍，本案的优选实施例中集成电极座上具有24个电极，组成12对，而导电滑座的电极数量为4组。导电滑座固定，集成电极座旋转时将其上的12对电极依次与导电滑座上的电极接通。复数坩祸进行工作，通过敞口进行聚焦镀膜。
[0038]以上对本实用新型的技术方案进行了充分描述，需要说明的是，本实用新型的【具体实施方式】并不受上述描述的限制，本领域的普通技术人员依据本实用新型的精神实质在结构、方法或功能等方面采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:包括旋转式蒸发单元和驱动单元， 所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩祸底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座， 其中所述坩祸底板上环形设置有复数坩祸，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩祸内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极， 所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩祸底板的轴孔，所述坩祸底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩祸内的加热丝穿过所述坩祸的底部、坩祸底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对； 所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮； 所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩祸底板围绕中心旋转支杆旋转。2.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述坩祸底板上设置有压盘，所述压盘的外围环绕有用于对相邻坩祸进行阻隔复数隔板。3.根据权利要求2所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述坩祸底板上环形等分设置有十二个坩祸，所述压盘的外围环绕有十二个隔板，所述隔板分别位于相邻坩祸之间。4.根据权利要求2或3所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述隔板为石英隔板或304不锈钢隔板，所述隔板的厚度为I?1.5_。5.根据权利要求1、2或3任意一项所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述坩祸底板上设置有复数插槽，所述坩祸的底部具有两个引脚，所述坩祸的引脚插接于所述插槽内。6.根据权利要求5所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述坩祸底板为圆形铝盘。7.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述复数坩祸的敞口朝向共同聚焦于待镀膜基片上。8.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述绝缘板为聚四氟乙烯绝缘板或氧化铝陶瓷绝缘板。9.根据权利要求1所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述驱动单元还包括密封磁流体，所述密封磁流体包括外壳和穿接于所述外壳的轴杆，所述外壳通过一法兰与电机相固接，所述驱动轮固定于所述轴杆的顶端，所述轴杆的底端通过一联轴器与所述电机的驱动轴相连。10.根据权利要求1或9所述的一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于:所述驱动轮上外壁至少设置有一环形凹槽，所述环形凹槽内设置有O型圈。
【文档编号】C23C14/24GK205529004SQ201620247175
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月29日
【发明人】廖良生, 董首成, 武启飞
【申请人】苏州方昇光电装备技术有限公司