一种真空等离子清洗机组合柜式电极的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空等离子清洗机组合柜式电极，包括铝制真空箱体；在真空箱体内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板，在竖直方向上铝制电极板按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板均为阳极；在真空箱体内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板，每一层均为阳极；水平方向上的铝制电极板和竖直方向上的铝制电极板形成若干治具间；在每个治具间的水平方向上的铝制电极板上设有治具绝缘支架，治具绝缘支架上固定有载板；在真空箱体的顶部设有电极馈入接头，其穿过真空箱体与其内部作为阴极的铝制电极板相连，本实用新型能批量处理待处理的产品，并且同时能够保证产品处理效果和均匀性，操作简单，提高了产能。
【专利说明】
一种真空等离子清洗机组合柜式电极
技术领域
[0001]本实用新型属于电路板等离子清洗技术领域，尤其涉及一种真空等离子清洗机组合柜式电极。
【背景技术】
[0002]目前，业界常见的真空等离子清洗机采用的电极为水平式，多层，阴极和阳极对称型，这种结构的电极在处理金属引线框架(Metal lead frame)、电路板(PCB/FPC)、IC载板(IC substrate)时，通常采用两种方式:一种是在电极之间加一层托架，然后依靠人工把产品单片放置在托架上进行处理，优点是处理效果和均匀性都好，缺点是取放时间长，员工操作频繁，产能低；另一种是把需要处理的产品装在料盒(治具)里面，料盒放在两层电极之间，料盒与电极绝缘，这种处理的优点是取放时间短，员工操作方便，产能高，缺点是放在料盒中间的产品处理效果不好，尤其是均匀性很差。
【实用新型内容】
[0003]针对现有的水平式电极不适合整批处理料盒，产能低下的不足，本实用新型提供一种组合柜式电极，该结构的电极不仅能够多批次处理料盒，而且能保证产品处理效果和均勾性，提尚广能。
[0004]本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
[0005]本实用新型的一种真空等离子清洗机组合柜式电极，包括铝制真空箱体;在真空箱体内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板，在竖直方向上铝制电极板按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板均为阳极;在真空箱体内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板，每一层均为阳极;水平方向上的铝制电极板和竖直方向上的铝制电极板形成若干治具间；在每个治具间的水平方向上的铝制电极板上设有治具绝缘支架，治具绝缘支架上固定有载板;在真空箱体的顶部设有电极馈入接头，其穿过真空箱体与其内部作为阴极的铝制电极板相连。
[0006]作为优选，所述电极馈入接头外包裹有绝缘材料，将其与铝制真空箱体隔开。
[0007]作为优选，所述电极馈入接头的数量至少为两个。
[0008]作为优选，作为阳极的铝制电极板与作为阴极的铝制电极板相互接触的部分通过绝缘材料隔开。
[0009]作为优选，所述绝缘材料为陶瓷或特氟隆。
[0010]作为优选，所述铝制电极板上设有排列规则的孔洞。
[0011]本实用新型的有益效果是:本实用新型能够批量处理待处理的产品，并且同时能够保证产品处理效果和均匀性，操作简单，提高了产能。
【附图说明】
[0012]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1为本实用新型的结构不意图；
[0014]图2为本实用新型的截面图；
[0015]图3为本实用新型内部的结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0017]如图1至图3所示，一种真空等离子清洗机组合柜式电极，包括铝制真空箱体I;在真空箱体I内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板2，在竖直方向上铝制电极板2按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板2均为阳极，即相邻的两个铝制电极板2的极性相反，并且两边最外侧的铝制电极板2均作为阳极(作为阳极或者阴极的铝制电极板2均采用相同的材质和结构，只是由于所接电位不同分为阴极、阳极)；例如，可以根据需要在竖直方向上设置三层铝制电极板2，按照“阳-阴-阳”的顺序排列，也可以设置五层铝制电极板2，按照“阳-阴-阳-阴-阳”的顺序排列，以此类推。在真空箱体I内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板2，每一层均为阳极;水平方向上的铝制电极板2和竖直方向上的铝制电极板2形成若干治具间3;在每个治具间3的水平方向上的铝制电极板2上设有治具绝缘支架4，治具绝缘支架4上固定有载板5;在真空箱体I的顶部设有电极馈入接头6，其穿过真空箱体I与其内部作为阴极的铝制电极板2相连(电极馈入接头6在真空箱体的内部与所有的作为阴极的铝制电极板相连)，作为阳极的铝制电极板2与作为阴极的铝制电极板2在真空箱体I内相互之间以及与框架等处的接触点均用绝缘材料隔开。
[0018]进一步的，所述电极馈入接头6外包裹有绝缘材料，将其与铝制真空箱体I隔开。
[0019]进一步的，所述绝缘材料为陶瓷或特氟隆。
[0020]进一步的，所述铝制电极板2上设有排列规则的孔洞。
[0021]使用的时候，通过设在真空箱体I内部的抽真空管道8(该管道与外部连通)将真空箱体I内部抽真空，将产品治具7(该产品治具7为料盒，需要处理的产品放在其中)放到载板5上，将电极馈入接头6接入射频，即将所有作为阴极的铝制电极板2接射频，作为阳极的铝制电极板2均接地，利用等离子轰击的原理对产品治具7中的待处理产品(待处理产品可以是金属引线框架、PCB/FPC、IC载板等)进行处理，其特点是轰击的离子能量越大越好，而离子能量受到鞘层偏压的影响，鞘层偏压与电极面积和结构密切相关，本实用新型提供的电极由于阴极(接射频，电极馈入)的面积小于阳极(地极)面积，使得两个电极附近的射频鞘层是非对称的，即阴极(接射频，电极馈入)鞘层上的瞬时电压大于阳极(地极)鞘层上的瞬时电压，鞘层电势能加速单能离子，提高了离子轰击的能量，同时相对独立的电极结构保证了同一批次的待处理产品的处理的均匀性好。
[0022]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
【主权项】
1.一种真空等离子清洗机组合柜式电极，其特征在于:包括铝制真空箱体(I);在真空箱体(I)内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板(2 )，在竖直方向上铝制电极板(2 )按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板(2)均为阳极;在真空箱体(I)内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板(2)，每一层均为阳极;水平方向上的铝制电极板(2 )和竖直方向上的铝制电极板(2 )形成若干治具间(3 );在每个治具间(3 )的水平方向上的铝制电极板(2)上设有治具绝缘支架(4)，治具绝缘支架(4)上固定有载板(5);在真空箱体(I)的顶部设有电极馈入接头(6)，其穿过真空箱体(I)与其内部作为阴极的铝制电极板(2)相连。2.根据权利要求1所述的一种真空等离子清洗机组合柜式电极，其特征在于:所述电极馈入接头(6)外包裹有绝缘材料，将其与铝制真空箱体(I)隔开。3.根据权利要求1所述的一种真空等离子清洗机组合柜式电极，其特征在于:所述电极馈入接头(6)的数量至少为两个。4.根据权利要求1所述的一种真空等离子清洗机组合柜式电极，其特征在于:作为阳极的铝制电极板(2)与作为阴极的铝制电极板(2)相互接触的部分通过绝缘材料隔开。5.根据权利要求2或4所述的一种真空等离子清洗机组合柜式电极，其特征在于:所述绝缘材料为陶瓷或特氟隆。6.根据权利要求1所述的一种真空等离子清洗机组合柜式电极，其特征在于，所述铝制电极板(2)上设有排列规则的孔洞。
【文档编号】C23G5/00GK205529055SQ201620080050
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年1月27日
【发明人】郭峰, 刘善双, 国际瑞, 刘善石
【申请人】昆山普乐斯电子科技有限公司