专利名称:一种石墨烯薄膜的成型设备的制作方法
【专利摘要】一种石墨烯薄膜的成型设备，包括设备本体，设备本体为矩形的盒体，盒体的上壁开设有碳源入口，下壁开设有残余气体出口，盒体内部自上而下分布有筛选电场上极板、加速电场上极板和加速电场下极板；筛选电场上极板固定安装；盒体的前壁和后壁开设有相互对称的条形滑槽，条形滑槽内滑动安装有夹持座，并利用夹持座安装有上下布置的加速电场上极板和加速电场下极板；筛选电场上极板与加速电场下极板之间设置有绝缘陶瓷支撑架，绝缘陶瓷支撑架包括中空的内螺纹杆和能够与内螺纹杆啮合安装的外螺纹杆，外螺纹杆啮合安装于内螺纹杆的内部。本实用新型实现极板的距离调整，提高其应用的方便性。
【专利说明】一种石墨烯薄膜的成型设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及石墨烯生产设备【技术领域】，具体为一种石墨烯薄膜的成型设备。
【背景技术】
[0002]石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成的六角型晶格单原子层二维晶体。石墨烯有许多独特的性质，它是零带隙的半金属半导体材料，具有超高的费米速度(光速的1/300)、载流子迀移率和热导率，良好的透光特性和优异的力学性能(弹性模量和抗拉强度分别达到1.1TPa和125GPa)，因此在透明电极、晶体管、传感器、能源存储、高强度复合材料等方面存在广泛的应用前景。
[0003]另一方面，石墨烯具有原子级的平整度、良好的生物兼容性、去局域化的π键以及良好的化学惰性，为研宄表面增强拉曼及其机理提供了一个全新的平台；同时，它丰富的表面有利于石墨烯一半导体复合结构的设计、集成和制备。
[0004]目前，石墨烯主要的制备方法有以下几种:机械剥离法、CVD生长法、化学法、SiC外延生长法等等。
[0005]现有的石墨烯生产设备中，石墨烯薄膜的成型设备比较常见。但是，现有的石墨烯薄膜的成型设备结构比较简单，尤其是对于加速电场上极板和加速电场下极板之间的距离是固定的，无法进行调整。这也导致现有设备具有其局限性。
实用新型内容
[0006]本实用新型所解决的技术问题在于提供一种石墨烯薄膜的成型设备，从而解决上述【背景技术】中的问题。
[0007]本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
[0008]一种石墨烯薄膜的成型设备，包括设备本体，所述设备本体为矩形的盒体，所述盒体的上壁开设有碳源入口，下壁开设有残余气体出口，所述盒体内部自上而下分布有筛选电场上极板、加速电场上极板和加速电场下极板；所述筛选电场上极板固定安装；所述盒体的前壁和后壁开设有相互对称的条形滑槽，所述条形滑槽内滑动安装有夹持座，并利用所述夹持座安装有上下布置的加速电场上极板和加速电场下极板；所述筛选电场上极板与所述加速电场下极板之间设置有绝缘陶瓷支撑架，所述绝缘陶瓷支撑架包括中空的内螺纹杆和能够与所述内螺纹杆啮合安装的外螺纹杆，所述外螺纹杆啮合安装于所述内螺纹杆的内部；所述筛选电场上极板的两端连接有筛选电场电极，所述加速电场下极板的两端连接有加速电场电极。
[0009]作为一种改进的技术方案，所述夹持座包括夹持螺栓，所述夹持螺栓插装于所述条形滑槽内，并利用螺母进行夹持。
[0010]作为一种改进的技术方案，所述夹持螺栓为绝缘陶瓷螺栓。
[0011]很显然，本实用新型还需设置有加热板、衬底板等结构，本领域技术人员可以通过现有技术即可得知。
[0012]另外，本实用新型的条形滑槽在距离调整结束后，设置有遮挡装置进行密封遮挡。
[0013]由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果:
[0014]本实用新型能够对加速电场上极板和加速电场下极板之间的距离是进行合理的调整，更加方便应用。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型结构示意图；
[0016]图2为本实用新型的夹持座结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。
[0018]参见图1，一种石墨烯薄膜的成型设备，包括设备本体1，所述设备本体I为矩形的盒体，所述盒体的上壁开设有碳源入口 2，下壁开设有残余气体出口 3，所述盒体内部自上而下分布有筛选电场上极板4、加速电场上极板5和加速电场下极板6 ;所述筛选电场上极板4固定安装；所述盒体的前壁和后壁开设有相互对称的条形滑槽7，所述条形滑槽7内滑动安装有夹持座8，并利用所述夹持座8安装有上下布置的加速电场上极板5和加速电场下极板6 ;所述筛选电场上极板4与所述加速电场下极板6之间设置有绝缘陶瓷支撑架9，所述绝缘陶瓷支撑架9包括中空的内螺纹杆91和能够与所述内螺纹杆91啮合安装的外螺纹杆92，所述外螺纹杆92啮合安装于所述内螺纹杆91的内部；所述筛选电场上极板4的两端连接有筛选电场电极(图中未示出)，所述加速电场下极板6的两端连接有加速电场电极(图中未示出)。
[0019]参见图2，本实施例中，所述夹持座8包括夹持螺栓81，所述夹持螺栓81插装于所述条形滑槽7内，一端与加速电场上极板5或加速电场下极板6绝缘连接，并利用螺母82进行夹持。所述夹持螺栓为绝缘陶瓷螺栓。
[0020]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种石墨烯薄膜的成型设备，包括设备本体，其特征在于:所述设备本体为矩形的盒体，所述盒体的上壁开设有碳源入口，下壁开设有残余气体出口，所述盒体内部自上而下分布有筛选电场上极板、加速电场上极板和加速电场下极板；所述筛选电场上极板固定安装；所述盒体的前壁和后壁开设有相互对称的条形滑槽，所述条形滑槽内滑动安装有夹持座，并利用所述夹持座安装有上下布置的加速电场上极板和加速电场下极板；所述筛选电场上极板与所述加速电场下极板之间设置有绝缘陶瓷支撑架，所述绝缘陶瓷支撑架包括中空的内螺纹杆和能够与所述内螺纹杆啮合安装的外螺纹杆，所述外螺纹杆啮合安装于所述内螺纹杆的内部；所述筛选电场上极板的两端连接有筛选电场电极，所述加速电场下极板的两端连接有加速电场电极。2.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的成型设备，其特征在于:所述夹持座包括夹持螺栓，所述夹持螺栓插装于所述条形滑槽内，并利用螺母进行夹持。3.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的成型设备，其特征在于:所述夹持螺栓为绝缘陶瓷螺栓。
【文档编号】C01B31-04GK204281326SQ201420720796
【发明者】邓凌峰, 刘小花, 刘永正, 王钟民, 张远和, 文建民 [申请人]湖南东博墨烯科技有限公司