垂直式四氯化硅电加热器的制作方法

文档序号:3443705阅读:415来源:国知局
专利名称:垂直式四氯化硅电加热器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种电加热器,特别是涉及一种解决结垢和腐蚀问题,并且防爆的垂直式四氯化硅电加热器。
背景技术
在多晶硅行业中,目前国内生成1公斤多晶硅就会产生15公斤的副产品四氯化硅,四氯化硅的处理非常困难,主要是因为四氯化硅有较强的腐蚀性以及在加热过程中易于结垢的特性。普通的循环式电加热器在加热过程中经常发生设备堵塞和元件腐蚀损坏, 一般使用时间不超过1个月就会损坏,增加企业运行成本。

实用新型内容本实用新型针对现有技术的不足,提供了一种能够解决结垢和腐蚀问题,还能在防爆场合使用的垂直式四氯化硅电加热器。为实现以上目的,本实用新型采用的技术方案是垂直式四氯化硅电加热器,由传感器、圆柱形保护外壳、螺旋形或蛇形金属管、高温陶瓷纤维保温层、发热电阻丝、耐高温陶瓷件、配电控制箱、风机、风道和充氮口组成;其中圆柱形保护外壳内衬高温陶瓷纤维保温层,发热电阻丝靠耐高温陶瓷件支撑,并内挂于高温陶瓷纤维保温层材料内层,耐高温陶瓷件内侧安装螺旋形或蛇形金属管,发热电阻丝通过辐射加热方式加热螺旋形或蛇形金属管内介质;配电控制箱安装在圆柱形保护外壳外部一侧,圆柱形保护外壳底部安装传感器和风机,圆柱形保护外壳和配电控制箱上设置有充氮口,对圆柱形保护外壳和配电控制箱内部整体充氮保护,圆柱形保护外壳内部中间部分设置风道,风机与风道相连。上述螺旋形或蛇形金属管采用耐四氯化硅腐蚀的复合合金材料(316H和 INC0L0Y800)。本实用新型垂直式四氯化硅电加热器可解决以下技术问题(1)通过发热电阻丝对螺旋形或蛇形金属管辐射加热方式加热,对金属管内的介质加热均勻、流阻小、不容易结垢;( 螺旋形或蛇形金属管采用耐四氯化硅腐蚀的复合合金(316H和INC0L0Y800)具有耐腐蚀性、耐高温、耐高压特点;C3)圆柱形保护外壳和配电控制箱上设置有充氮口,对圆柱形保护外壳和配电控制箱内部整体充氮保护,一方面延长了电热丝的使用寿命,另一方面可用在防爆场合;(4)圆柱形保护外壳设计为垂直型结构,整体占地小、重量轻、热启动快、维修方便。

图1为本实用新型垂直式四氯化硅电加热器结构剖视图。
具体实施方式

3[0009]如图所示,本实用新型垂直式四氯化硅电加热器,由传感器1、圆柱形保护外壳2、 螺旋形或蛇形金属管3、高温陶瓷纤维保温层4、发热电阻丝5、耐高温陶瓷件6、配电控制箱 7、风机8、风道9和充氮口 10组成。开始工作时,被加热的介质——四氯化硅从螺旋形或蛇形金属管3 —头进入,通过配电控制7对发热电阻丝5的控制,实现对圆柱形保护外壳2内螺旋形或蛇形金属管3进行辐射加热,被加热的介质——四氯化硅从螺旋形或蛇形金属管 3另一头流出,由于采用辐射加热方式加热,对金属管内的介质加热均勻、流阻小、不容易结垢;圆柱形保护外壳2和配电控制箱7上设置有充氮口 10,对圆柱形保护外壳2和配电控制箱7内部整体充氮保护,一方面延长了电热丝的使用寿命,另一方面可用在防爆场合 ’传感器1安装在圆柱形保护外壳2底部,用来控制介质温度及对圆柱形保护外壳2内部的超温保护;风机8与风道9相连,用于对圆柱形保护外壳2内部吹入空气,使圆柱形保护外壳 2内部温度均勻。本实用新型的有益效果是,解决了结垢和腐蚀问题、提高四氯化硅处理能力、降低企业运行成本等优点,具有极大的使用价值。
权利要求1.垂直式四氯化硅电加热器,由传感器、圆柱形保护外壳、螺旋形或蛇形金属管、高温陶瓷纤维保温层、发热电阻丝、耐高温陶瓷件、配电控制箱、风机、风道和充氮口组成;其特征在于其中圆柱形保护外壳内衬高温陶瓷纤维保温层,发热电阻丝靠耐高温陶瓷件支撑, 并内挂于高温陶瓷纤维保温层材料内层,耐高温陶瓷件内侧安装螺旋形或蛇形金属管;配电控制箱安装在圆柱形保护外壳外部一侧,圆柱形保护外壳底部安装传感器和风机,圆柱形保护外壳和配电控制箱上设置有充氮口,圆柱形保护外壳内部中间部分设置风道,风机与风道相连。
2.根据权利要求1所述的垂直式四氯化硅电加热器,其特征在于所述的螺旋形或蛇形金属管采用复合合金材料。
专利摘要本实用新型涉及一种四氯化硅电加热器,特别是涉及一种解决结垢和腐蚀问题,并且防爆的垂直式四氯化硅电加热器,其中圆柱形保护外壳内衬高温陶瓷纤维保温层,发热电阻丝靠耐高温陶瓷件支撑,并内挂于高温陶瓷纤维保温层材料内层,耐高温陶瓷件内侧安装螺旋形或蛇形金属管;配电控制箱安装在圆柱形保护外壳外部一侧,圆柱形保护外壳底部安装传感器和风机,圆柱形保护外壳和配电控制箱上设置有充氮口,圆柱形保护外壳内部中间部分设置风道,风机与风道相连;本实用新型的有益效果是,解决了结垢和腐蚀问题、提高四氯化硅处理能力、降低企业运行成本等优点,具有极大的使用价值。
文档编号C01B33/021GK202099063SQ201120143289
公开日2012年1月4日 申请日期2011年5月9日 优先权日2011年5月9日
发明者俞祥九, 戚洪明, 陈曙峰, 陈清华 申请人:华能无锡电热器材有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1