专利名称：多晶硅氢气加热炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种多晶硅生产用的加热器，尤其是一种多晶硅氢气加热炉。
背景技术：
氢气必须加热到600°C才能与硅粉、盐酸进行反应。在现有技术中，一般采用直接在炉壳内通过发热体加热达到高温。这种加热方式的缺陷是在加热过程中炉内盘管受热不均，易出现裂痕，影响加热炉使用寿命。
实用新型内容本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种多晶硅氢气加热炉，可以使加热器内盘管受热均匀不会出现裂痕，炉内热辐射減少，延长加热器寿命。 按照本实用新型提供的技术方案，所述多晶硅氢气加热炉，包括炉壁和炉腔，特征是在所述炉腔内设置有隔热罩，在隔热罩中间的腔体内放置盘管，在隔热罩和炉壁之间形成的空腔内设置加热丝。所述盘管的一端为氢气进ロ，另一端为氢气出口。所述盘管呈螺旋形。本实用新型利用在炉壳内装置隔热罩，使加热器内盘管受热均匀不会出现裂痕，炉内热辐射減少，延长加热器寿命。
图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图对本实用新型作进ー步说明。如图所示多晶硅氢气加热炉包括炉壁I、加热丝2、隔热罩3、盘管4、氢气进ロ 5、氢气出口 6等。本实用新型所述的多晶硅氢气加热炉，包括炉壁I和炉腔，在所述炉腔内设置有隔热罩3，所述隔热罩3由钢板制成，在隔热罩3中间的腔体内放置盘管4，在隔热罩3和炉壁I之间形成的空腔内设置加热丝2 ；所述盘管4的一端为氢气进ロ 5,另一端为氢气出口 6 ；所述盘管4呈螺旋形设置在隔热罩3中间的腔体内。本实用新型所述的多晶硅氢气加热炉只需在盘管4外面设置ー个隔热罩3，简单便于操作；在隔热罩3中间设置盘管4，氢气通过螺旋形的盘管4，并由隔热罩3隔热从而间接加热，使盘管4受热均匀，不易发生紊乱的热胀冷缩导致盘管出现裂痕。
权利要求1.一种多晶硅氢气加热炉，包括炉壁(I)和炉腔，其特征是在所述炉腔内设置有隔热罩(3)，在隔热罩(3)中间的腔体内放置盘管(4)，在隔热罩(3)和炉壁(I)之间形成的空腔内设置加热丝(2)。
2.如权利要求I所述的多晶硅氢气加热炉，其特征是所述盘管(4)的一端为氢气进口(5),另一端为氢气出口(6)。
3.如权利要求I所述的多晶硅氢气加热炉，其特征是所述盘管(4)呈螺旋形。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅氢气加热炉，包括炉壁和炉腔，特征是在所述炉腔内设置有隔热罩，在隔热罩中间的腔体内放置盘管，在隔热罩和炉壁之间形成的空腔内设置加热丝。所述盘管的一端为氢气进口，另一端为氢气出口。所述盘管呈螺旋形。本实用新型利用在炉壳内装置隔热罩，使加热器内盘管受热均匀不会出现裂痕，炉内热辐射减少，延长加热器寿命。
文档编号C01B33/03GK202415171SQ201120525110
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月14日 优先权日2011年12月14日
发明者孙建荣, 张晓春, 顾豪杰 申请人:无锡中彩科技有限公司