蓝宝石基材的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种蓝宝石基材，其具有：直径：厚度的比例不小于6.5:0.0525，其中所述直径不小于6.5cm；和具有性能的主表面，其中所述性能包括：所述主表面的标准化弯曲度不大于0.100μm/cm2，其中所述标准化弯曲度是对所述主表面的表面积标准化的所述主表面的弯曲度值；所述主表面的标准化翘曲度不大于0.190μm/cm2，其中所述标准化翘曲度是对所述主表面的表面积标准化的所述主表面的翘曲度值；或其组合。2.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述表面具有不大于的表面粗糙度Ra。3.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm2的所述标准化弯曲度。4.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能进一步包括不大于0.100μm/cm2的标准化平坦度，其中所述标准化平坦度是对所述主表面的表面积标准化的所述主表面的平坦度值。5.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.190μm/cm2的所述标准化翘曲度。6.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm2的所述标准化弯曲度，且所述标准化平坦度不大于0.100μm/cm2。7.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm2的所述标准化弯曲度，且所述标准化翘曲度不大于0.190μm/cm2。8.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm2的所述标准化平坦度，且所述标准化翘曲度不大于0.190μm/cm2。9.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括：不大于0.100μm/cm2的所述标准化弯曲度；不大于0.100μm/cm2的所述标准化平坦度；和不大于0.190μm/cm2的所述标准化翘曲度。10.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材的晶体取向是c-平面取向。11.如权利要求10所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材的大致平坦的表面以不大于2.0°的倾斜角度倾斜远离所述c-平面。12.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能还包含不大于0.037μm/cm2的标准化的总厚度变化，其中所述标准化的总厚度变化是对第一表面的表面积标准化的所述第一表面的总厚度变化。13.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材的表面粗糙度不大于14.如权利要求1-13中任一权利要求所述的蓝宝石基材，其中所述直径：厚度的比例不小于10:0.049，且所述直径不小于10.0cm。15.如权利要求1-13中任一权利要求所述的蓝宝石基材，其中所述蓝 宝石基材具有不小于10.0cm的直径以及不大于525μm的厚度。16.如权利要求1-13中任一权利要求所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材是由以下方法形成的：使用第一固定磨料研磨蓝宝石基材的第一表面；和使用第二固定磨料研磨蓝宝石基材的所述第一表面，其中所述第二固定磨料的平均粒度比所述第一固定磨料的平均粒度小，所述第二固定磨料是自修整的。